1.一种X射线荧光光谱仪,其特征在于,该光谱仪包括:
X射线管,用于发出X射线;
样品台,用于放置待检测样品;
会聚透镜,其设置在所述X射线管和所述样品台之间,所述X射线管发出的X射线经所述会聚透镜出射到所述样品台;
探测器,其探测来自所述样品台上的样品的X射线;
平行束透镜,其设置在所述样品台和所述探测器之间,来自样品的X射线经所述平行束透镜到达所述探测器;
摄像头,其用于获取样品图像;
样品台位置调节装置,用于在至少三维方向上调节所述样品台的位置,其中所述样品台固定于所述样品台位置调节装置上;以及
探测器位置调节装置,用于在至少三维方向上调节所述探测器的位置,其中所述探测器固定于所述探测器位置调节装置上。
2.根据权利要求1所述的X射线荧光光谱仪,其特征在于,
所述会聚透镜通过会聚透镜夹具与所述X射线管相连接;
所述平行束透镜通过平行束透镜夹具与所述探测器相连接。
3.根据权利要求1所述的X射线荧光光谱仪,其特征在于,该光谱仪还包括:底板和用于支撑所述X射线管的支架;
其中,
所述支架固定于底板上;
所述样品台位置调节装置和所述探测器位置调节装置固定于所述底板上;
所述摄像头与摄像头夹具相连接,所述摄像头夹具固定于所述底板上。
4.根据权利要求3所述的X射线荧光光谱仪,其特征在于,该光谱仪还包括:
所述支架包括第一支架、第二支架和第三支架。
5.根据权利要求1所述的X射线荧光光谱仪,其特征在于:
所述会聚透镜包括数万根毛细子管,用于会聚X射线管发出的X射线;
所述平行束透镜包括数万根毛细子管,用于将发散的X射线会聚成准平行束。
6.根据权利要求1所述的X射线荧光光谱仪,其特征在于:
所述样品台位置调节装置包括三个直线运动滑轨,实现在预定的X、Y、Z轴三个方向上的移动。
7.根据权利要求1所述的X射线荧光光谱仪,其特征在于:
所述探测器位置调节装置为多自由度位置调整平台,能够控制探测器在预定的X、Y、Z轴三个方向上移动。
8.根据权利要求7所述的X射线荧光光谱仪,其特征在于:
所述探测器位置调节装置还能够控制探测器绕Y轴和Z轴转动。
9.根据权利要求1所述的X射线荧光光谱仪,其特征在于,所述X射线荧光光谱仪还包括:
控制器,用于控制所述样品台位置调节装置和所述探测器位置调节装置的移动以及所述探测器的探测。