一种砂轮电阻测量装置的制作方法

文档序号:20650478发布日期:2020-05-08 12:54阅读:214来源:国知局
一种砂轮电阻测量装置的制作方法

本实用新型属于电阻测量领域,具体涉及一种砂轮电阻测量装置。



背景技术:

高精度超薄切割砂轮主要用于玻璃、水晶、石英、钽酸锂(litao3)、各种半导体封装元件、陶瓷、氮化硅(si3n4)、碳化硅(sic)、蓝宝石、硅晶片、半导体化合物晶体、芯片led基板、砷化镓等其他材料的切割,具有直径小(外径50.8-78mm)、厚度小(0.1-1.2mm)、厚度方向易变形的特点。现有的超薄切割砂轮电阻测量采用人工万用表方式检测,方法是将工件放在大理石检测台上,分别沿圆周方向用万用表头在4个位置对砂轮内外环两点间测量电阻值,检验结果是否符合技术参数要求。这种检测方法效率低,劳动强度大。



技术实现要素:

针对上述现有技术的缺点,本实用新型的目的是提供一种砂轮电阻测量装置,用于提高工作效率、减轻操作者劳动强度。

本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的。

一种砂轮电阻测量装置,包括:

转盘,所述转盘用于放置砂轮;

移动装置,所述移动装置包括可以相向运动的第一滑台和第二滑台;

测量头装置,所述测量头装置包括升降测量装置和固定测量装置,升降测量装置上设置有第一测量头,固定测量装置上设置有第二测量头,升降测量装置设置在第一滑台上,固定测量装置设置在第二滑台上;第一滑台和第二滑台相向运动时,第一测量头做升降运动;第一测量头上升至转盘平面以上时,第一测量头位于砂轮的内环测量点,第二测量头位于砂轮的外环测量点;

传动装置,所述传动装置包括第一传动装置和第二传动装置,第一传动装置和第二传动装置均与转盘传动连接,第一传动装置用于转盘做直线运动,第二传动装置用于转盘做旋转运动;

工作台,所述第一传动装置固定在工作台上,转盘设置在工作台的上方。

所述转盘为圆盘形,包括定位凸台和支撑平台,定位凸台和支撑平台上下、同圆心固定连接,定位凸台的直径与待测量电阻的砂轮内环直径大小一样,转盘上等分设置有若干u型槽。

所述移动装置为双向电动滑台,双向电动滑台包括第一步进电机、左右牙丝杆、第一滑台、第二滑台和滑轨,第一滑台和第二滑台相对设置在左右牙丝杆的左侧和右侧,第一滑台和第二滑台均在滑轨上滑动,左右牙丝杆的一端与第一步进电机的输出端传动连接。

所述第一传动装置包括第二步进电机、中间连接件、丝杆传动副、主滑块,第二步进电机和丝杆传动副的丝杆传动连接,丝杆传动副的丝杆穿过中间连接件,中间连接件固定设置在工作台上,主滑块和丝杆传动副的螺母连接,主滑块在工作台上做直线运动;

第二传动装置包括第三步进电机、蜗杆传动副和传动轴,第三步进电机和蜗杆传动副的蜗杆传动连接,转盘通过传动轴和蜗杆传动副的蜗轮传动连接,转盘设置在主滑块的上方,蜗杆传动副设置在主滑块的内腔中。

所述升降测量装置包括斜面滚动装置、升降滑块、导柱、第一绝缘滑块和第一测量头,导柱的下端固定设置在第一滑台上,升降滑块滑动套接在导柱上,升降滑块的上表面与导柱的顶端之间设置有第三弹性件,升降滑块的下表面为斜面,与斜面滚动装置的斜面贴紧,斜面滚动装置的一端固定设置在第二滑台上,第一绝缘滑块设置在升降滑块的中心孔内,第一缘滑块与升降滑块之间设置有第一弹性件,第一测量头的一端设置在第一绝缘滑块上;

