探针构造体以及探针构造体的制造方法与流程

本发明涉及一种用于基板检查用夹具等的探针构造体及其制造方法。

背景技术：

以往，期待碳纳米管(carbonnanotube，cnt)作为电子元件材料、光学材料、导电性材料、或生物相关材料等的使用。已知有使许多根所述碳纳米管集合来形成块状集合体。另外，已知有如下的方法：将催化剂配置于基板上来使多根碳纳米管在基板面上进行化学气相成长(chemicalvapordeposition，cvd)，以使所述块状集合体的尺寸大型化，并且提升纯度、比表面积、导电性、密度、硬度等特性。在所述方法中，提出将通过使多根碳纳米管进行取向成长所获得的碳纳米管的束的一部分暴露于液体中后，进行干燥，由此制造具有密度为0.2g/cm³～1.5g/cm³的高密度部分与密度为0.001g/cm³～0.2g/cm³的低密度部分的取向碳纳米管块状构造体(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2007-181899号公报

技术实现要素：

然而，专利文献1中所公开的取向碳纳米管块状构造体是以如下方式构成：作为在配置于基板上的催化剂的存在下进行成长的多根碳纳米管的集合体来制造后，在以物理方式、化学方式或机械方式自基板上剥离了其基端部的状态下，用作电子元件材料或导电性材料等。

但是，当将取向碳纳米管块状构造体用作例如基板检查用夹具等用以检测电信号的探针构造体时，必须将自基板上剥离的取向碳纳米管块状构造体的基端部连接于用以对检查装置的控制部等传送信号的电极部等上，因在所述连接部中产生接触电阻，而无法避免探针构造体的电阻增大至几ω左右而高电阻化。

本发明的目的在于提供一种防止探针构造体的电阻变大并可获得优异的导电性的探针构造体及其制造方法。

根据本发明的一侧面的探针构造体是如下的探针构造体，其具备：保持板，具有第一面与第二面、且至少所述第一面经绝缘；多个电极，以相互分离的状态形成于所述保持板的第一面上；以及碳纳米管构造体，立设于所述电极上；且在所述保持板中形成有与所述电极相对应的贯穿孔。

根据本发明的一侧面的探针构造体的制造方法包括：电极形成步骤，使多个电极以相互分离的状态形成于具有第一面与第二面、且至少所述第一面经绝缘的保持板的第一面上；催化剂配设步骤，将催化剂配设于所述电极上；碳纳米管构造体生成步骤，在所述催化剂的存在下使多根碳纳米管进行化学气相成长，而在电极上生成碳纳米管构造体；以及贯穿孔形成步骤，在所述保持板上形成与所述电极相对应的贯穿孔。

附图说明

图1是表示本发明的探针构造体的第一实施方式的剖面图。

图2是表示第一实施方式的探针构造体的制造方法的步骤图。

图3a是表示第一实施方式的探针构造体的制造步骤的说明图。

图3b是表示第一实施方式的探针构造体的制造步骤的说明图。

图3c是表示第一实施方式的探针构造体的制造步骤的说明图。

图3d是表示第一实施方式的探针构造体的制造步骤的说明图。

图3e是表示第一实施方式的探针构造体的制造步骤的说明图。

图3f是表示第一实施方式的探针构造体的制造步骤的说明图。

图4a是表示构成所述探针构造体的碳纳米管构造体的成形过程的立体图。

图4b是表示构成所述探针构造体的碳纳米管构造体的成形过程的立体图。

图5是表示将第一实施方式的探针构造体用作基板检查装置的检查夹具的例子的说明图。

图6是表示本发明的探针构造体的制造方法的第二实施方式的步骤图。

图7是表示图1中所示的探针构造体的另一例的剖面图。

具体实施方式

以下，根据附图对本发明的实施方式进行说明。再者，在各图中，标注有相同符号的构成表示相同构成，并省略其说明。

(第一实施方式)

图1是表示本发明的探针构造体的第一实施方式的剖面图，图2是表示所述探针构造体1的制造方法的步骤图，图3a～图3f是表示探针构造体1的制造步骤的说明图，图4a、图4b是表示构成探针构造体1的碳纳米管构造体4的成形过程的立体图，图5是表示将探针构造体1用作基板检查装置的检查夹具的例子的说明图。

