一种自由曲面的检测方法与流程

文档序号:14247486阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供了一种自由曲面的检测方法,包括:提供一测试结构;测试结构具有光学自由曲面;获取光学自由曲面的中心位置;在光学自由曲面上划出多条曲线,以中心位置作为坐标原点,建立三维坐标系,获取多条曲线的曲线坐标数据;根据曲线坐标数据,拟合出模拟曲面;将模拟曲面和理论光学自由曲面进行比较,得到光学自由曲面的面形误差值。本发明实现了对光学自由曲面的有效测量,提高了检测精度。

技术研发人员:汪际军
受保护的技术使用者:全普光电科技(上海)有限公司
技术研发日:2017.11.17
技术公布日:2018.04.20
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