沟槽弯曲度测量方法及装置、缺陷数量预测方法及装置与流程

技术特征：

技术总结
本发明提供一种沟槽弯曲度测量方法及装置，以及一种缺陷数量预测方法及装置。其中，该沟槽弯曲度测量方法，包括：获取待测区域的形貌影像，根据所述形貌影像确定所述待测区域内沟槽的粗糙度，根据所述粗糙度确定所述待测区域的沟槽弯曲度。相较于现有技术，本发明利用形貌影像实现了对沟槽弯曲度的自动化定量测量，准确度更高。

技术研发人员：张彪;芈健;邵克坚;王琨;乐陶然;陈保友
受保护的技术使用者：长江存储科技有限责任公司
技术研发日：2017.12.06
技术公布日：2018.05.15