固定测量装置包括固定滑块、固定柱、第二绝缘滑块和第二测量头,固定柱的下端固定设置在第二滑台上,固定滑块固定设置在固定柱的上端,第二绝缘滑块设置在固定滑块的中心孔内,第二绝缘滑块与固定滑块之间设置有第二弹性件,第二测量头的一端设置在第二绝缘滑块上。

所述升降测量装置还包括第一载物台,第一载物台设置在第一滑台上,导柱的下端固定设置在第一载物台上;

固定测量装置还包括第二载物台,第二载物台设置在第二滑台上,固定柱的下端固定设置在第二载物台上,斜面滚动装置的一端固定设置在第二载物台上。

所述斜面滚动装置上设置有轴承滚轮,轴承滚轮与升降滑块的斜面贴紧。

还包括压片随动装置,所述压片随动装置包括第一轴、连杆、销轴、摆杆、第二轴、轴套和压片,第一轴的一端设置在第一滑台上,连杆的一端与第一轴连接,连杆的另一端通过销轴与摆杆的一端连接,摆杆的另一端与第二轴的一端连接,第二轴穿过工作台,第二轴的另一端通过轴套与压片连接,压片位于工作台的上方。

所述工作台包括支腿和台板,支腿设置在移动装置的两侧,台板设置在支腿的上端,台板上设置有用于转盘直线运动的u形缺口。

还包括测量工作面,移动装置和工作台均设置在测量工作面上。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果为:本实用新型提供的砂轮电阻测量装置,实现了超薄切割砂轮电阻测量的自动化,提高了检测效率,降低了劳动强度。

附图说明

图1是测量装置的整体结构示意图。

图2是工作台的结构示意图。

图3是转盘的结构示意图。

图4是传动装置的结构示意图。

图5是传动装置的又一结构示意图。

图6是传动装置的又一结构示意图。

图7是斜面滚动装置的结构示意图。

图8是压片随动装置的结构示意图。

图9是主滑块的结构示意图。

图10是升降滑块的结构示意图。

图11是传动轴的结构示意图。

图12是传动轴连接时的结构示意图。

图13是测量装置的工作示意图。

图中,1是移动装置,2是工作台,3是压片随动装置,4是传动装置,5是升降测量装置,6是固定测量装置,7是转盘,8是测量工作面,9是砂轮,101是第一步进电机,102是左右牙丝杆,103是第一滑台,104是第二滑台,105是滑轨,201是支腿,202是台板,301是第一轴,302是连杆,303是销轴,304是摆杆,305是第二轴,306是轴套,307是压片,401是第二步进电机,402是中间连接件,403是丝杆,404是螺母,405是主滑块,406是第三步进电机,407是蜗杆,408是蜗轮,409是传动轴,501是斜面滚动装置,5011是轴承滚轮,502是升降滑块,503是导柱,504是第一绝缘滑块,505是第一测量头,506是第一弹性件,507是第一载物台,508是第三弹性件,601是固定滑块,602是固定柱,603是第二绝缘滑块,604是第二测量头,605是第二弹性件,606是第二载物台。

具体实施方式

如图1~12所示,一种砂轮电阻测量装置,主要用于超薄切割砂轮电阻的测量。包括:转盘7、移动装置1、测量头装置、传动装置4、工作台2、压片随动装置3和测量工作面8。

测量工作面8作为砂轮9电阻测量装置的工作面,移动装置1和工作台2均设置在测量工作面8上。工作台2包括支腿201和台板202,支腿201设置在移动装置1的两侧,台板202设置在支腿201的上端,台板202上设置有用于转盘7直线运动的u形缺口,u形缺口用于调整转盘7的位置。

转盘7用于放置砂轮9,转盘7设置在工作台2的上方,转盘7为圆盘形整体结构,包括定位凸台和支撑平台,定位凸台和支撑平台上下、同圆心固定连接,定位凸台的直径与待测量电阻的砂轮9内环直径大小一样,转盘7上四等分设置有四个u型槽,定位凸台和支撑平台上均包含该u型槽;在进行砂轮9电阻测量时,第一测量头505穿过u型槽抵紧砂轮9的内环测量点。

