1.一种固支梁直接加热式微波信号检测仪器，其特征在于该相位检测器的传感器部分由六端口固支梁耦合器(1)，通道选择开关(2)，微波频率检测器(3)，微波相位检测器(4)，第一直接加热式微波功率传感器(5-1)级联构成；其中，六端口固支梁耦合器(1)的第一端口(1-1)到第三端口(1-3)、第四端口(1-4)以及第一端口(1-1)到第五端口(1-5)、第六端口(1-6)的功率耦合度相同，待测信号经第一端口(1-1)输入，并由第二端口(1-2)输出到第一直接加热式微波功率传感器(5-1)，由第四端口(1-4)和第六端口(1-6)输出到微波相位检测器(4)，由第三端口(1-3)和第五端口(1-5)输出到通道选择开关(2)；通道选择开关(2)的第七端口(2-1)和第八端口(2-2)分别接第二直接加热式微波功率传感器(5-2)和第三直接加热式微波功率传感器(5-3)；通道选择开关(2)的第九端口(2-3)和第十端口(2-4)接微波频率检测器(3)，在每个直接式热电式功率传感器之后都连接着模数转换模块，然后将这些模数转换得到的数字信号都接入MCS51单片机进行公式计算，最后通过液晶显示屏显示输出频率、相位和功率的数值大小，从而实现了对微波信号功率、相位、频率的检测；
其中，六端口固支梁耦合器(1)由共面波导(10)，介质层(12)，空气层(15)和横跨在其上方固支梁(13)构成；共面波导(10)制作在SiO2层(9)上，固支梁(13)的锚区(11)制作在共面波导(10)上，固支梁(13)的下方沉积有介质层(12)，并与空气层(15)、固支梁(13)共同构成耦合电容结构，两个固支梁(13)之间的共面波导(10)长度为λ/4。
2.如权利要求1中所述的固支梁直接加热式微波信号检测仪器，其特征在于通道选择开关(2)由共面波导(10)，锚区(11)，介质层(12)，悬臂梁(14)，下拉电极(28)构成；悬臂梁(14)的锚区(11)制作在共面波导(10)上，悬臂梁(14)的下方制作下拉电极(28)，并与下拉电极(28)上方介质层(12)共同构成开关结构；通道选择开关(2)的悬臂梁(14)接地，下拉电极(28)接驱动电压；当驱动电压大于等于开启电压时悬臂梁(14)被拉下，通道被选通。
3.如权利要求1中所述的固支梁直接加热式微波信号检测仪器，其特征在于直接加热式微波功传感器(5)由Si衬底(8)，SiO2层(9)，共面波导(10)，半导体臂(21)，金属臂(22)，终端电阻(27)构成；微波功率从输入端口输入，通过共面波导(10)输入到终端电阻(27)被转化成热量；半导体臂(21)和金属臂(22)构成热电偶，根据Seebeck效应，通过测量输出电极(20)的热电势可知输入微波功率大小。