气体传感器的制造方法与流程

本发明涉及具备检测被检测气体的浓度的传感器元件的气体传感器的制造方法。

背景技术：

作为检测汽车等的排气气体中的氧、nox的浓度的气体传感器，已知有具有使用固体电解质的板状的传感器元件的传感器。

作为这种气体传感器，广泛使用如下的传感器：在板状的传感器元件的后端侧的正反面设置一对以上的电极焊盘，使该电极焊盘分别与一对以上的端子配件电接触，从而将来自传感器元件的传感器输出信号提取到外部(专利文献1)。在这样的气体传感器中，端子配件具有弹性地折返的折返部，端子配件保持于间隔件的插通孔，使得设于该折返部的接点部彼此相对。

于是，在相对的接点部彼此之间插入传感器元件的后端部，各接点部分别与传感器元件的正反面的电极焊盘电连接。

专利文献1：日本特开2013-181768号公报(图1，图4)

技术实现要素：

然而，在插入传感器元件之前，在以接点部彼此相对的方式将端子配件安装于间隔件时，存在直接相对的端子配件彼此接触而缠绕导致端子配件破损、变形、或者作业性降低这样的问题。

因此，本发明的目的在于提供一种气体传感器的制造方法，在将端子配件安装于间隔件时，抑制相对的端子配件破损、变形，使作业性提高。

为了解决上述课题，本发明的第一观点的气体传感器的制造方法中，该气体传感器中，将一对或两对以上的端子配件以接点部彼此相对的方式保持于筒状的间隔件的插通孔，该端子配件用于传感器元件，该传感器元件呈板状且在正面和反面具有一对或两对以上的电极焊盘，该端子配件沿着轴线方向延伸且在前端侧具有弹性地折返的折返部，在上述折返部分别具有隔着上述传感器元件而与上述电极焊盘分别电连接的上述接点部，上述气体传感器的制造方法具有：间隔件收容工序，使用第1夹具，从上述第1夹具的后端侧收容上述间隔件，并在上述间隔件的上述插通孔中的与上述接点部彼此的相对面对应的位置插设平面部，该第1夹具具有沿着上述轴线方向收容上述间隔件的收容空间，并且在将上述间隔件及上述端子配件收容于上述收容空间时配置于与上述相对面对应的位置的预定厚度的上述平面部从上述收容空间的底面沿着上述间隔件的后端侧竖立设置；端子配件保持工序，以上述平面部介于上述接点部彼此之间的方式将上述端子配件分别从上述间隔件的后端侧插通于上述插通孔并保持；及夹具脱离工序，使上述第1夹具相对于上述间隔件相对地向前端侧脱离。

根据第一观点的气体传感器的制造方法，在以接点部彼此相对的方式将一对以上的端子配件安装于间隔件时，第1夹具的平面部介于接点部彼此之间，因此能够抑制相对的端子配件彼此接触而缠绕，抑制端子配件的破损、变形，并提高作业性。

本发明的第二观点的气体传感器的制造方法中，该气体传感器中，将一对或两对以上的端子配件以接点部彼此相对的方式保持于筒状的间隔件的插通孔，该端子配件用于传感器元件。该传感器元件呈板状且在正面和反面具有一对或两对以上的电极焊盘，该端子配件沿着轴线方向延伸且在前端侧具有弹性地折返的折返部，在上述折返部分别具有隔着上述传感器元件而与上述电极焊盘分别电连接的上述接点部，上述气体传感器的制造方法具有：引线插通工序，将与上述端子配件分别连接的引线插通于上述间隔件的上述插通孔并从上述插通孔的前端侧突出；端子配件连接工序，将上述端子配件分别与上述引线的前端电连接；端子配件收容工序，使用第2夹具，以平面部介于上述接点部彼此之间的方式从上述第2夹具的后端侧收容上述端子配件，该第2夹具具有以与上述间隔件内的上述端子配件的保持位置相同的方式沿着上述轴线方向收容上述端子配件的收容空间，在将上述端子配件收容于上述收容空间时配置于与上述接点部彼此的相对面对应的位置的预定厚度的上述平面部从上述收容空间的底面沿着上述轴线方向竖立设置，并且上述收容空间的内径为上述间隔件的前端部的最大外径以下；间隔件抵接工序，一边将上述引线向后端侧拉伸一边使上述间隔件的前端与上述第2夹具的后端抵接；端子配件保持工序，将上述端子配件从与上述第2夹具的后端抵接的上述间隔件的上述插通孔的前端侧插通于该插通孔并保持；及夹具脱离工序，使上述第2夹具相对于上述间隔件相对地向前端侧脱离。

