一种承片台、全自动探针台、自动上料方法及自动下料方法与流程

文档序号:17656310发布日期:2019-05-15 22:02阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种承片台、全自动探针台、自动上料方法及自动下料方法,公开了一种承片台。所述承片台包括底部、第一支撑板、第二支撑板和放片部;所述放片部设置有第一贯通孔,沿所述第一贯通孔设置有定位环槽;所述定位环槽通过第一支撑板连接于底部,所述定位环槽通过第二支撑板连接于底部,所述放片部与底部形成测试空间;将固定双面晶片的定位夹具沿所述定位环槽固定,使所述双面晶片固定于所述承片台,测试探针通过测试空间对双面晶片进行导通,从而满足对双面晶片两侧同时电接触的测试要求。

技术研发人员:林生财;刘振辉;王胜利
受保护的技术使用者:深圳市矽电半导体设备有限公司
技术研发日:2019.02.16
技术公布日:2019.05.14
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