测量和处理从软X射线到红外波长的XUV光源的光谱的方法、设备和计算机程序与流程

技术特征：

技术总结
一种通过宽带光谱仪(1)测量和处理从软x射线到红外波长的波长范围内的从生成光的XUV源生成的光(7)的光谱的方法，其中所述处理基于评估测量的光谱的波长范围，该波长范围对比所述波长范围长的波长的高阶贡献可忽略不计。

技术研发人员：M·巴伊拉克塔尔;弗雷德里克·比耶柯克;H·M·J·巴斯蒂亚恩斯;C·布吕内曼
受保护的技术使用者：屯特大学
技术研发日：2017.11.03
技术公布日：2019.07.26