移动装置1为双向运动滑台,双向电动滑台包括第一步进电机101、左右牙丝杆102、第一滑台103、第二滑台104和滑轨105。左右牙丝杆102为具有螺纹方向相反的丝杆,第一滑台103和第二滑台104相对设置在左右牙丝杆102的不同方向的螺纹上,第一滑台103和第二滑台104均在滑轨105上滑动,左右牙丝杆102的一端与第一步进电机101的输出端传动连接。为了双向运动滑台的稳定性,可以在双向运动滑台中设置两个中间固定件,左右牙丝杆102的一端活动连接在一个中间固定件上,另一端穿过另一个中间固定件与第一步进电机101的输出端传动连接,两个中间固定件对左右牙丝杆102起到一个支撑的作用,有助于双向运动滑台的工作稳定性。第一步进电机101动作时,第一滑台103和第二滑台104在左右牙丝杆102的作用下可以相向运动,相向运动包括相近和相离两个方向的运动。

测量头装置用于测量砂轮9的电阻,测量头装置包括升降测量装置5和固定测量装置6,升降测量装置5上设置有第一测量头505,固定测量装置6上设置有第二测量头604,升降测量装置5用于将第一测量头505抵紧在砂轮9的内环测量点,固定测量装置6用于将第二测量头604抵紧在砂轮9的外环测量点。第一测量头505和第二测量头604下端可接线到测量仪器主机。升降测量装置5设置在第一滑台103上,固定测量装置6设置在第二滑台104上;第一滑台103和第二滑台104相向运动时,第一测量头505同时做升降运动和轴向运动;第一测量头505上升至转盘7平面以上时,第一测量头505位于砂轮9的内环测量点,第二测量头604位于砂轮9的外环测量点。

进一步的,升降测量装置5包括斜面滚动装置501、升降滑块502、导柱503、第一绝缘滑块504、第一载物台507和第一测量头505,第一载物台507设置在第一滑台103上,导柱503的下端固定设置在第一载物台507上,升降滑块502滑动套接在导柱503上。升降滑块502上设置有容纳第一绝缘滑块504的中心孔,第一绝缘滑块504和升降滑块502上还设置有可以穿过螺栓的贯穿孔。升降滑块502的上表面与导柱503的顶端之间设置有第三弹性件508,第三弹性件508优选弹簧,升降滑块502的下表面为斜面,斜面滚动装置501上设置有轴承滚轮5011,轴承滚轮5011与升降滑块502的斜面贴紧,斜面滚动装置501的一端固定设置在第二滑台104上,第一绝缘滑块504设置在升降滑块502的中心孔内,第一绝缘滑块504与升降滑块502之间设置有第一弹性件506,第一弹性件506优选弹簧。第一测量头505的一端设置在第一绝缘滑块504上。第一绝缘滑块504设置在升降滑块502的中心孔内,通过螺栓穿过第一绝缘滑块504的贯穿孔、第一弹性件506弹簧的轴向和升降滑块502的贯穿孔,将第一绝缘滑块504、第一弹性件506弹簧和升降滑块502连接,螺栓的两端通过螺母进行限制连接,螺栓在升降滑块502中不是固定的,第一弹性件506弹簧套接在螺栓上,通过旋转螺栓两端的螺母来调整螺栓位于第一弹性件506弹簧范围内的长度,使第一弹性件506弹簧具备一定的弹簧弹力。第一测量头505的一端设置在第一绝缘滑块504上,当第一测量头505受到砂轮9的挤压力时,第一绝缘滑块504跟随第一测量头505同样受到挤压力,当第一绝缘滑块504受到该挤压力时,第一弹性件506弹簧继续被压缩,弹簧中产生更大的弹簧弹力,当挤压力消失时,弹簧中的弹簧弹力释放,第一弹性件506弹簧在弹簧弹力的作用下伸展,起到缓冲的作用。

