一种用于测量球形误差的调心夹具的制作方法

本实用新型涉及一种用于测量球形误差的调心夹具。

背景技术：

在现代的精密测量中，球面干涉仪的应用是非常广泛的。目前，由于激光技术、光电技术以及电子计算机的不断发展，球面干涉仪不仅精度更高，而且使测量实现自动显示和自动控制。本实用新型为了进一步提高球面干涉仪的测量效率，设计了一种用于测量球形误差的调心夹具。夹具系统由牵引杆与移动滑块在三个方向上相连，三个可移动滑块分别安装在三根立体支架上，由计算机编程分别控制皮带的转动，带动滑块上下移动，牵引杆与滑块相连，通过改变三个滑块的相对位置，使夹具能在X‐Y‐Z空间坐标系中运动，使球心对准光路焦点，实现自动对焦，从而提高测量效率。

技术实现要素：

本实用新型的目的是为球形误差测量提供一种简单、高效、精确定位的用于测量球形误差的调心夹具。

用于测量球形误差的调心夹具包括立体支架、皮带、可移动滑块、牵引杆、夹具系统，所述的立体支架包括三根按正三角形顶点分布的支架，每根支架表面都带有轨道，三个可移动滑块分别安装在立体支架的轨道上，三个可移动滑块通过三条皮带的带动分别在三个轨道中上下移动，夹具系统通过牵引杆和三个可移动滑块相连接，通过改变三个可移动滑块的相对位置，使得牵引杆带动夹具系统产生联动，从而控制夹具系统在X‐Y‐Z空间坐标系中移动，使球心对准光路焦点，完成调心。

优选的，所述的皮带为A型三角带，三条皮带由计算机分别控制运动，为安装在立体支架上的可移动滑块的上下运动提供所需的动力。

优选的，所述的滑块与牵引杆球形铰链连接，同时又与皮带相连。

测量时由激光干涉仪发射光束，光束射出为平直光，经球面补偿镜反射，将平直波转变为球面波，实现球面的面型误差测量。球面补偿镜安装在底部正中间。激光干涉仪安装在支架的上方，与球面补偿镜正对，发射测量所需的光束。使用本实用新型可以更加精确的进行夹具调心，减少调心时间，提高测量效率。

附图说明

图1激光干涉检测方法原理图；

图2用于测量球形误差的调心夹具结构示意图；

图3球体放在调心夹具上结构示意图；

附图标记说明：1、激光干涉仪 2、带滑轨的立体支架 3、皮带 4、移动滑块 5、牵引杆 6、夹具系统 7、球面补偿镜。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本发明进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本发明的范围。

如图1所示，一种用于测量球形误差的调心夹具包括带滑轨的立体支架2，皮带3，移动滑块4，牵引杆5，夹具系统6，用于测量球形误差的调心夹具包括立体支架2、皮带3、可移动滑块4、牵引杆5、夹具系统6，所述的立体支架2包括三根按正三角形顶点分布的支架，每根支架表面都带有轨道，三个可移动滑块分别安装在立体支架的轨道上，三个可移动滑块4通过三条皮带3的带动分别在三个轨道中上下移动，夹具系统6通过牵引杆和三个可移动滑块4相连接。

用于装夹被测样品的夹具系统在三个方向上通过牵引杆和移动滑块相连接。三个可移动滑块分别安装在三根立体支架的轨道上，移动滑块由皮带带动移动，皮带的转动由计算机编程控制。牵引杆的一端与移动滑块进行球形铰链连接，另一端与夹具系统相连，其作用在于将滑块在立体支架上的上下运动转化为夹具系统在X‐Y‐Z空间坐标系中的移动，使球心对准光路焦点，从而实现夹具系统的调心。测量时由激光干涉仪发射光束，光束射出为平直光，经球面补偿镜反射，将平直波转变为球面波，实现球面的面型误差测量。激光干涉仪安装在支架的上方，发射测量所需的光束。球面补偿镜安装在底部正中间，与激光干涉仪正对。

如图2和3所示，测量时由激光干涉仪1发射光束，光束射出为平直光，经球面补偿镜7反射，将平直波转变为球面波，实现球面的面型误差测量。激光干涉仪安装在支架的上方，发射测量所需的光束。球面补偿镜安装在底部正中间，与激光干涉仪正对。由激光干涉仪发射光束，光束射出为平直光，经球面补偿镜反射，将平直波转变为球面波，实现球面的面型误差测量。