根据第二观点的气体传感器的制造方法，在以接点部彼此相对的方式将一对以上的端子配件安装于间隔件时，第2夹具的平面部介于接点部彼此之间，因此能够抑制相对的端子配件彼此接触而缠绕，抑制端子配件的破损、变形，并提高作业性。

在第一观点的气体传感器的制造方法中，也可以是，在上述间隔件收容工序中，在将上述间隔件收容于上述第1夹具时，上述平面部比上述间隔件向后端侧突出。

根据该气体传感器的制造方法，在接下来的端子配件保持工序中从端子配件插通于插通孔的最初阶段，借助平面部将相对的端子配件(接点部彼此)分离，因此能够可靠地抑制端子配件彼此接触而缠绕。

在第二观点的气体传感器的制造方法中，也可以是，在上述间隔件抵接工序中，上述平面部比上述接点部向后端侧突出。

根据该气体传感器的制造方法，在使各端子配件保持于间隔件的插通孔内时，借助平面部将相对的端子配件(接点部彼此)分离，因此能够可靠地抑制端子配件彼此接触而缠绕。

在本发明的气体传感器的制造方法中，也可以是，上述第1夹具或上述第2夹具具有防止上述间隔件的周向旋转的第1限制部件，上述间隔件具有与上述第1限制部件卡合的第2限制部件。

根据该气体传感器的制造方法，能够防止间隔件在第1夹具或第2夹具内沿周向旋转，抑制由于间隔件的旋转导致端子配件彼此接触而缠绕。

在本发明的气体传感器的制造方法中，也可以是，上述平面部的厚度比上述传感器元件的正反面的上述一对电极焊盘间的厚度薄。

根据该气体传感器的制造方法，能够抑制通过平面部相对的端子配件(接点部彼此)的间隔扩宽而产生塑性变形，导致与之后的传感器元件的电极焊盘的接触压力降低而电连接的可靠性降低。

在本发明的气体传感器的制造方法中，也可以是，上述第1夹具或第2夹具具有端子配件限制部件，该端子配件限制部件从上述平面部突出而与上述端子配件的侧面接触，防止该端子配件的位置偏移。

根据该气体传感器的制造方法，端子配件限制部件与各端子配件的侧面(与折返部的面交叉的面)接触，限制各端子配件在宽度方向上的移动，因此能够防止在间隔件内(第1夹具或第2夹具内)的各端子配件的位置偏移。

在本发明的气体传感器的制造方法中，也可以是，该气体传感器具有沿着上述平面部并列的两对以上的上述端子配件，在将上述接点部处的上述端子配件的宽度设为w1、将上述两对以上的上述端子配件并列的并列设置方向上的上述平面部的宽度设为w2、将上述间隔件的上述插通孔的上述并列设置方向上的最大宽度设为w3时，满足式1：gl+gr＝w3－w2，gl<w1且gr<w1，其中gl、gr分别是上述平面部与上述插通孔之间的右侧的间隙及上述平面部与上述插通孔之间的左侧的间隙。

根据该气体传感器的制造方法，表示平面部与插通孔之间的间隙的gl+gr小于w1，因此即使各端子配件在并列设置方向上偏移，也能够可靠地抑制越过平面部与位于相反侧的相对的端子配件接触而缠绕。