固定测量装置6包括固定滑块601、固定柱602、第二绝缘滑块603、第二载物台606和第二测量头604,第二载物台606设置在第二滑台104上,固定柱602的下端固定设置在第二载物台606上,固定滑块601固定设置在固定柱602的上端。固定滑块601上设置有容纳第二绝缘滑块603的中心孔,第二绝缘滑块603和固定滑块601上还设置有可以穿过螺栓的贯穿孔。第二绝缘滑块603设置在固定滑块601的中心孔内,第二绝缘滑块603与固定滑块601之间设置有第二弹性件605,第二弹性件605优选弹簧,第二测量头604的一端设置在第二绝缘滑块603上。第二绝缘滑块603设置在固定滑块602的中心孔内,通过螺栓穿过第二绝缘滑块603的贯穿孔、第二弹性件605弹簧的轴向和固定滑块602的贯穿孔,将第二绝缘滑块603、第二弹性件605和固定滑块602连接,螺栓的两端通过螺母进行限制连接,螺栓在固定滑块602中不是固定的,第二弹性件605弹簧套接在螺栓上,通过旋转螺栓两端的螺母来调整螺栓位于第二弹性件605弹簧范围内的长度,使第二弹性件605具备一定的弹簧弹力。第二测量头604的一端设置在第二绝缘滑块603上,当第二测量头604受到砂轮9的挤压力时,第二绝缘滑块603跟随第二测量头604同样受到挤压力,当第二绝缘滑块603受到该挤压力时,第二弹性件605弹簧继续被压缩,弹簧中产生更大的弹簧弹力,当挤压力消失时,弹簧中的弹簧弹力释放,第二弹性件605弹簧在弹簧弹力的作用下伸展,起到缓冲的作用。

测量装置中,第一测量头505升高与降低的动作原理为:当移动装置1中的第一滑台103和第二滑台104相近运动时,斜面滚动装置501跟随第二滑台104运动,升降测量装置5跟随第一滑台103运动,升降滑块502与斜面滚动装置501发生相对运动,升降滑块502与轴承滚轮5011相对运动,轴承滚轮5011在与升降滑块502的斜面相对运动时,在力的作用下会产生转动,以用来减少斜面滚动装置501与升降滑块502之间的阻力。斜面滚动装置501和升降滑块502在做相近运动的时候,斜面滚动装置501和升降滑块502分别各自受到滑台给予的水平方向的力的作用,由于斜面滚动装置501的下方有滑台支撑,所以升降滑块502沿斜面滚动装置501的斜面运动,根据物理学力的分解可知,升降滑块502沿斜面运动时,分为水平方向的力和垂直向上的力,升降滑块502在做水平方向运动的同时也在做升高运动。因此,升降滑块502在斜面滚动装置501的作用下,沿导柱503向上运动,且挤压第三弹性件508,第三弹性件508弹簧在被挤压的过程中产生弹簧弹力,第一测量头505在轴向运动的过程中也进行了升高运动。

当移动装置1中的第一滑台103和第二滑台104相离运动时,斜面滚动装置501跟随第二滑台104运动,升降测量装置5跟随第一滑台103运动,升降滑块502与斜面滚动装置501发生相对运动,斜面滚动装置501和升降滑块502分别各自受到滑台给予的水平方向的力的作用,由于斜面滚动装置501的下方有滑台支撑,所以升降滑块502沿斜面滚动装置501的斜面运动,根据物理学力的分解可知,升降滑块502沿斜面运动时,分为水平方向的力和垂直向下的力,升降滑块502在做水平方向运动的同时也在做下降运动。而且,在升降滑块502沿斜面运动时,还受到第三弹性件508弹簧的弹簧弹力作用。因此,升降滑块502在斜面滚动装置501和第三弹性件508弹簧的弹簧弹力的作用下,沿导柱503向下运动,第一测量头505降低。

传动装置4,传动装置包括第一传动装置和第二传动装置,第一传动装置和第二传动装置均与转盘7传动连接,第一传动装置用于转盘7做直线运动,第二传动装置用于转盘7做旋转运动。

进一步的,第一传动装置包括第二步进电机401、中间连接件402、丝杆传动副、主滑块405,主滑块405是带有内腔体的结构,主滑块405上还设置有与工作台2缺口相配合的凹槽滑道,主滑块405的凹槽滑道套接在工作台2的缺口上。第二步进电机401和丝杆传动副的丝杆403传动连接,丝杆传动副的丝杆403穿过中间连接件402,中间连接件402固定设置在工作台2上,主滑块405和丝杆传动副的螺母404连接,主滑块405在工作台2的u形缺口中做直线运动。

