一种旋转靶探伤装置的制作方法

本实用新型涉及靶材质量检测的技术领域，尤其是涉及一种旋转靶探伤装置。

背景技术：

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的靶材（如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等）。

各种类型的溅射薄膜材料在半导体集成电路(vlsi)、光碟、平面显示器以及工件的表面涂层等方面都得到了广泛的应用。20世纪90年代以来，溅射靶材及溅射技术的同步发展，极大地满足了各种新型电子元器件发展的需求。例如，在半导体集成电路制造过程中，以电阻率较低的铜导体薄膜代替铝膜布线：在平面显示器产业中，各种显示技术(如lcd、pdp、oled及fed等)的同步发展，有的已经用于电脑及计算机的显示器制造；在信息存储产业中，磁性存储器的存储容量不断增加，新的磁光记录材料不断推陈出新这些都对所需溅射靶材的质量提出了越来越高的要求，需求数量也逐年增加。

靶材在制作完成后，需要进行探伤，发现其内部和表面可能存在的缺陷。探伤采用的设备为超声波探伤仪，使用过程中需要配合特制的探头使用。靶材品种多，外形多样，尺寸变化大，大部分需要定制探头，检测成本非常高，并且对于靶材上不规则的部分，无法使用直接接触法进行检测。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种使用更加方便的旋转靶探伤装置。

本实用新型的上述目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种旋转靶探伤装置，包括水池、设在水池内的固定装置和设在水池内的探伤装置；

所述探伤装置包括固定在水池底面上的探伤架、水平固定在探伤架上的光杠和与光杠滑动连接的安装底座。

通过采用上述技术方案，水池内充满水后将超声波探头固定在安装底座上，安装底座在光杠上滑动的过程中，超声波探头对旋转靶进行探伤。该过程中，超声波探头水平移动，避免了手动操作时检测轨迹波动的问题，同时使用水作为检测介质，避免了使用特殊定制探头和楔块，能够降低检测成本和检测难度。

本实用新型进一步设置为：所述固定装置包括对称固定在水池底面上的左支架与右支架、与左支架转动连接的左转轴、固定在左转轴上的左顶尖、与右支架螺纹的顶紧丝杠、和设在顶紧丝杠上的右顶尖。

通过采用上述技术方案，本实用新型提供了一种固定装置的具体结构，左顶尖和右顶尖从两侧将旋转靶顶住，使其悬空，这样能够对旋转靶的全部外表面进行检测。

本实用新型进一步设置为：所述顶紧丝杠的一端上转动连接有右转轴；

所述右顶尖顶在右转轴的自由端上。

通过采用上述技术方案，左顶尖和右顶尖将旋转靶顶紧后，通过转动左转轴或者右转轴，就能够带动旋转靶转动，避免了反复拆装的麻烦，能够缩短检测时间，提高检测效率。

本实用新型进一步设置为：所述左转轴的自由端上固定有转盘。

通过采用上述技术方案，转盘直径大，握持更加方便。

本实用新型进一步设置为：所述转盘上设有顶紧丝杆；

所述顶紧丝杆的一端顶在左支架上。

通过采用上述技术方案，旋转靶转动到合适的位置后，转动顶紧丝杆，使其一端顶在左支架上，能够避免旋转靶在检测过程中发生转动和晃动，可以起到提高检测精度的作用。

本实用新型进一步设置为：所述探伤架上水平设有丝杠；

所述安装底座与丝杠螺纹连接。

通过采用上述技术方案，通过转动丝杠就能够带动超声波探头在水平方向上匀速移动，和手动控制相比，更加精确。

本实用新型进一步设置为：所述丝杠的一端上固定有转轮。

通过采用上述技术方案，转轮直径大，握持更加方便。

本实用新型进一步设置为：所述左支架上固定有刻度盘；

所述左转轴的一端上固定有与辅助刻度盘；

所述辅助刻度盘位于刻度盘上的孔内。

通过采用上述技术方案，检测过程中，辅助刻度盘跟随左转轴转动，改过层中，其以刻度盘的相对位置发生改变，通过该改变能够准确的得知靶材的转动角度。

本实用新型进一步设置为：所述左顶尖和右顶尖上均设有盲孔；

还包括两端分别插入到左顶尖和右顶尖上盲孔内的辅助检测杆。

通过采用上述技术方案，检测过程中，超声波在辅助检测杆上发生反射，能够提供一个更加稳定的底波，避免靶材内孔粗糙时造成的检测结果偏差。

综上所述，本实用新型的有益技术效果为：

1.本实用新型在水池内对旋转靶进行探伤，探伤时，旋转靶浸泡在水中，安装底座带动超声波探头在光杠上水平移动，对旋转靶进行检测。这种检测方式操作简单，检测结果稳定。检测过程中，超声波探头不与旋转靶直接接触，因此不需要特殊定制，既能够降低检测难度，又能够降低检测成本。