根据本发明，在将气体传感器的端子配件安装于间隔件时，能够抑制相对的端子配件破损、变形，并提高作业性。

附图说明

图1是应用了本发明的实施方式所涉及的气体传感器的制造方法的一例的气体传感器的沿着长边方向的剖视图。

图2是传感器元件的立体图。

图3是端子配件的立体图。

图4是将端子配件组装到间隔件的状态的截面立体图。

图5是在第一观点的实施方式中使用的第1夹具的俯视图。

图6是沿着图5的a-a线的剖视图。

图7是示出端子配件插通于收容于第1夹具的间隔件的状态的图。

图8是第一观点的实施方式所涉及的气体传感器的制造方法的工序图。

图9是在第二观点的实施方式中使用的第2夹具的俯视图。

图10是沿着图9的b-b线的剖视图。

图11是示出在第2夹具收容有端子配件的状态的图。

图12是第二观点的实施方式所涉及的气体传感器的制造方法的工序图。

图13是示出端子配件相对于平面部在并列设置方向上晃动的状态的图。

具体实施方式

以下，说明本发明的实施方式。

图1是应用了本发明的实施方式所涉及的气体传感器的制造方法的一例的气体传感器(氧传感器)200的沿着长边方向的整体剖视图，图2是传感器元件10的立体图，图3是端子配件21a的立体图，图4是将端子配件组装到间隔件的状态的截面立体图。

该气体传感器200是检测汽车、各种内燃机的排气气体中的氧浓度的氧传感器。

在图1中，气体传感器200具备：筒状的主体金属件138，在外表面形成有用于固定于排气管的螺纹部139；传感器元件10，呈沿着轴线o方向(气体传感器200的长边方向：图中上下方向)延伸的板状形状；筒状的陶瓷套筒106，配置为包围传感器元件10的径向周围；陶瓷制的间隔件166，在沿着轴线方向贯通的插通孔168的前端侧的内部，以包围传感器元件10的后端部的周围的状态配置；及4个端子配件21a、21b、22a、22b(图1中，仅图示出两个)，配置于传感器元件10与间隔件166之间。

此外，传感器元件10的前端的气体检测部10a由氧化铝等的多孔质保护层20覆盖。

主体金属件138由不锈钢构成，具有沿着轴线方向贯通的贯通孔154，并构成为具有向贯通孔154的径向内侧突出的凸部152的大致筒状形状。在该贯通孔154中，以使传感器元件10的前端部比贯通孔154自身的前端更突出的方式配置有该传感器元件10。而且，凸部152形成为相对于与轴线方向垂直的平面具有倾斜的朝内的锥面。

需要说明的是，在主体金属件138的贯通孔154的内部，以包围传感器元件10的径向周围的状态，环状形状的氧化铝制的陶瓷支架151、粉末充填层153、156(以下，也称为滑石环153、156)及上述陶瓷套筒106以这样的顺序从前端侧朝向后端侧依次层叠。

另外，在陶瓷套筒106与主体金属件138的后端部140之间，配置有施铆填充物157，在陶瓷支架151与主体金属件138的凸部152之间，配置有用于保持滑石环153、陶瓷支架151的金属支架158。需要说明的是，主体金属件138的后端部140被施铆，使得经由施铆填充物157将陶瓷套筒106向前端侧按压。

另一方面，如图1所示，在主体金属件138的前端侧(图1中的下方)外周，通过焊接等安装有覆盖传感器元件10的突出部分并且具有多个孔部的金属制(例如，不锈钢等)双重保护器、即外部保护器142及内部保护器143。

并且，在主体金属件138的后端侧外周固定有外筒144。另外，在外筒144的后端侧(图1中的上方)的开口部配置有橡胶制的索环170，该索环170形成有引线插通孔(未图示)，该引线插通孔供与传感器元件10的4个端子配件21a、21b、22a、22b(图1中，仅示出两个)分别电连接的4根引线146(图1中仅示出2根)插通。

而且，在索环170的轴线o方向中心形成有用于导入成为基准环境的大气的贯通孔170h，在该贯通孔170h嵌插有圆筒状的过滤器金属件172。并且，在贯通孔170h与过滤器金属件172之间保持有防水性过滤器174，大气能够经由贯通孔170h在气体传感器200的内外导入，该防水性过滤器174配置为封堵贯通孔170h且空气通过(具有通气性)但水不通过。

