具有自修正功能的石榴石型光学压力传感装置的制作方法

文档序号:15267358发布日期:2018-08-28 21:59阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供了一种反应速度快、抗干扰和自调节能力强的具有自修正功能的石榴石型光学压力传感装置。本发明提供的石榴石型光学压力传感装置,用于检测周边环境的压力数值,包括:激光发射器;第一分光单元;第一光强探测器,得到了第一光强度值;第一压力敏感单元;第二分光单元;第二光强探测器得到了第二光强度值;第二压力敏感单元;第三光强探测器;得到了第三光强度值;以及数据处理单元,根据第一光强度值、第二光强度值以及第三光强度值得到周边环境的压力数值,其中,第一压力敏感单元与第二压力敏感单元结构一致,第一压力敏感单元含有石榴石层、二氧化硅微球层以及石英层。

技术研发人员:乔志;赵新未;潘倩;柏雪;郝蕊蕊;沈世华;高文强;焦新兵
受保护的技术使用者:上海理工大学
技术研发日:2018.03.07
技术公布日:2018.08.28
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