一种太赫兹行波管的快速检漏方法及其装置与流程

文档序号:17434167发布日期:2019-04-17 03:53阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种太赫兹行波管的快速检漏装置,包括:抽气仪底座,抽气仪底座具有自下而上贯穿的底座气道,抽气仪底座上通过检漏仪安装垫连接有排气管,排气管外套装有卡箍盘,卡箍盘中部具有供排气管穿过的排气管孔,卡箍盘对排气管进行轴向限位,卡箍盘外套装有锁定盖,锁定盖与抽气仪底座之间通过螺纹连接,锁定盖将卡箍盘进行轴向压紧,检漏仪安装垫具有贯穿的安装垫气道,安装垫气道与底座气道连通,底座气道与排气管的排气管气道连通,排气管顶端与行波管连接,抽气仪底座底部连接有检漏仪,可以将行波管与检漏装置连接紧密,而检漏装置的排气管通过连接稳定,从而使行波管可以长时间在检漏仪上抽气,提高了检漏仪漏率的灵敏度。

技术研发人员:雷文强;张明君;黄银虎;蒋艺;胡鹏;宋睿;陈洪斌
受保护的技术使用者:中国工程物理研究院应用电子学研究所
技术研发日:2018.12.25
技术公布日:2019.04.16
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