另外，在比主体金属件138的后端部140更突出的传感器元件10的后端侧(图1中的上方)，配置有间隔件166。需要说明的是，该间隔件166配置于传感器元件10的后端侧的主面上所形成的合计4个电极焊盘(图1中仅示出两个电极焊盘11a、12a)的周围。该间隔件166形成为具有沿着轴线方向贯通的插通孔168的筒状形状，并且具有从外表面向径向外侧突出的凸缘部167。通过凸缘部167经由保持部件169与外筒144抵接，间隔件166保持于外筒144的内部。

需要说明的是，在间隔件166的插通孔168，保持有上述4个端子配件21a、21b、22a、22b，其中，隔着传感器元件10相对的端子配件21a、22a及隔着传感器元件10相对的端子配件21b、22b分别相当于“一对端子配件”(参照图4)。即，在本实施方式中，具有合计两对端子配件21a、21b、22a、22b。

如图2所示，传感器元件10呈沿着轴线o方向延伸的板状，前端部10s成为检测氧浓度的气体检测部10a，气体检测部10a由多孔质保护层20覆盖。需要说明的是，传感器元件10自身是公知的结构，虽然未图示，但具备：气体检测部，具有氧离子透过性的固体电解质体和一对电极；及加热器部，加热气体检测部而保持为一定温度。

并且，在传感器元件10的一方的主面(正面)10a的后端侧，在宽度w方向上两个电极焊盘11a、11b并列，来自气体检测部的传感器输出信号经由引线部(未图示)从这些电极焊盘11a、11b输出。此外，在以与主面10a相对的方式设置的另一主面(反面)10b的后端侧，在宽度方向上两个电极焊盘12a、12b并列，经由引线部(未图示)向加热器部供给电力。

各电极焊盘11a、11b、12a、12b成为在轴线o方向上长的矩形状，例如能够形成为以pt为主体的烧结体。需要说明的是，在本实施方式中，配置在传感器元件10的各面的电极焊盘11a、11b和电极焊盘12a、12b经由传感器元件10彼此相对而分别成对，具体而言，一对电极焊盘11a与电极焊盘12a相对，另外一对电极焊盘11b与电极焊盘12b相对。即，在本实施方式中，具有合计两对电极焊盘11a、11b、12a、12b。

图3示出端子配件21a的立体图。需要说明的是，在本实施方式中，如下所述气体传感器200具有四个端子配件21a、21b、22a、22b，但这四个端子配件都是同一形状，因此虽然仅说明端子配件21a，但另外的端子配件21b、22a、22b的结构也同样。

如图3所示，端子配件21a一体地具备：呈大致板状且沿着轴线o方向延伸的板状的主体部211a；从主体部211a的前端朝向后端折返的折返部211b；与主体部211a的后端连接的压接端子部211c；及从主体部211a的轴线o方向大致中央的两端朝向折返部211b的折返方向(后述的传感器元件10侧)延伸并从主体部211a的两端分别呈l字状弯折的一对防脱落部211d。

压接端子部211c呈公知的筒状，将使导线向被覆层露出的引线146插入并压接在该筒内，而使引线146(参照图1)被电连接。

端子配件21a例如能够通过在对一块金属板(镍铬铁耐热耐蚀合金(注册商标)等)进行打孔后将折返部211b及防脱落部211d弯折来进行制造，但不限于此。

折返部211b的前端缘朝向后端折返。于是，在折返部211b的正面(与主体部211a相对的面的相反面)，两个突起状的接点部21p在宽度方向上并列，进而在接点部21p形成有顶点21h。接点部21p的顶点21h与电极焊盘11a点接触，实现电连接。

需要说明的是，包括接点部21p的折返部211b通过借助端子配件21a自身的弹性向电极焊盘11a侧按压，实现可靠的电连接。

此外，如图4所示，端子配件21a、21b、22a、22b以相互不接触而分离的状态保持在间隔件166内，并且面向插通孔168。具体而言，四个端子容纳孔168a～168d(参照图7)在间隔件166内的轴线o方向上贯通，分别将端子配件21a、21b、22a、22b相互分离地保持于这些各端子容纳孔。