探针构造体1具备：保持板2，具有第一面21与第二面22；多个电极3，以相互分离的状态形成于所述保持板2的第一面21上；以及碳纳米管构造体4，分别立设于各电极3上。

保持板2包含至少第一面21因由含有二氧化硅(sio2)的绝缘膜23覆盖而绝缘的结晶硅基板等。再者，也可利用具有绝缘性的陶瓷材料、或玻璃材料等形成保持板2，由此使所述保持板2的整体变成绝缘构造。当将保持板2自身设为绝缘构造时，也可将探针构造体1设为不具备绝缘膜23及绝缘层25的构成。

另外，在保持板2中，使第一面21与第二面22连通的贯穿孔24形成在与各电极3相对应的位置上，并且设置有自设置于第一面21上的电极3穿过贯穿孔24而朝第二面22侧延伸的导通部5。贯穿孔24的内表面通过绝缘层25来绝缘。

电极3通过遮蔽保持板2的第一面21，并将金、银、铜或铝金属材料在规定的位置上加以图案化等，而形成为具有0.01mm～0.2mm左右的宽度尺寸、及0.1μm～9μm左右的厚度的岛状。另外，通过进行蒸镀等而在各电极3上配设包含铁、镍或钴的催化剂31。所述催化剂31的厚度优选为1nm以上、100nm以下，更优选为1nm以上、5nm以下。

再者，也可通过也作为催化剂发挥功能的铁、镍、钴等催化剂材料来构成电极3，或通过使这些催化剂材料混入至电极3中，而将电极3与催化剂31一体地构成。

碳纳米管构造体4包含碳纳米管41的集合体，所述碳纳米管41的集合体是通过使用之前众所周知的cvd装置(未图示)，在催化剂31的存在下使多根单层或多层的碳纳米管41集中来进行化学气相成长而形成。所述包含碳纳米管41的集合体的碳纳米管构造体4的中间部分及其前端侧部分如后述那样比自电极3的立起部分更高密度地收拢。即，碳纳米管构造体4的粗细(直径)是中间部分及其前端侧部分变得比自电极3的立起部分更细。

构成碳纳米管构造体4的碳纳米管41具有1nm～20nm的外径与200μm～2mm的立设长度。碳纳米管41的外径的优选的范围为10nm～15nm，立设长度的更优选的范围为200μm～500μm。

自电极3的立起部分中的碳纳米管构造体4的密度(每单位剖面积的根数)为10¹⁰/cm²～10¹¹/cm²，碳纳米管构造体4的中间部分及前端侧部分优选为具有立起部分中的密度的5倍～20倍左右的密度。再者，只要中间部分(长度方向的大致中央)的密度比碳纳米管构造体4的立起部分更高即可，也可不必是此种密度倍率。

另外，碳纳米管构造体4由包含具有绝缘性与弹性的硅橡胶等的保形层6围绕。另外，碳纳米管构造体4的前端部是以自保形层6的表面露出的状态来设置。

探针构造体1的制造方法如图2所示，包括：电极形成步骤k1，使多个电极3相互独立地形成于保持板2的第一面21上；催化剂配设步骤k2，将催化剂31分别配设于各电极3上；碳纳米管构造体生成步骤(cnt构造体生成步骤)k3，在催化剂31的存在下使多根碳纳米管41进行化学气相成长，而在各电极3上生成碳纳米管构造体4；收拢步骤k4，使碳纳米管构造体4的至少中间部分高密度地收拢；保形层形成步骤k5，形成具有绝缘性与弹性的保形层6；切除步骤k6，将碳纳米管构造体4的前端部与保形层6的表面切除；贯穿孔形成步骤k7，在保持板2上形成与各电极3相对应的贯穿孔24；以及导通部形成步骤k8，将具有导电性的材料填充至各贯穿孔24中而形成导通部5。

在电极形成步骤k1中，如图3a所示，通过以将在电极3的形成位置上形成有开口的金属掩模7配设在保持板2的上方的状态，将金、银、铜或铝金属材料加以图案化等，而在保持板2的第一面21上形成多个电极3。其后，在催化剂配设步骤k2中，通过进行溅镀蒸镀等而将包含氯化铁薄膜、铁薄膜、铁-钼薄膜、氧化铝-铁薄膜、氧化铝-钴薄膜、氧化铝-铁-钼薄膜等的催化剂31分别配设于各电极3上。

