可用于半导体检测的装置的制作方法

本实用新型涉及检测装置，具体涉及一种可用于半导体检测的装置。

背景技术：

在半导体行业内，分立器件和集成电路的制造过程中会制作热氧化膜、电介质膜等用以实现器件的各种功能。热氧化膜或电介质膜均为透明薄 膜，薄膜厚度是一个重要的参数，其测量准确度会直接影响器件的性能指标，因此，对薄膜厚度参数的精确、快速测定和控制，是保证器件质量、提高生产效率的重要手段。如常用的椭偏 仪，将待测的半导体器件放置在平台上，再根据偏振光在反射前后的偏振状态变化来确定薄膜参数，它是微电子芯片生产过程中用于测量、监视薄膜厚度的仪器。现有技术中的检测装置中，通常需要人工将样品逐个放置在平台上，在进行观察、检测，针对大批量样品的检测耗时长，夹取时容易破坏样品，造成诸多不便。

技术实现要素：

本实用新型为解决现有检测装置需要手动取放样品的缺陷，提供一种能够存放多个样品，实现连续检测，无需频繁取放样品，增加便利性的可用于半导体检测的装置。

本实用新型采用以下技术方案实现，可用于半导体检测的装置，包括用于放置样品的检测平台，平台的后方设有与平台平行固定的安装座，安装座的上方设有可容纳样品的储存腔，所述储存腔的下方水平设有与平台台面齐平的开口，开口相对的侧壁上设有可水平伸缩的推杆，推杆位于储存腔内部的一端与样品接触连接。

优选的，所述储存腔的后侧设有控制推杆前后移动的压杆，压杆与推杆之间设置带有滑槽的连杆，推杆设有与连杆的滑槽配合的滑销。

优选的，所述连杆为弧形设置，连杆的中部设有弧形滑槽，推杆的中部设有与滑槽配合的滑销。

优选的，所述压杆外部设有套筒，套筒内部设有弹簧，所述压杆穿过弹簧内部，所述弹簧两端分别与套筒及压杆固定连接。

优选的，所述储存腔为圆筒形结构，储存腔的上方设有喇叭形开口。

本实用新型的有益之处在于，能够存储多个样品，一次性放入多个样品后，通过推杆实现单个样品手动排出，避免对样品误操作进行损坏，且不易混淆不同的样品，实现一组样品连续检测。

附图说明

图1 本实用新型整体结构示意图；

图2 本申请储存腔结构示意图；

图3 本申请储存腔第二实施例结构示意图；

图中1.检测平台，11.水平调节旋钮，12.垂直调节旋钮，2.安装座，3.储存腔，4.样品，41.排出样品，42.开口，5.套筒，6.压杆，7.弹簧，8.推杆，81.滑销，82.推杆弹簧，9.连杆，91.滑槽。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步说明。

如图1所示，本实用新型提供一种可用于半导体检测的装置，包括用于放置样品的检测平台1，检测平台为椭偏仪或者其他检测装置能够承载样品的平台，平台的后方设有与平台平行固定的安装座2，附图1中安装座位于平台台面之下，与水平移动台固定，安装座的上方设有可容纳样品的储存腔3。储存腔为圆筒形结构，储存腔的上方设有喇叭形开口。储存腔内部沿着竖直方向能使样品层叠放置，储存腔的下方水平设有与平台台面齐平的开口42，开口相对的侧壁上设有可水平伸缩的推杆8，本实施例中，开口位于左侧，而与开口相对的右侧设有连通外界的推杆，推杆沿着水平方向前后移动，推杆位于储存腔内部的一端与样品接触连接，外侧可以推动，实现将最底部的样品沿着开口推出，平稳的推送至平台的上方。

实施例一

如图2所示，本实用新型的一个实施例，为了使人员方便进行操作，储存腔的后侧设有控制推杆前后移动的压杆6，压杆6与推杆之间设置带有滑槽91的连杆9。连杆固定在压杆的底端，滑槽与推杆上的滑销配合，当压杆下压时滑槽下压，滑槽移动带动滑销沿着滑槽移动的，由于推杆水平移动限位，因此滑销带动推杆水平移动。本实施例中的滑槽为弧形结构，相应的连杆为弧形设置，连杆的上端与压杆固定，连杆的中部设有弧形滑槽，推杆的中部设有与滑槽配合的滑销81。如图所示，当压杆下压带动连杆下压，此时滑槽下移，由于滑槽与滑销的限位作用，当滑槽下移使滑销向左移动，从而使推杆移动。当压杆带动连杆上移，滑销会向右移动，实现位置的回复。连杆也可选择其他结构，如倾斜向左的直杆机构，滑槽采用直线滑槽，同样能够实现滑槽向下移动带动滑销向左向右移动。

本实施例中为了实现压杆的自动回弹，压杆外部设有套筒5，套筒内部设有弹簧7，压杆穿过弹簧内部，所述弹簧两端分别与套筒及压杆固定连接，其中弹簧的上端与套筒内的固定板固定，压杆穿过固定板及弹簧中部后贯穿套筒，弹簧的下端与压杆固定，实现压杆的回弹。

实施例二

如图3所示，本实施例中，采用压杆直推的方式进行，本实施例中的推杆与储存腔之间设有推杆弹簧82，推杆的后方设有弹簧挡板，本实用新型采用直推的方式实现推杆的回弹及推进。

以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。