在此，当从前端侧向间隔件166内的端子容纳孔插入端子配件21a(端子配件21b、22a、22b也同样)时，一对防脱落部211d的后端朝向面211t与间隔件166的前端朝向面166s抵接。由此，防止端子配件21a向比前端朝向面166s靠后端侧脱落，在轴线o方向上限制端子配件21a的位置。

而且，如图3所示，在本实施方式中，各防脱落部211d的板面中，从前端缘朝向后端形成切缝，切缝部分从防脱落部211d的板面朝向外侧且朝向前端侧扩展而形成片状的卡定部211w。由此，在与轴线o方向垂直的方向上定位并保持端子配件21a。

于是，如图4所示，在一对端子配件21a、22a分别设置的接点部21p彼此相对，在另外一对端子配件21b、22b分别设置的接点部21p彼此相对。

此外，在本实施方式中，在传感器元件10未插入于间隔件166的状态下，相对的接点部21p彼此接触，但接点部21p也可以彼此分离而相对。

接着，参照图5～图8，说明本发明的第一观点的实施方式所涉及的气体传感器的制造方法。

图5是第一观点的实施方式中使用的第1夹具300的俯视图，图6是沿着图5的a-a线的剖视图，图7是示出端子配件21a、21b、22a、22b插通于收容于第1夹具300的间隔件166的状态的图，图8是第一观点的实施方式所涉及的气体传感器的制造方法的工序图。

如图5、图6所示，第1夹具300呈有底圆筒状，在中央具有朝向上表面开口的圆筒状的收容空间300h。而且，仰视时大致h型的突出部310从收容空间300h的底面300b的中央朝向上方突出。该突出部310形成于与间隔件166的中央的插通孔168对应的位置。

突出部310具备：中央的棱柱部314；从棱柱部314的相对面分别向相反方向在同一面上延伸的板状的两个平面部312；及从各平面部312的两端垂直地延伸的自身的两端与棱柱部314的另外的相对面成为同一平面的两个侧壁部316。棱柱部314及侧壁部316从平面部312的板面突出。两个平面部312分别形成于与一对端子配件21a、22a的各接点部21p彼此的相对面及另外一对端子配件21b、22b的各接点部21p彼此的相对面(参照图7)对应的位置。此外，突出部310比第1夹具300的上表面302向上方突出。

而且，收容空间300h的周缘的一部分形成直线部300s，防止后述的间隔件166的周向旋转。

棱柱部314及侧壁部316相当于技术方案中的“端子配件限制部件”，直线部300s相当于技术方案中的“第1限制部件”。

第1夹具300及突出部310能够设为例如不锈钢等的金属制。

虽然详细后述，但在第一观点的实施方式所涉及的气体传感器的制造方法的端子配件保持工序中，如图7所示，将端子配件21a、21b、22a、22b分别插通于收容在第1夹具300的间隔件166的四个端子容纳孔168a～168d。此时，棱柱部314及侧壁部316与各端子配件21a、21b、22a、22b的侧面(与折返部211b的面交叉的面)接触，限制各端子配件在宽度方向上的移动，因此能够防止间隔件166内(第1夹具300内)的各端子配件的位置偏移。

接着，参照图8，说明第一观点的实施方式所涉及的气体传感器的制造方法的详细。需要说明的是，虽然图8中仅图示一对端子配件21a、22a，但另外一对端子配件21b、22b是一样的，只是隐藏于图8的纸面的里侧。

首先，从第1夹具300的后端侧(上侧)沿着轴线方向收容间隔件166，将平面部312插通于间隔件166的插通孔168中的与上述相对面对应的位置(图8(a)、(b)：间隔件收容工序)。

接着，以使平面部312介于接点部21p彼此之间(上述相对面)的方式，从间隔件166的后端侧向插通孔168插通并保持端子配件21a、22a(图8(b)、(c)：端子配件保持工序)。在此，预先在端子配件21a、22a的压接端子部211c压接引线146。

