一种OH自由基气体反应腔的制作方法

文档序号:11915277阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种OH自由基气体反应腔,包括腔体,其特征是,所述腔体设有照射窗口、观察窗口、通气口、气体采样接口和温控加热模块,照射窗口位于腔体的上端部,观察窗口位于腔体的侧边,温控加热模块位于腔体的底部。

2.根据权利要求1所述的OH自由基气体反应腔,其特征是,所述腔体的内表面涂覆黑漆。

3.根据权利要求1所述的OH自由基气体反应腔,其特征是,所述腔体的外表面设有隔热保温层。

4.根据权利要求1所述的OH自由基气体反应腔,其特征是,所述照射窗口为紫外石英窗口。

5.根据权利要求1所述的OH自由基气体反应腔,其特征是,所述观察窗口包括第一观察窗口和第二观察窗口,第一观察窗口和第二观察窗口分别设置在腔体两相对侧边上。

6.根据权利要求1所述的OH自由基气体反应腔,其特征是,所述通气口包括进气口和出气口。

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