技术特征：
技术总结
本发明属于激光精密检测技术、激光微纳加工监测技术领域，涉及激光微纳加工差动共焦在线监测一体化方法与装置，可用于复杂微细结构的激光微纳加工与在线检测。本发明将高轴向分辨的激光差动共焦轴向监测模块与飞秒激光加工系统有机融合，利用差动共焦系统曲线零点对样品轴向位置进行纳米级监测和样品轴向加工尺寸测量，实现了样品轴向位置的实时定焦和加工后微纳结构尺寸的高精度测量，解决了测量过程中的漂移问题和高精度在线检测问题，提高了微纳飞秒激光加工精度的可控性和样品的加工质量等。加工前，还可以利用显微成像模块对样品进行粗找正和横向位置识别。
技术研发人员：赵维谦;邱丽荣;王允
受保护的技术使用者：北京理工大学
技术研发日：2018.01.29
技术公布日：2018.07.17