技术特征：
技术总结
本发明涉及一种超光滑光学元件表面缺陷类型的检测系统及其测量方法。通过研究表面上方微粒、亚表面缺陷和表面粗糙度的BRDFpp在给定入射角、散射角下随着散射方位角变化的仿真结果，本发明提供一种光学元件表面缺陷类型检测系统及方法，在一定的偏振态下测量不同的散射方位角，研究其特性参数，以达到区分疵病类型的作用。本发明采用的技术方案包括激光器，激光器的光轴上依次设置有衰减片、扩束准直镜、斩波器和反射镜；所述的斩波器上连接有控制器；反射镜的斜下方设置有超光滑光学元件，光电探测器设置于超光滑光学元件的斜上方，光电探测器与锁相放大器连接；所述的锁相放大器与记录仪连接。
技术研发人员：王红军;胡雪媛;陈晨;解格飒;田爱玲;朱学亮;刘丙才
受保护的技术使用者：西安工业大学
技术研发日：2018.06.27
技术公布日：2018.11.16