技术总结
本发明公开了一种半绝缘半导体电阻率气控悬浮式探针电容探头及测试方法，探头包括测试电路、测试电极、外壳，测试电极通过软导线与测试电路相连，在外壳内部的底端设有一实体中轴，在中轴内设有氮气输送通道、电极悬浮通道，氮气输送通道一端与电极悬浮通道的下部相通，电极悬浮通道为竖直通道，测试电极置于其中；氮气输送过程中设有压力控制阀门，该阀门与设于探头外的控制电路相连。方法是：在测量前，根据预先设定的压力值调节压力控制阀门，将一定压力的氮气输送到测试电极和样品之间，使测试电极在压力作用下悬浮在预定高度。本发明可实现测试时测试电极距离样品表面的距离始终保持一致，从而更直观且准确地反映材料的整体性能。
技术研发人员：王昕;苟永江;冯小明
受保护的技术使用者：广州市昆德科技有限公司
文档号码：201710213965
技术研发日：2017.04.01
技术公布日：2017.05.31