继而，在cnt构造体生成步骤k3中，使用图外的cvd装置，注入包含碳的烃中的低级烃，例如甲烷、乙烷、丙烷、乙烯、丙烯、乙炔等并加热至500℃以上的温度。由此，如图3b及图4a所示，使多根单层或多层的碳纳米管41集中来进行化学气相成长，而在电极3上生成包含碳纳米管41的集合体的碳纳米管构造体4。

当使碳纳米管41进行化学气相成长时，优选为使用例如氦气、氩气、氢气、氮气、氖气、氪气、二氧化碳、氯气等不与碳纳米管41进行反应的环境气体。另外，反应的环境压力优选为10²pa以上、10⁷pa以下，更优选为10⁴pa以上、3×10⁵pa以下，特别优选为5×10⁴pa以上、9×10⁴pa以下。

继而，在收拢步骤k4中，自碳纳米管构造体4的上方，将例如包含水、醇类(异丙醇、乙醇、甲醇)、丙酮类(丙酮)、己烷、甲苯、环己烷、二甲基甲酰胺(dimethylformamide，dmf)等的液滴e滴落至多根碳纳米管41之间，由此暴露于液体中后，在室温下通过自然干燥、抽真空干燥、或利用热板等进行加热等来使其干燥。

其结果，因通过滴落液滴e所产生的表面张力、及碳纳米管41间所产生的凡得瓦力(vanderwaalsforce)而显现拉链效应(zippereffect)，各碳纳米管41彼此被吸引，碳纳米管构造体4收拢。此时，因碳纳米管构造体4的基端部固着于电极3上，故如图3c及图4b所示，碳纳米管构造体4的中间部分及其上方侧部分比自电极3立起的碳纳米管构造体4的立起部分更收拢而高密度化。

再者，碳纳米管构造体4的前端部被设为自由端，因此容易扩展。因此，只要作为碳纳米管构造体4整体得到收拢，且碳纳米管构造体4的至少中间部分变得比碳纳米管构造体4的立起部分更细即可，碳纳米管构造体4的前端部也可部分地比碳纳米管构造体4的立起部分更扩展而变粗。

另外，在可充分地获得碳纳米管构造体4的强度及导电性的情况下，也可省略收拢步骤k4。

其后，在保形层形成步骤k5中，如图3d所示，以围绕碳纳米管构造体4的方式填充具有流动性的填充材料，例如以硅酮为基础的弹性体后，使所述填充材料硬化而形成具有绝缘性与弹性的保形层6。

作为所述具有流动性的填充材料，可使用橡胶材料、柔性塑料材料、及包含可硬化的液状橡胶等的各种材料。作为液状橡胶，例如可使用室温硫化(roomtemperaturevulcanizing，rtv)硅酮橡胶、加热硬化型硅酮橡胶、紫外线硬化型硅酮橡胶等各种液状橡胶，例如可使用信越化学工业股份有限公司制造的rtv硅酮橡胶“ke-1285”等。

将填充材料填充至邻接的碳纳米管构造体4间，而形成保形层6，由此即便用作探针，也能够以碳纳米管构造体4不倒、且邻接的碳纳米管构造体4彼此不接触的方式支撑。另外，也可将填充材料填充至构成碳纳米管构造体4的多根碳纳米管41之间并使其硬化。在此情况下，可提升碳纳米管构造体4的强度或耐久性。

继而，在切除步骤k6中，如图3e所示，通过使用激光加工机的激光加工或使用切割刀片的机械加工等方法，将碳纳米管构造体4的前端部与保形层6的表面切除。由此，当构成保形层6的填充材料附着于碳纳米管构造体4的前端部时，可将其确实地去除。另外，在构成碳纳米管构造体4的各碳纳米管41的前端部变得零乱的情况或扩展的情况等下，可将所述前端部切除来使碳纳米管构造体4的前端部一致、或使高密度的部分在前端露出。

其后，在贯穿孔形成步骤k7中，通过使用激光加工机的激光加工或使用钻孔器的机械加工等方法，在保持板2上形成与各电极3相对应的贯穿孔24。其后，在导通部形成步骤k8中，在贯穿孔24的内表面上形成例如氧化皮膜等绝缘层25，并通过掩模图案化等方法将具有导电性的材料填充至贯穿孔24中，而如图3f所示那样形成导通部5。如此，制造图1中所示的探针构造体1。

