一种刷磨机基板厚度测量装置的制作方法

文档序号:19846562发布日期:2020-02-07 22:39阅读:313来源:国知局
一种刷磨机基板厚度测量装置的制作方法

本实用新型涉及一种刷磨机基板厚度测量装置。



背景技术:

当前刷磨机在进行基板研磨时候,需要提前测量基板厚度以便于刷磨轮定位,目前采用的方式如图1所示,基板穿过固定滚轮11和活动滚轮12,上部的活动滚轮12被顶起带动滑动升降装置,使感应器13与铁片间距发生变化,从而侦测厚度。

但此方法机构过于复杂,且感应灵敏度不高,铜厚因为感应器能力限制导致测量厚度受限(不能大于5mm)。



技术实现要素:

本实用新型目的是为了克服现有技术的不足而提供一种刷磨机基板厚度测量装置。

为达到上述目的,本实用新型采用的技术方案是:一种刷磨机基板厚度测量装置,包含基准部件、测定滚轮、放大机构和绝对值编码器;所述测定滚轮位于基准部件上侧,待测基板放入基准部件与测定滚轮的间隙中,带动测定滚轮偏转;所述放大机构包含大传动轮、小传动轮和传动带,大传动轮与小传动轮通过传动带配合,测定滚轮上设置有偏心轴,偏心轴作为大传动轮的转动轴,小传动轮设置在绝对值编码器上。

优选的,所述基准部件为平面平台。

优选的,所述基准部件为滚轮架,滚轮架由多个基准滚轮组成。

优选的,所述基准部件的入料端设置有压轮。

优选的,所述放大机构为皮带轮传动机构。

由于上述技术方案的运用,本实用新型与现有技术相比具有下列优点:

本方案将上滚轮高度变化转换为偏心轴的角度变化,通过皮带轮变速将选择角度放大,轴端连接绝对值旋转编码器,使其检测到旋转角度的变化并在plc程序内形成数据,从而达到测量厚度功能;简化了机构,大幅降低成本,使结构空间更加紧凑,并可将检测厚度从原来最大5mm提高到最大12mm。

附图说明

下面结合附图对本实用新型技术方案作进一步说明:

附图1为现有技术的示意图;

附图2为本实用新型所述的一种刷磨机基板厚度测量装置的示意图。

具体实施方式

下面结合附图及具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。

如图1-2所示,本实用新型所述的一种刷磨机基板厚度测量装置,包含基准部件、测定滚轮1、放大机构2和绝对值编码器3;所述基准部件为滚轮架,滚轮架由多个等间距水平设置的基准滚轮5组成;所述测定滚轮1位于基准部件上侧,基准部件的入料端设置有压轮6,待测基板放入基准部件的入料端,并由压轮6压紧,防止待测基板曲翘,待测基板向前移动,触碰测定滚轮1,并带动测定滚轮1偏转一定角度;所述放大机构2包含大传动轮、小传动轮和传动皮带,大传动轮与小传动轮通过传动带配合,测定滚轮1上设置有偏心轴4,偏心轴4作为大传动轮的转动轴,小传动轮设置在绝对值编码器3上,放大机构2将测定滚轮1的偏转角度放大,使绝对值编码器3检测到旋转角度的变化,并在plc程序内形成数据,从而达到测量厚度功能。

以上仅是本实用新型的具体应用范例,对本实用新型的保护范围不构成任何限制。凡采用等同变换或者等效替换而形成的技术方案,均落在本实用新型权利保护范围之内。

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