一种颗粒形态的光学检测装置的制作方法

文档序号:12531557阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种颗粒形态的光学检测装置,包括:

一颗粒的分散装置,用于将单个颗粒分散到空间中;

低相干干涉测量和显微成像相结合的成像测量装置,用于采集分散到空间中的颗粒图像。

2.根据权利要求1所述的一种颗粒形态的光学检测装置,其特征在于:

所述的成像测量装置包括低相干干涉测量装置和显微成像装置,低相干干涉测量装置和显微成像装置的照明光源采用同一个。

3.根据权利要求1所述的一种颗粒形态的光学检测装置,其特征在于:所述的成像测量装置包括低相干光源、干涉仪、显微装置和探测器。

4.根据权利要求1所述的一种颗粒形态的光学检测装置,其特征在于:所述的成像测量装置包括低相干光源、干涉仪、显微装置和光谱仪。

5.根据权利要求1所述的一种颗粒形态的光学检测装置,其特征在于:所述的成像测量装置包括扫频宽光谱光源、干涉仪、显微装置和探测器。

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