具有所述构成的探针构造体1如图5所示，可用作例如包含玻璃环氧基板、柔性基板、陶瓷多层配线基板、液晶显示器或等离子体显示器用的电极板、触控屏用等的透明导电板、及半导体封装用的封装基板或膜式载体(filmcarrier)等的检查对象的基板8的检查夹具等。

具体而言，使探针构造体1保持于图外的夹具保持构件上，并且将对包含电流计、电压计、电流源等的图略的检查装置传送信号的电线9自保持板2的第二面22侧连接于导通部5上。由此，可将各碳纳米管构造体4与检查装置电性连接，而将各碳纳米管构造体4用作检查装置的探针。

继而，使碳纳米管构造体4的前端部分别抵接于设置在基板8上的配线图案或焊料凸块等检查点81、检查点82上。而且，通过使事先设定的检查用电流在接触一侧的检查点81的碳纳米管构造体4与接触另一侧的检查点82的碳纳米管构造体4之间流动，并检测两者间的电压，且将其值与事先设定的基准值进行比较等，而判定基板8的优劣。

如以上那样，根据探针构造体1，不会产生在现有技术中将碳纳米管的集合体自基板上剥离后，将其基端部连接于信号传送用的电极部等上的情况下产生的接触电阻，因此减少电阻的增大，可将探针构造体1的电阻抑制成例如150mω以下而获得优异的导电性，所述探针构造体1具备：保持板2，具有第一面21与第二面22、且至少第一面21经绝缘；多个电极3，以相互分离的状态形成于保持板2的第一面21上；以及碳纳米管构造体4，立设于电极3上；且在保持板2中形成有与电极3相对应的贯穿孔24。因此，具有可将探针构造体1适宜地用作基板检查装置的检查夹具等这一优点。

另外，当设为设置有自电极3穿过贯穿孔24而朝保持板2的第二面22侧延伸的导通部5的构成时，可利用所述导通部5而容易且适当地进行对于基板检查装置的控制部等的电性连接。

在所述第一实施方式中，设为使碳纳米管构造体4的中间部分比自电极3立起的碳纳米管构造体4的立起部分更高密度地收拢的构造，因此具有如下的优点：进一步提升碳纳米管构造体4的导电性，并可更有效地降低探针构造体1的电阻。

进而，当在利用包含具有绝缘性与弹性的材料的保形层6围绕碳纳米管构造体4，并且使其前端部自保形层6的表面露出的状态下设置时，可维持碳纳米管构造体4的导电性，并有效地防止其变形及损伤。

另外，根据探针构造体1的制造方法，具有可容易且适当地制造具有优异的导电性，可适宜地用作基板检查装置的检查夹具等的探针构造体1这一优点，所述探针构造体1的制造方法如图2及图3a～图3f所示，包括：电极形成步骤k1，使多个电极3以相互分离的状态形成于具有第一面21与第二面22、且至少第一面21经绝缘的保持板2的第一面21上；催化剂配设步骤k2，将催化剂31分别配设于各电极3上；碳纳米管构造体生成步骤k3，在催化剂31的存在下使多根碳纳米管41进行化学气相成长，而在电极3上生成碳纳米管构造体4；以及贯穿孔形成步骤k7，在保持板2上形成与各电极3相对应的贯穿孔24。

当包括使碳纳米管构造体生成步骤k3中所生成的碳纳米管构造体4暴露于液体中后，进行干燥，由此使碳纳米管构造体4的中间部分比自电极3立起的碳纳米管构造体4的立起部分更高密度地收拢的收拢步骤k4时，可更有效地提升碳纳米管构造体4的导电性。其结果，具有如下的优点：可容易且适当地制造可适宜地用作基板检查装置的检查夹具等的探针构造体1。

进而，根据包括在以围绕碳纳米管构造体4的方式填充具有流动性的填充材料后，使所述填充材料硬化来形成具有绝缘性与弹性的保形层6的保形层形成步骤k5的探针构造体1的制造方法，具有如下的优点：可容易且适当地制造维持碳纳米管构造体4的导电性，并具有优异的强度及耐久性的探针构造体1。

另外，在通过在保形层形成步骤k5中使用流动性极高的填充材料等，而将填充材料填充至构成碳纳米管构造体4的多根碳纳米管41之间并使其硬化的情况下，可更有效地提升探针构造体1的强度及耐久性。

