技术特征：
技术总结
本发明公开了一种二维电容式低频振动传感器及其制备方法，该传感器包括：第一电极板、第二电极板、第三电极板、第四电极板、基底和液滴，基底上设置有第一电极板、第二电极板、第三电极板和第四电极板，第一电极板和第二电极板组成第一组平行板电容器，第三电极板和第四电极板组成第二组平行板电容器，液滴的底部被镶嵌在基底上，且液滴位于第一组平行板电容器和第二组平行板电容器之间。其包括以下步骤：基底上光刻胶图形化；溅射ZnO层；水浴生长ZnO纳米结构；氟表面处理；残余光刻胶去除；传感器封装。本发明稳定性好，响应速度快，准确性高，使外界二维低频振动可以容易测量。
技术研发人员：尹磊;刘红忠;陈邦道;史永胜
受保护的技术使用者：常州瑞丰特科技有限公司
技术研发日：2017.06.27
技术公布日：2017.09.12