电路板测试工装的制作方法

文档序号:14964480发布日期:2018-07-18 01:54阅读:363来源:国知局
本实用新型涉及半导体制造
技术领域
,特别涉及一种电路板测试工装。
背景技术
:相关技术中,在生产半导体芯片时,需要将晶圆贴装在电路板上,然后需要对贴装有晶圆的电路板进行基本的功能测试,例如开机、短路及断路等测试。现有技术中,对贴装有晶圆的电路板的测试方式通常是采用万用表的探针手动对准电路板的检测触点,该方式测试效率很低,不适用于批量化的大规模生产。为了实现对电路板的批量测试,目前也出现了一些电路板测试工装,在使用电路板测试工作进行测试时,受到测试工装的外形体积限制,拿取和存放电路板较为不便,进而影响测试效率。技术实现要素:本实用新型的主要目的是提出一种电路板测试工装,用于测试具有晶圆的电路板,旨在提高电路板测试工装的测试效率。为实现上述目的,本实用新型提出的电路板测试工装,包括:载物台,所述载物台的内部呈中空设置而形成一容腔;电路板搁置架,设于所述容腔,用于放置电路板,所述载物台的侧壁面对应所述电路板搁置架开设供拿取电路板的取放窗口;测试底板,设于所述载物台的上台面,所述测试底板上设有测试探针;支架,设于所述载物台的上台面;以及按压机构,安装于所述支架,所述按压机构连接有测试压板,所述测试压板在所述按压机构的驱动下,相对所述测试底板沿竖直方向移动。优选地,所述按压机构包括:套筒,呈竖直方向设置,且所述套筒安装固定于所述支架;推杆,与所述套筒滑动连接,所述推杆的下端连接有所述测试压板;支撑件,设于所述支架上,所述支撑件位于所述套筒的上方;压持件,包括操作杆和位于操作杆一端的铰接杆,所述操作杆与所述铰接杆连接呈“L”形,所述铰接杆的自由端与所述支撑件铰接;连接件,所述连接件的一端与推杆铰接,另一端与所述铰接杆和所述操作杆的连接处相铰接。优选地,所述测试压板的上板面设有连接座,所述连接座与所述测试压板可拆卸连接,所述连接座对应所述推杆的下端设有固定孔,所述推杆嵌设于所述固定孔内。优选地,所述按压机构包括安装于所述支架上的驱动气缸,所述驱动气缸的顶杆朝下沿竖直方向伸缩,所述顶杆的下端连接有所述测试压板。优选地,所述测试压板包括层叠设置的固定板和缓冲板,所述缓冲板位于所述固定板的下侧。优选地,所述缓冲板为橡胶板或聚氨酯弹性板。优选地,所述测试底板上向上凸设有用以定位电路板的定位凸起。优选地,所述电路板搁置架包括多个立柱和多个搁置板,所述搁置板固定于所述立柱上,多个所述搁置板沿所述立柱的轴向间隔设置。优选地,所述电路板搁置架设有多个,多个所述电路板搁置架沿水平方向间隔设置。本实用新型技术方案通过采用在载物台内设置容腔,并且载物台的侧壁面开设有连通载物台内部容腔的取放窗口,容腔内设置有电路板搁置架,进而可将未测试的电路板、测试通过后的电路板或测试不合格的电路板放置在该电路板搁置架上,如此,进而方便操作工人在测试过程中拿取和放置电路板,提高了测试效率。附图说明为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。图1为本实用新型电路板测试工装一实施例在一视角的结构示意图;图2为图1中电路板测试工装在另一视角的结构示意图;图3为图1中电路板测试工装在一视角的爆炸图;图4为图1中电路板测试工装在另一视角的爆炸图;图5为图4中A处的局部放大图。附图标号说明:标号名称标号名称1电路板测试工装510套筒10载物台520推杆101容腔530支撑件102取放窗口540压持件20电路板搁置架541操作杆201立柱542铰接杆202搁置板550连接件30测试底板60测试压板310测试探针610连接座320定位凸起611固定孔40支架620固定板50按压机构630缓冲板本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例,参照附图做进一步说明。具体实施方式下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。需要说明,若本实用新型实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……),则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等,如果该特定姿态发生改变时,则该方向性指示也相应地随之改变。另外,若本实用新型实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述,则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外,各个实施例之间的技术方案可以相互结合,但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础,当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在,也不在本实用新型要求的保护范围之内。本实用新型提出一种电路板测试工装,适用于测试具有晶圆的电路板。在本实用新型一实施例中,参照图1至图5,该电路板测试工装1包括:载物台10,所述载物台10的内部呈中空设置而形成一容腔101;电路板搁置架20,设于所述容腔101,用于放置电路板,所述载物台10的侧壁面对应所述电路板搁置架20开设供拿取电路板的取放窗口102;测试底板30,设于所述载物台10的上台面,所述测试底板30上设有测试探针310;支架40,设于所述载物台10的上台面;以及按压机构50,安装于所述支架40,所述按压机构50连接有测试压板60,所述测试压板60在所述按压机构50的驱动下,相对所述测试底板30沿竖直方向移动。在半导体芯片制造
技术领域