根据进而包括将碳纳米管构造体4的前端部与保形层6的表面切除的切除步骤k6的探针构造体1的制造方法，当构成保形层6的填充材料附着于碳纳米管构造体4的前端部时，可将其确实地去除，并且当构成碳纳米管构造体4的各碳纳米管41的前端部变得零乱时，可将所述前端部切除来使碳纳米管构造体4的前端部一致。其结果，具有如下的优点：可有效地提升碳纳米管构造体4的导电性。

另外，根据包括将具有导电性的材料填充至形成于保持板2上的贯穿孔24中，而形成自电极3的设置部朝保持板2的第二面22侧延伸的导通部5的导通部形成步骤的探针构造体1的制造方法，具有如下的优点：可获得通过利用导通部5，而可容易且适当地进行对于基板检查装置等的电性连接的探针构造体1。

(第二实施方式)

图6是表示本发明的探针构造体1的制造方法的第二实施方式的步骤图。所述第二实施方式的探针构造体1的制造方法与图2中所示的第一实施方式的制造方法的不同点在于：在贯穿孔形成步骤k7中在保持板2上形成贯穿孔24，并且在导通部形成步骤k8中将具有导电性的材料填充至贯穿孔24中而形成导通部5后，在电极形成步骤k1中，在保持板2的第一面21上将电极3形成在与贯穿孔24相对应的部位上，由此将所述电极3与导通部5连接。

在如此构成的情况下，也具有可利用导通部5而容易且适当地进行对于基板检查装置的控制部等的电性连接这一优点。再者，探针构造体1也可不具备导通部5，也可不执行导通部形成步骤k8。即便不具备导通部5，通过例如在贯穿孔24中插入电线9等来将电线9与电极3连接，也可将碳纳米管构造体4用作探针。

另外，也可设为在图2中所示的催化剂配设步骤k2与碳纳米管(cnt)构造体生成步骤k3之间，在保持板2上形成贯穿孔24，并且将具有导电性的材料填充至贯穿孔24中而形成导通部5。

另外，如图7所示，导通部5以自保持板2的贯穿孔24至覆盖保持板2的第二面22侧的位置为止电性连续的方式形成，也可将所述覆盖第二面22上的位置用作导通部5与电线9的连接部。在此情况下，当将电线9连接于导通部5上时，在导通部5的位于贯穿孔24的内部的部分为即便是比较弱的力也容易塑性变形的部分、或贯穿孔24的内壁与导通部5的接着强度并非足够强的接着强度的情况下，也不存在自电线9施加至贯穿孔24内的导通部5的力被传导至电极3中，而导致电极3自保持板2或其第一面21上的绝缘膜23上剥离或电极3破损变形的情况，可将电线9与导通部5牢固地连接。当自第二面侧观察时，可将所述连接部的形状设为与贯穿孔24为同心圆，也可设为自贯穿孔24的中心偏心的椭圆等形状。所述连接部与贯穿孔24内的导通部5可使用同一材质者，也可使用不同的材质者。所述连接部与贯穿孔24内的导通部5可通过同一步骤来形成，也可将在贯穿孔24内形成导通部5的步骤与在第二面22侧形成所述连接部的步骤设为不同的步骤。

即，根据本发明的一侧面的探针构造体是如下的探针构造体，其具备：保持板，具有第一面与第二面、且至少所述第一面经绝缘；多个电极，以相互分离的状态形成于所述保持板的第一面上；以及碳纳米管构造体，立设于所述电极上；且在所述保持板中形成有与所述电极相对应的贯穿孔。

根据所述构成，不会如同如现有技术那样将碳纳米管的集合体自基板上剥离后，将其基端部连接于电极部等上的情况等那样因接触电阻而导致电阻增大，可将探针构造体的电阻抑制成例如150mω以下而获得优异的导电性，因此可将其适宜地用作用以检测电信号的探针。

