一种精确测量超大曲率半径的方法及装置与流程

文档序号:11404650阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种精确测量超大曲率半径的装置及方法,该装置包括:被测元件、光源;分光镜,倾斜置于被测元件与光源之间,用于将光源发出的光照射到被测元件表面,将被测元件反射的反射光反射到第一光栅和第二光栅上;第一光栅与第二光栅;用于在反射平行光的照射下,第一光栅在第二光栅处产生的泰伯像与第二光栅形成莫尔条纹;成像系统;用于采集莫尔条纹图像,并将其传输至计算机;计算机;用于处理莫尔条纹图像确定莫尔条纹的角度,进而计算得到被测元件的曲率半径。该装置结构简单,且能实现对光学元件超大曲率半径的精确测量。

技术研发人员:侯昌伦;辛青;藏月
受保护的技术使用者:杭州电子科技大学
技术研发日:2017.06.08
技术公布日:2017.09.01
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