,晶圆贴装在电路板上,然后需要对贴装有晶圆的电路板进行基本的功能测试,例如开机、短路及断路等测试。而本电路板测试工装1正是用于对该贴装有晶圆的电路板进行测试的设备。与传统的测试工装相比,在本实施例中,载物台10的内部呈中空设置,载物台10的侧壁面开设有连通载物台10内部容腔101的取放窗口102,容腔101内设置有电路板搁置架20,进而可将未测试的电路板、测试通过后的电路板或测试不合格的电路板放置在该电路板搁置架20上,如此,进而方便操作工人在测试过程中拿取和放置电路板,提高测试效率。可以理解的是,为了便于操作工人拿取和放置电路板,上述载物台10的取放窗口102设有多个,其中,优选在载物台10面向操作一侧面,及该侧面的相邻两侧面各自开设有一取放窗口102,进而以便于操作工人可从多个角度拿取和放置电路板。载物台10的上台面设有测试部件,该测试部件主要包括测试底板30、支架40、按压机构50及测试压板60。其中,测试底板30安装于载物台10的上台面,测试底板30的上面板对应待测试的电路板设置有相应的测试区域,该测试区域内设有多个竖直设置的测试探针310,该测试探针310用于与电路板上的检测触点电连接,进而实现对电路板的电气测试。支架40安装于载物台10的上台面,按压机构50安装于支架40上,按压机构50上连接有测试压板60,通过按压机构50的驱动,测试压板60可相对测试底板30沿竖直方向移动,进而在测试电路板时,电路板被测试压板60牢靠地压持于测试底板30上吗,使得电路板的检测触点与测试探针310可靠接触,进而以实现对电路板的可靠测试。可以理解的是,上述按压机构50可以采用人力手动驱动方式,也可采用电机或气缸一类的自动化驱动方式,该按压机构50可以为曲斌滑块机构、丝杆传动副机构、齿轮齿条机构、气缸机构等结构来实现。本实用新型技术方案通过采用在载物台10内设置容腔101,并且载物台10的侧壁面开设有连通载物台10内部容腔101的取放窗口102,容腔101内设置有电路板搁置架20,进而可将未测试的电路板、测试通过后的电路板或测试不合格的电路板放置在该电路板搁置架20上,如此,进而方便操作工人在测试过程中拿取和放置电路板,提高了测试效率。进一步地,上述按压机构50的实现方式优选为两种,其中一较佳方式为:按压机构50包括安装于支架40上的驱动气缸,驱动气缸的顶杆朝下沿竖直方向伸缩,顶杆的下端连接有测试压板60。如此,在测试电路板时,驱动气缸的顶杆向下伸出,进而带动测试压板60朝向移动,使得电路板被压持于测试压板60和测试底板30之间;当测试完成后,顶杆向上收缩,进而可便于操作工人将测试后的电路板从测试底板30上拿开。使用驱动气缸作为按压机构50的驱动源时,可实现测试设备的部分自动化,降低工人的劳动强度。在本实施例中,上述按压机构50的另一较佳方式为:按压机构50包括套筒510、推杆520、支撑件530、压持件540及连接件550,其中,套筒510呈竖直方向设置,套筒510安装固定于支架40;推杆520与套筒510滑动连接,推杆520的下端连接有测试压板60;支撑件530设于支架40上,支撑件530位于套筒510的上方;压持件540包括操作杆541和位于操作杆541一端的铰接杆542,操作杆541与铰接杆542连接呈“L”形,铰接杆542的自由端与支撑件530铰接;连接件550的一端与推杆520铰接,另一端与铰接杆542和操作杆541的连接处相铰接。如此,当操作工人通过压持操作杆541,进而在连接件550的带动下,推杆520在套筒510内上下滑动,进而带动测试压板60在竖直方向相对测试底板30移动。为了便于人手的操作,在操作杆541上可套设有防滑层,进而增大人手与操作杆541表面的摩擦力,以便于人手的操作。进一步地,测试压板60的上板面设有连接座610,连接座610与测试压板60可拆卸连接,连接座610对应推杆520的下端设有固定孔611,推杆520嵌设于固定孔611内。连接座610与测试压板60可通过卡扣、螺钉锁附等方式相连接,以便于测压压板和按压机构50的安装和拆卸。为了防止测试压板60在压制电路板时用力过度而导致电路板被压坏,在本实施例中,测试压板60包括层叠设置的固定板620和缓冲板630,缓冲板630位于固定板620的下侧。如此,通过设置缓冲板630,可使得测试压板60在压持电路板时,可起到一定的缓冲效果,减少电路板被压环的几率。同时,由于设置缓冲板630,该缓冲板630自身具有弹性,进而可允许测试压板60在稍微倾斜时或表面不平整时,仍可继续工作,提高了设备的实用性。可以理解,缓冲板630具有弹性,而橡胶和聚氨酯材料的弹性较佳,且不导电,进而缓冲板630优选为橡胶板和聚氨酯弹性板。为了防止测试底板30上的电路板发生偏移,影响其电气测试,该测试底板30上向上凸设有用以定位电路板的定位凸起320。在本实用新型实施例中,上述电路板搁置架20包括多个立柱201和多个搁置板202,搁置板202固定于立柱201上,多个搁置板202沿立柱201的轴向间隔设置。其中,该电路板搁置架20优选包括四个立柱201,四个立柱201分别贯穿搁置板202的四个拐角处,每一搁置板202均固定于四个立柱201上,多个搁置板202沿立柱201的轴向间隔排布,进而实现多层搁置板202,以便于放置更多的电路板。进一步地,在载物台10内,上述电路板搁置架20设有多个,多个电路板搁置架20沿水平方向间隔设置,进而更加方便对电路板进行分类放置。例如将待测试的电路板、测试通过的电路板及测试不合格的电路板分开放置,防止发生混淆。以上所述仅为本实用新型的优选实施例,并非因此限制本实用新型的专利范围,凡是在本实用新型的发明构思下,利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换,或直接/间接运用在其他相关的
技术领域
均包括在本实用新型的专利保护范围内。当前第1页1 2 3 
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