2.本实用新型使用左顶尖和右顶尖从两侧将旋转靶顶住，整个检测过程中，旋转靶悬空并且能够在其轴向上自由转动。通过一次装卡就可以对整个旋转靶进行检测，检测效率更高。

3.本实用新型在旋转靶内安装了一根辅助检测杆，辅助检测杆表面光滑，能够给检测提供一个平稳的底波，避免旋转靶内孔壁粗糙时造成的检测偏差和误差。

附图说明

图1是本实用新型的立体结构示意图。

图2是本实用新型刻度盘与辅助刻度盘的位置关系示意图。

图3是本实用新型的在检测时的旋转靶固定示意图。

图中，11、水池；12、左支架；13、右支架；14、左转轴；15、左顶尖；16、顶紧丝杠；17、右顶尖；21、右转轴；31、转盘；32、顶紧丝杆；41、丝杠；42、转轮；51、探伤架；52、光杠；53、安装底座；61、刻度盘；62、辅助刻度盘；7、盲孔；8、辅助检测杆。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

参照图1和图2，为本实用新型公开的一种旋转靶探伤装置，包括水池11和安装在水池内的固定装置和探伤装置。

固定装置的具体结构为：左支架12与右支架13对称固定在水池11的底面上，左支架12上开有孔，孔内安装有左转轴14，左转轴14能够绕其轴线自由转动。左转轴14的一端上固定有左顶尖15，中间部分上固定有一个辅助刻度盘62，左支架12的该侧面上固定有一个刻度盘61，刻度盘61套在辅助刻度盘62上。左转轴14的自由端上还固定有一个转盘31，转盘31上水平安装有一根顶紧丝杆32，顶紧丝杆32与转盘31螺纹连接，能够在水平方向上移动并顶在左支架12上。

右支架13上开有螺纹孔，螺纹孔内安装有顶紧丝杠16，顶紧丝杠16的一端上转动连接有右转轴21，右转轴21的自由端上固定有右顶尖17。转动顶紧丝杠16时，右顶尖17能够向靠近或者远离左顶尖15的方向移动。

探伤装置的具体结构为：探伤架51同样固定在水池11的底面上。其上安装有一根光杠52和一根丝杠41，光杠52的两端均固定在探伤架51上，丝杠41的两端分别插到探伤架51上的孔内，能够绕其轴线自由转动。安装底座53上开有一个通孔和一个螺纹孔，通孔和螺纹孔分别与光杠52和丝杠41连接。转动丝杠41时，能够使安装底座53在光杠52上滑动。丝杠41的一端上固定有转轮42，方便握持。

参照图2和图3，左顶尖15和右顶尖17上都开有一个盲孔7，辅助检测杆8的两端分别插入到这两个盲孔7内，辅助检测杆8与盲孔7间隙配合。

本实施例的实施原理为：

首先将辅助检测杆8插到左顶尖15上的盲孔7内，然后将旋转靶套到辅助检测杆8上，接着转动顶紧丝杠16，使右顶尖17向靠近左顶尖15的方向移动，辅助检测杆8插到右顶尖17上的盲孔7内后停止。

接着缓慢转动顶紧丝杠16，使左顶尖15和右顶尖17缓慢的从旋转靶的两端插入，将旋转靶夹紧后停止，然后转动转盘31上的顶紧丝杆32，使顶紧丝杆32的一端顶到左支架12上，避免旋转靶在检测的过程中转动。

将超声波探头用螺丝固定到安装底座53上后启动与之连接的超声波探伤机，开始进行探伤。探伤过程中，转动转轮42，使其带动丝杠41匀速转动。丝杠41转动时安装底座53在光杠52上匀速移动，移动过程中，超声波探头发出超声波，反射的超声波被超声波探头接收后传回检测设备，检测人员根据检测设备的波形判断旋转靶是否存在内部缺陷。

检测完一个位置后，拧松顶紧丝杆32并转动转盘31，该过程中靶材会随之一起转动，转动到合适位置后再次将顶紧丝杆32拧紧。

靶材在连续的检测过程中，需要通过刻度盘61和辅助刻度盘62上刻度的相对位置确定转动角度，每次的差值就是靶材的转动角度。

本具体实施方式的实施例均为本实用新型的较佳实施例，并非依此限制本实用新型的保护范围，故：凡依本实用新型的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本实用新型的保护范围之内。