技术总结
本实用新型提供了一种X射线荧光光谱仪，其包括：X射线管，用于发出X射线；样品台，用于放置待检测样品；会聚透镜，设置在X射线管和样品台之间，X射线管发出的X射线经会聚透镜出射到样品台；探测器，探测来自样品台上的样品的X射线；平行束透镜，设置在样品台和探测器之间，来自样品的X射线经平行束透镜到达探测器；摄像头，用于获取样品图像；样品台位置调节装置，用于在至少三维方向上调节样品台的位置，样品台固定于样品台位置调节装置上；探测器位置调节装置，用于在至少三维方向上调节探测器的位置，探测器固定于探测器位置调节装置上。本实用新型可实现样品元素组份及元素空间分布的测量，机械结构简单，操作便利，测量精度高。
技术研发人员：秦敏;易龙涛;韩悦;张爽;刘志国
受保护的技术使用者：北京师范大学
文档号码：201621073180
技术研发日：2016.09.22
技术公布日：2017.04.26