一种用于扫描探针显微镜的探针夹持装置的制作方法

文档序号:11275052阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供了一种用于扫描探针显微镜的探针夹持装置,包括电路主板、压电陶瓷片、探针定位块,以及用于将探针固定在探针定位块上的夹具,该探针夹持装置可通过压电陶瓷片为探针提供驱动振源,有利于通过抬高模式高分辨测量磁畴结构,并且能够与探针形成热学回路,有利于探测温度/热导信号,解决了常规磁性测量夹具没有热电测量电路,不能检测热信号,以及常规热测量夹具磁信号测量分辨率差的问题,能在微区内对磁性、温度/热导等物理参量进行原位、实时、动态表征,以满足当前微/纳尺度下热科学与磁性纳米复合热电材料的表征需求。

技术研发人员:王保敏;魏加峰;杨华礼;陈斌;李润伟
受保护的技术使用者:中国科学院宁波材料技术与工程研究所
技术研发日:2017.05.12
技术公布日:2017.09.26
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