然后，使第1夹具300相对于间隔件166相对地向前端侧(下侧)脱离(图8(d)：夹具脱离工序)。

由此，在第一观点的实施方式中，以接点部21p彼此相对的方式将一对以上的端子配件21a、22a(或21b、22b)安装于间隔件166时，第1夹具300的平面部312介于接点部21p彼此之间，因此能够抑制相对的端子配件彼此21a、22a(或21b、22b)接触而缠绕，抑制端子配件的破损、变形，提高作业性。

此外，在本实施方式中，在图8(b)的间隔件收容工序中，在第1夹具300收容间隔件166时，平面部312比间隔件166的后端向后端侧突出。由此，在接下来的端子配件保持工序中从端子配件21a、22a(或21b、22b)插通于插通孔168的最初阶段，借助平面部312将相对的端子配件(接点部21p彼此)分离，因此能够可靠地抑制端子配件彼此接触而缠绕。

此外，在本实施方式中，如图5、图7所示，第1夹具300具有直线部300s，并且间隔件166具有与直线部300s卡合的第2直线部(第2限制部件)166t。由此，能够防止在第1夹具300内间隔件166在周向上旋转，抑制由于间隔件166的旋转导致端子配件彼此接触而缠绕。

而且，在本实施方式中，平面部312的厚度比传感器元件10的正反面的一对电极焊盘11a、12a(或11b、12b)间的厚度薄。由此，能够抑制通过平面部312相对的端子配件(接点部21p彼此)的间隔扩宽而产生塑性变形，导致与之后的传感器元件10的电极焊盘11a、12a(或11b、12b)的接触压力降低而电连接的可靠性降低。

接着，参照图9～图13，说明本发明的第二观点的实施方式所涉及的气体传感器的制造方法。

图9是第二观点的实施方式中使用的第2夹具400的俯视图，图10是沿着图9的bb线的剖视图，图11是示出在第2夹具400收容端子配件21a、21b、22a、22b的状态的图，图12是第二观点的实施方式所涉及的气体传感器的制造方法的工序图，图13是端子配件21a、21b、22a、22b相对于平面部412在并列设置方向上晃动的状态的图。

如图9、图10所示，第2夹具400呈有底圆筒状，在中央具有朝向上表面开口的圆筒状的收容空间400h。而且，板状的两个平面部412从收容空间400h的底面400b的中央朝向上方突出。该平面部412形成于与间隔件166的中央的插通孔168对应的位置。平面部412至少分别形成于与一对端子配件21a、22a的各接点部21p彼此的相对面及另外一对端子配件21b、22b的各接点部21p彼此的相对面(参照图11)对应的位置。

此外，平面部412比第2夹具400的上表面402向上方突出。

而且，收容空间400h的周缘的一部分形成与直线部300s同样的直线部400s，成为防止间隔件166的周向旋转的“第1限制部件”。此外，在间隔件166也同样设置上述第2直线部(第2限制部件)166t。

第2夹具400及平面部412能够设为例如不锈钢等的金属制。

虽然详细后述，但在第二观点的实施方式所涉及的气体传感器的制造方法的端子配件收容工序中，如图11所示，将端子配件21a、21b、22a、22b分别插通于第2夹具400的收容空间400h。此时，在各端子配件21a～22b的各接点部21p彼此的相对面之间插入平面部412。

在此，如图11所示，端子配件21a、21b沿着平面部412的主面方向l并列，端子配件22a、22b沿着平面部412的相反面同样地并列。于是，将接点部21p处的各端子配件21a～22b的宽度设为w1，将平面部412的主面的宽度设为w2。

此时，如图13所示，当将各端子配件22a、22b(或21a、21b)的并列方向(并列设置方向)l上的合计宽度设为(2×w1)<w2时，即使各端子配件22a、22b在并列设置方向l上晃动，也能够可靠地抑制越过平面部412与位于相反侧的相对的端子配件21a、21b接触而缠绕。

