一种芯片抗静电装置的制作方法

文档序号:17437634发布日期:2019-04-17 04:20阅读:193来源:国知局
一种芯片抗静电装置的制作方法

本发明涉及抗静电装置技术领域,更具体地说,本发明涉及一种芯片抗静电装置。



背景技术:

随着集成电路的迅速发展,特别是数模混合电路的广泛应用,芯片制造需要一个无静电、无尘的环境,工作台就能提供这样一个环境。目前,国内的大部分制造公司都只采用进口的工作台,而国内自主研发的工作台从工艺、技术都落后于国外。抗静电功能是工作台必要的需求,研发具有高抗静电能力的工作台是迈进技术创新的重要一步。

然而,芯片在加工的过程中,静电已成为导致集成电路内部损伤的严峻性问题,它常常在制作工艺过程中形成,给芯片的制造和设计带来了很大的困难。



技术实现要素:

为了克服现有技术的上述缺陷,本发明的实施例提供一种芯片抗静电装置,本发明通过设有吹风装置和转动盘,电机工作带动转动板转动,并通过控制电动推杆工作调节支撑板倾斜的角度,从而可以调节吹风壳体的角度和方向,马达工作带动转动轴和转动叶片工作,将外界气体通过进风板引进后通过离子发生器工作,使空气附着大量电荷,并将附着电荷的气体吹到工作台表面,达到除静电的效果,消除静电对芯片破坏,能够确保芯片的质量,同时避免芯片的损坏,减少生产成本。

为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种芯片抗静电装置,包括底板,所述底板顶部前侧和后侧均设有侧板,所述侧板一侧设有固定座,所述固定座顶部设有转动板,所述转动板顶部设有吹风装置,所述吹风装置包括安装座、吹风壳体、进风板、马达、转动轴、转动叶片、离子发生器和出风板,所述侧板另一侧设有侧壳,所述侧壳内部均匀设有抗静电手环,所述侧板前侧表面设有控制面板。

在一个优选地实施方式中,所述侧板数量设置为两个且两个侧板之间设有工作台,所述侧板内侧设有芯片加工设置,所述侧板内侧表面设有人体红外探测头。

在一个优选地实施方式中,所述固定座内壁顶部设有电机,所述电机输出轴与转动板传动连接,所述转动板与固定座滑动连接。

在一个优选地实施方式中,所述转动板顶部设有支撑板,所述支撑板与转动板之间均匀设有电动推杆,所述电动推杆与支撑板连接处设有铰接块。

在一个优选地实施方式中,所述安装座设置于支撑板顶部且与支撑板固定连接,所述安装座顶部设有吹风壳体,所述吹风壳体外侧设有进风板,所述吹风壳体内部设有马达,所述马达一侧连接有转动轴,所述转动轴与马达传动连接,所述转动轴表面均匀设有转动叶片,所述马达另一侧设有离子发生器,所述吹风壳体内侧设有出风板。

在一个优选地实施方式中,所述侧壳外侧设有电磁门,所述侧壳内部均匀设有隔板,所述侧壳外侧连接有接地块。

在一个优选地实施方式中,所述包括松紧带、连接头、连接座、连接块和弹簧软线,所述松紧带一端设有连接头,所述松紧带另一端设有连接座,所述连接头与连接座插接,所述连接座内部设有泄漏电阻,所述松紧带外侧设有连接块,所述连接块外侧设有弹簧软线,所述松紧带和弹簧软线均由橡筋导电丝制成,所述弹簧软线另一端贯穿侧壳且延伸至接地块底部。

在一个优选地实施方式中,所述控制面板底部设有密码输入面板,所述控制面板内部设有plc控制器、无线数据传输模块和数据转换器,所述控制面板表面设有触控屏,所述控制面板一侧设有多个显示灯,所述控制面板另一侧设有警报器。

本发明的技术效果和优点:

1、本发明通过设有吹风装置和转动盘,电机工作带动转动板转动,并通过控制电动推杆工作调节支撑板倾斜的角度,从而可以调节吹风壳体的角度和方向,马达工作带动转动轴和转动叶片工作,将外界气体通过进风板引进后通过离子发生器工作,使空气附着大量电荷,并将附着电荷的气体吹到工作台表面,达到除静电的效果,消除静电对芯片破坏,能够确保芯片的质量,同时避免芯片的损坏,减少生产成本;

2、通过设有抗静电手环,工作人员由密码输入面板输入密码验证身份后,控制面板控制电磁门打开,工作人员可以由侧壳内取出抗静电手环,并通过连接头插入连接座内将其套在手腕上,由于弹簧软线当做地线另一端通过接地块接通地面,松紧带与皮肤接触时,可以在瞬间时间内安全地除去人体内产生的静电,防止工人加工过程产生人体附带的静电对芯片造成损害,对芯片起到全面的保护工作;

3、通过设有人体红外探测头和警报器,当有工作人员未携带抗静电手环进行加工时,人体红外探测头检测到人体信号并传输检测信号至控制面板,控制面板内部数据转换器将电信号转换为数据后,控制面板验证是否刚验证密码打开电磁门,如果没有打开则控制警报器响起提醒工作人员,若已打开则设备继续工作,并且控制面板可以通过显示灯来表示不同装置的工作状态,便于工作人员进行查看。

附图说明

图1为本发明的整体结构示意图;

图2为本发明的整体结构侧视图;

图3为本发明的转动板结构示意图;

图4为本发明的吹风装置结构示意图;

图5为本发明的抗静电手环结构示意图;

附图标记为:1底板、2侧板、21工作台、22人体红外探测头、3固定座、31电机、4转动板、41支撑板、42电动推杆、5吹风装置、51安装座、52吹风壳体、53进风板、54马达、55转动轴、56转动叶片、57离子发生器、58出风板、6侧壳、61电磁门、62隔板、63接地块、7抗静电手环、71松紧带、72连接头、73连接座、74连接块、75弹簧软线、8控制面板、81密码输入面板、82显示灯、83警报器。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。

实施例1:

本发明提供了如图1-5所示的一种芯片抗静电装置,包括底板1,所述底板1顶部前侧和后侧均设有侧板2,所述侧板2一侧设有固定座3,所述固定座3顶部设有转动板4,所述转动板4顶部设有吹风装置5,所述吹风装置5包括安装座51、吹风壳体52、进风板53、马达54、转动轴55、转动叶片56、离子发生器57和出风板58,所述侧板2另一侧设有侧壳6,所述侧壳6内部均匀设有抗静电手环7,所述侧板2前侧表面设有控制面板8。

所述固定座3内壁顶部设有电机31,所述电机31输出轴与转动板4传动连接,所述转动板4与固定座3滑动连接。

所述转动板4顶部设有支撑板41,所述支撑板41与转动板4之间均匀设有电动推杆42,所述电动推杆42与支撑板41连接处设有铰接块。

所述安装座51设置于支撑板41顶部且与支撑板41固定连接,所述安装座51顶部设有吹风壳体52,所述吹风壳体52外侧设有进风板53,所述吹风壳体52内部设有马达54,所述马达54一侧连接有转动轴55,所述转动轴55与马达54传动连接,所述转动轴55表面均匀设有转动叶片56,所述马达54另一侧设有离子发生器57,所述吹风壳体52内侧设有出风板58。

本实施例有益效果:电机31工作带动转动板4转动,并通过控制电动推杆42工作调节支撑板41倾斜的角度,从而可以调节吹风壳体52的角度和方向,马达54工作带动转动轴55和转动叶片56工作,将外界气体通过进风板53引进后通过离子发生器工作,使空气附着大量电荷,并将附着电荷的气体吹到工作台21表面,达到除静电的效果,消除静电对芯片破坏,能够确保芯片的质量,同时避免芯片的损坏,减少生产成本。

实施例二:

所述侧壳6外侧设有电磁门61,所述侧壳6内部均匀设有隔板62,所述侧壳6外侧连接有接地块63。

所述77包括松紧带71、连接头72、连接座73、连接块74和弹簧软线75,所述松紧带71一端设有连接头72,所述松紧带71另一端设有连接座73,所述连接头72与连接座73插接,所述连接座73内部设有泄漏电阻,所述松紧带71外侧设有连接块74,所述连接块74外侧设有弹簧软线75,所述松紧带71和弹簧软线75均由橡筋导电丝制成,所述弹簧软线75另一端贯穿侧壳6且延伸至接地块63底部。

本实施例有益效果:工作人员由密码输入面板81输入密码验证身份后,控制面板8控制电磁门61打开,工作人员可以由侧壳6内取出抗静电手环,并通过连接头72插入连接座73内将其套在手腕上,由于弹簧软线75当做地线另一端通过接地块63接通地面,松紧带71与皮肤接触时,可以在瞬间时间内安全地除去人体内产生的静电,防止工人加工过程产生人体附带的静电对芯片造成损害,对芯片起到全面的保护工作。

实施例三:

所述侧板2数量设置为两个且两个侧板2之间设有工作台21,所述侧板2内侧设有芯片加工设置,所述侧板2内侧表面设有人体红外探测头22。

所述控制面板8底部设有密码输入面板81,所述控制面板8内部设有plc控制器、无线数据传输模块和数据转换器,所述控制面板8表面设有触控屏,所述控制面板8一侧设有多个显示灯82,所述控制面板8另一侧设有警报器83。

本实施例有益效果:当有工作人员未携带抗静电手环7进行加工时,人体红外探测头22检测到人体信号并传输检测信号至控制面板8,控制面板8内部数据转换器将电信号转换为数据后,控制面板8验证是否刚验证密码打开电磁门7,如果没有打开则控制警报器83响起提醒工作人员,若已打开则设备继续工作,并且控制面板8可以通过显示灯82来表示不同装置的工作状态,便于工作人员进行查看。

本发明工作原理:

参照说明书附图1、图3和图4:电机31工作带动转动板4转动,并通过控制电动推杆42工作调节支撑板41倾斜的角度,从而可以调节吹风壳体52的角度和方向,马达54工作带动转动轴55和转动叶片56工作,将外界气体通过进风板53引进后通过离子发生器工作,使空气附着大量电荷,并将附着电荷的气体吹到工作台21表面,达到除静电的效果,消除静电对芯片破坏,能够确保芯片的质量,同时避免芯片的损坏,减少生产成本;

参照说明书附图1和图5:工作人员由密码输入面板81输入密码验证身份后,控制面板8控制电磁门61打开,工作人员可以由侧壳6内取出抗静电手环,并通过连接头72插入连接座73内将其套在手腕上,由于弹簧软线75当做地线另一端通过接地块63接通地面,松紧带71与皮肤接触时,可以在瞬间时间内安全地除去人体内产生的静电,防止工人加工过程产生人体附带的静电对芯片造成损害,对芯片起到全面的保护工作;

参照说明书附图1和图2:当有工作人员未携带抗静电手环7进行加工时,人体红外探测头22检测到人体信号并传输检测信号至控制面板8,控制面板8内部数据转换器将电信号转换为数据后,控制面板8验证是否刚验证密码打开电磁门7,如果没有打开则控制警报器83响起提醒工作人员,若已打开则设备继续工作,并且控制面板8可以通过显示灯82来表示不同装置的工作状态,便于工作人员进行查看。

最后应说明的几点是:首先,在本申请的描述中,需要说明的是,除非另有规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,可以是机械连接或电连接,也可以是两个元件内部的连通,可以是直接相连,“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系,当被描述对象的绝对位置改变,则相对位置关系可能发生改变;

其次:本发明公开实施例附图中,只涉及到与本公开实施例涉及到的结构,其他结构可参考通常设计,在不冲突情况下,本发明同一实施例及不同实施例可以相互组合;

最后:以上所述仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

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