另外，优选为设为进而具备自所述各电极穿过所述贯穿孔而朝所述保持板的第二面侧延伸的导通部者。

根据所述构成，通过利用所述导通部，可容易且适当地将形成于保持板的第一面上的电极与欲检测电信号的外部装置连接。

另外，优选为所述各碳纳米管构造体的中间部分比自所述各电极立起的所述各碳纳米管构造体的立起部分更收拢。

根据所述构成，具有如下的优点：进一步提升碳纳米管构造体的导电性，并可更有效地降低探针构造体的电阻。

另外，也可将所述各碳纳米管构造体设为如下的构成：由包含具有绝缘性与弹性的材料的保形层围绕，所述各碳纳米管构造体的前端部自所述保形层的表面露出。

根据所述构成，可维持碳纳米管构造体的导电性，并有效地防止其变形及损伤。

根据本发明的一侧面的探针构造体的制造方法包括：电极形成步骤，使多个电极以相互分离的状态形成于具有第一面与第二面、且至少所述第一面经绝缘的保持板的第一面上；催化剂配设步骤，将催化剂配设于所述多个电极上；碳纳米管构造体生成步骤，在所述催化剂的存在下使多根碳纳米管进行化学气相成长，而在所述各电极上生成碳纳米管构造体；以及贯穿孔形成步骤，在所述保持板上形成与所述各电极相对应的贯穿孔。

根据所述构成，具有如下的优点：可容易且适当地制造具有优异的导电性，可适宜地用作基板检查装置的检查夹具等的探针构造体。

另外，优选为进而包括收拢步骤，所述收拢步骤在使所述碳纳米管构造体生成步骤中所生成的所述碳纳米管构造体暴露在液体中后，进行干燥，由此使所述各碳纳米管构造体的中间部分比自所述各电极立起的所述各碳纳米管构造体的立起部分更收拢。

根据所述构成，具有如下的优点：可容易且适当地制造因可进一步提升碳纳米管构造体的导电性，故可更适宜地用作用以检测电信号的探针的探针构造体。

另外，优选为进而包括保形层形成步骤，所述保形层形成步骤在以围绕所述各碳纳米管构造体的方式填充具有流动性的填充材料后，使所述填充材料硬化来形成具有绝缘性与弹性的保形层。

根据所述构成，具有如下的优点：可容易且适当地制造维持碳纳米管构造体的导电性，并具有优异的强度及耐久性的探针构造体。

另外，也可设为在所述保形层形成步骤中，将所述具有流动性的填充材料填充至构成所述碳纳米管构造体的多根碳纳米管之间并使其硬化。

根据所述构成，可更有效地提升探针构造体的强度及耐久性。

另外，优选为进而包括切除步骤，所述切除步骤将所述各碳纳米管构造体的前端部、及所述保形层的表面切除。

根据所述构成，当构成保形层的填充材料附着于碳纳米管构造体的前端部时，可将其确实地去除。进而，当构成碳纳米管构造体的各碳纳米管的前端部变得零乱时，可将所述前端部切除来使碳纳米管构造体的前端部一致。其结果，可有效地提升碳纳米管构造体的导电性。

另外，优选为进而包括导通部形成步骤，所述导通部形成步骤将具有导电性的材料填充至形成于所述保持板上的所述贯穿孔中，而形成自所述保持板的所述第一面朝所述第二面侧延伸的导通部。

根据所述构成，具有如下的优点：可获得通过利用所述导通部，而可容易且适当地将形成于保持板的第一面上的电极与基板检查装置的控制部等连接的探针构造体。

再者，也可设为在所述贯穿孔形成步骤中在所述保持板上形成所述贯穿孔，并且在所述导通部形成步骤中将具有导电性的材料填充至所述贯穿孔中来形成所述导通部后，在所述电极形成步骤中，在所述保持板的第一面上形成所述电极。

在所述构成中，也可获得通过利用所述导通部，而可容易且适当地将形成于保持板的第一面上的电极与基板检查装置的控制部等连接的探针构造体。

根据此种探针构造体及其制造方法，防止探针构造体的电阻变大并可获得优异的导电性。另外，根据此种制造方法，可容易且适当地制造具有优异的导电性的探针构造体。

本申请是以2017年3月21日提出申请的日本专利申请特愿2017-054640为基础者，其内容包含于本申请中。再者，用以实施发明的实施方式的项目中所实施的具体的实施方式或实施例只不过使本发明的技术内容变得明确，本发明不应仅限定于所述具体例来狭义地解释。

符号的说明

1：探针构造体

2：保持板

3：电极

4：碳纳米管构造体

5：导通部

6：保形层

21：第一面

22：第二面

24：贯穿孔

25：绝缘层

31：催化剂

41：碳纳米管