此外，如图11下图所示，当将间隔件166的插通孔168的并列设置方向l上的最大宽度设为w3时，若满足式1：gl+gr＝w3－w2，gl<w1且gr<w1，则即使各端子配件22a、22b在并列设置方向l上晃动，也能够可靠地抑制越过平面部412与位于相反侧的相对的端子配件21a、21b接触而缠绕。这是因为，式1的gl、gr表示平面部412与插通孔168之间各两端(右侧及左侧)的间隙，如果该间隙gl、gr小于w1，则各端子配件22a、22b不会进入到平面部412的相反面。需要说明的是，在此端子配件22a、22b的宽度都记载为w1，但在端子配件的宽度不同的情况下，也可以是各间隙gl、gr小于与各间隙gl、gr分别最接近的端子的宽度。

接着，参照图12，说明第二观点的实施方式所涉及的气体传感器的制造方法的详细。需要说明的是，图12中仅图示一对端子配件21a、22a，但另外一对端子配件21b、22b是一样的，只是隐藏于图12的纸面的里侧。

首先，将与端子配件21a、22a分别连接的引线146插通于间隔件166的插通孔168并从插通孔168的前端侧突出(引线插通工序)。接着，分别将端子配件21a、22a的压接端子部211c压接(电连接)于引线146的前端(图12(a)：端子配件连接工序)。

接着，以与间隔件166内的端子配件21a、22a的保持位置相同的方式，从第2夹具400的后端侧将端子配件21a、22a收容于收容空间400h，使平面部插入于(介于)接点部21p彼此之间(图12(b)：端子配件收容工序)。

接着，一边将引线146向后端侧拉伸一边使间隔件166的前端与第2夹具400的后端(上表面)402抵接(图12(c)：间隔件抵接工序)。在此，如图12(c)所示，收容空间400h的内径d1设为间隔件166的前端部的最大外径d2以下。

接着，从与第2夹具400的后端抵接的间隔件400的插通孔168的前端侧，将端子配件21a、22a插通于插通孔168并保持(图12(d)：端子配件保持工序)。

然后，使第2夹具400相对于间隔件166相对地向前端侧(下侧)脱离(图12(e)：夹具脱离工序)。

由此，在第二观点的实施方式中，也是以接点部21p彼此相对的方式将一对以上的端子配件21a、22a(或21b、22b)安装于间隔件166时，第2夹具400的平面部412介于接点部21p彼此之间，因此能够抑制相对的端子配件彼此21a、22a(或21b、22b)接触而缠绕，抑制端子配件的破损、变形，并提高作业性。

此外，在本实施方式中，在图12(d)的间隔件抵接工序中，平面部412比接点部彼此向后端侧突出。由此，在使各端子配件保持于间隔件166的插通孔168内时，借助平面部412将相对的端子配件(接点部21p彼此)分离，因此能够可靠地抑制端子配件彼此接触而缠绕。

此外，本实施方式也能够如上所述防止间隔件166在第2夹具400内沿周向旋转，抑制由于间隔件166的旋转导致端子配件彼此接触而缠绕。

本发明不限于上述实施方式，不言而喻，涉及本发明的思想和范围中包括的各种变形及均等物。

例如，第1夹具或上述第2夹具、间隔件、端子配件的形状没有限定。此外，端子配件也可以是一对，也可以是两对以上。

此外，作为防止间隔件的周向旋转的第1限制部件，也可以将用于定位的销设于间隔件前端面的一部分或间隔件的端子收容空间，也可以设置多个第1限制部件。

此外，作为气体传感器，除了氧传感器、全区域气体传感器以外，可例举nox传感器。

附图标记说明

10传感器元件

11a、11b、12a、12b电极焊盘

21a、21b、22a、22b端子配件

21p接点部

146引线

166间隔件

166t第2限制部件

168插通孔

200气体传感器

211b折返部

300第1夹具

300h、400h收容空间

300b、400b收容空间的底面

300s、400s第1限制部件

312、412平面部

314、316端子配件限制部件

400第2夹具

o轴线

d1收容空间的内径

d2间隔件的前端部的最大外径

l并列设置方向。