第二传动装置包括第三步进电机406、蜗杆传动副和传动轴409,第三步进电机406和蜗杆传动副的蜗杆407传动连接,转盘7通过传动轴409和蜗杆传动副的蜗轮108传动连接,转盘7设置在主滑块405的上方,蜗杆传动副设置在主滑块405的内腔中。

压片随动装置3用于压住砂轮9一侧的上面。压片随动装置3包括第一轴301、连杆302、销轴303、摆杆304、第二轴305、轴套306和压片307,第一轴301的一端设置在第一载物台507上,连杆302的一端与第一轴301连接,连杆302的另一端通过销轴303与摆杆304的一端连接,摆杆304的另一端与第二轴305的一端连接,第二轴305穿过工作台2,第二轴305的另一端通过轴套306与压片307连接,压片307位于工作台2的上方。移动装置1中的第一滑台103运动时,第一滑台103带动第一载物台507运动,压片随动装置3跟随第一滑台103上的第一载物台507运动,第一载物台507带动第一轴301运动,第一轴301带动连杆302发生运动,连杆302与摆杆304因为销轴303发生相对运动,受限与第二轴305穿过工作台2,因此在移动装置1运动时,压片随动装置中只有连杆302和摆杆304相对运动。测量时,将压片307压在砂轮9的一侧上面即可。

本实用新型的工作方式为:如图13所示,将待测电阻的砂轮9放置在转盘7上,可以用人工或机械手放置。放置好砂轮9后,观察转盘7上u型槽所在的位置,如果在第一测量头505可插入的范围内,则不需要调整转盘7的位置;如果不在第一测量头505可插入的范围内,则通过第二传动装置,改变转盘7的方向,使其中一个u型槽位于第一测量头505可插入的范围内。

还需要根据砂轮9外环的大小,通过第一传动装置调整转盘7的位置,调整之后,使砂轮9内环与外环的中间圆环平面位于左右牙丝杆102的左牙丝杆和右牙丝杆的中心位置上方,这样可以保证第一测量头505和第二测量头604可以尽量同时抵紧砂轮9的内环测量点和外环测量点。

调整好转盘7的位置后,操作移动装置1的第一步进电机101,使第一滑台103和第二滑台104相近运动,压片随动装置3跟随第一滑台103运动,第一滑台103和第二滑台104进入测量位置时,压片307压住砂轮9一侧的上面,与此同时,在第一滑台103和第二滑台104相近运动的时候,第一测量头505逐渐升高,直到第一滑台103和第二滑台104到达测量位置,第一测量头505抵紧砂轮9的内环测量点,第二测量头604抵紧砂轮9的外环测量点,开始进行第一个位置的测量。当第一个位置的测量结束之后,操作移动装置1的第一步进电机101,使第一滑台103和第二滑台104相离运动,升降滑块502和第一测量头505在斜面滚动装置501和第三弹性件508弹簧弹力的作用下,第一测量头505下降至转盘7下方,以躲过转盘7旋转时的干涉;之后,操作第三步进电机406,第三步进电机406带动蜗杆407、蜗轮408和转动轴409,使转盘7旋转90度,进入第二个位置测量。安装在升降测量装置5和固定测量装置6中的第一弹性件506和第二弹性件605起到缓冲作用,即当第一测量头505和第二测量头604接触到砂轮7内环测量点和外环测量点时,柔性接触,以保护砂轮7和测量装置不受损。

第一测量头505和第二测量头604下端通过引线与测量仪器主机连接,测量仪器主机用于记录计算测量头检测的数据。上述工作方式还可以通过写入电脑程序以实现砂轮电阻测量的自动化。

以上所述,仅是本实用新型的优选实施方式,并不是对本实用新型技术方案的限定,应当指出,本领域的技术人员,再本实用新型技术方案的前提下,还可以作出进一步的改进和改变,这些改进和改变,都应该涵盖在本实用新型的保护范围内。

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