样品仓、光谱检测系统的制作方法

本申请属于计算机技术领域，尤其涉及一种样品仓、光谱检测系统。

背景技术：

在利用太赫兹脉冲测量厚度时，常采用时差法。传统时差法测量厚度除了需要测量样品上反射脉冲出现的时间差，还需要知道样品的折射率才能够求出样品的厚度，无法对未知折射率样品的厚度进行测量。

技术实现要素：

有鉴于此，本申请实施例提供了样品仓、光谱检测系统、样品厚度测量方法、装置、处理设备及存储介质，以解决现有技术中无法对未知折射率样品的厚度进行测量的问题。

本申请实施例的第一方面提供了一种样品仓，包括相对设置的第一侧壁和第二侧壁，所述第一侧壁和所述第二侧壁之间的空间用于放置待测样品；

所述第一侧壁用于反射入射的太赫兹波形成第一反射信号，以及透射所述太赫兹波形成第一透射信号；

所述第二侧壁用于全反射第二透射信号，形成第二反射信号；所述第二透射信号由所述第一透射信号透过所述待测样品形成；

所述待测样品包括相对的第一表面和第二表面，所述第一表面和所述第二表面均与所述第一侧壁和所述第二侧壁平行；

所述第一透射信号传输至所述第一表面发生反射形成第三反射信号，以及传输至所述第二表面发生反射形成第四反射信号；所述第一侧壁与所述第二侧壁之间的距离、所述第一反射信号、所述第二反射信号、所述第三反射信号以及所述第四反射信号用于计算所述待测样品的第一表面与第二表面之间的厚度。

在一种可选的实现方式中，还包括位移设备，所述位移设备用于带动所述待测样品按垂直于所述第一侧壁和所述第二侧壁的方向移动。

在一种可选的实现方式中，所述第一侧壁相对所述第二侧壁的内表面设置有预设大小的第一薄膜，所述第一薄膜用于使入射的太赫兹波发生反射形成所述第一反射信号以及使所述太赫兹波发生透射形成所述第一透射信号；

所述第二侧壁相对所述第一侧壁的内表面设置有第二薄膜，所述第二薄膜用于使所述第二透射信号发生全反射形成第二反射信号；所述第二透射信号由所述第一透射信号透过所述待测样品形成。

本申请实施例的第二方面提供了一种光谱检测系统，包括：太赫兹发射器、太赫兹波检测器以及上述第一方面所述的样品仓；

所述太赫兹发射器用于向所述样品仓的第一侧壁发射太赫兹波；

所述太赫兹波检测器用于接收所述第一侧壁反射的第一反射信号、所述样品仓的第二侧壁反射的第二反射信号、待测样品的第一表面反射的第三反射信号以及所述待测样品的第二表面发射的第四反射信号；

所述第一侧壁与所述第二侧壁之间的距离、所述第一反射信号、所述第二反射信号、所述第三反射信号以及所述第四反射信号用于计算所述待测样品的第一表面与第二表面之间的厚度。

本申请第三方面提供了一种基于光谱检测系统测量样品厚度的方法，所述光谱检测系统为上述第二方面所述的光谱检测系统，包括：

检测到样品仓中有待测样品后，获取所述光谱检测系统检测到的反射信号的时间信息，所述反射信号包括第一反射信号、第二反射信号、第三反射信号以及第四反射信号；

根据所述第一侧壁与所述第二侧壁之间的距离、所述第一反射信号、所述第二反射信号、所述第三反射信号以及所述第四反射信号，计算所述待测样品的第一表面与第二表面之间的厚度。

在一种可选的实现方式中，所述根据所述第一侧壁与所述第二侧壁之间的距离、所述第一反射信号、所述第二反射信号、所述第三反射信号以及所述第四反射信号，计算所述待测样品的第一表面与第二表面之间的厚度，包括：

计算检测到所述第一反射信号的第一时刻和检测到所述第三反射信号的第三时刻的第一时间差，所述第一时间差为入射的太赫兹波在所述第一侧壁的内表面和所述待测样品的第一表面之间传输的时长；

计算检测到所述第二反射信号的第二时刻和检测到所述第四反射信号的第四时刻的第二时间差，所述第二时间差为入射的所述太赫兹波在所述待测样品的第二表面和所述第二侧壁的内表面之间传输的时长；

根据所述第一侧壁和所述第二侧壁之间预设的第一距离、所述第一时间差以及所述第二时间差，计算得到所述待测样品的第一表面与第二表面之间的厚度。

在一种可选的实现方式中，所述检测到样品仓中有待测样品后，获取所述光谱检测系统检测到的反射信号的光谱信息，包括：

控制所述样品仓的位移设备带动所述待测样品按垂直于所述第一侧壁和所述第二侧壁的方向移动；

分别获取所述待测样品移动至不同位置时，对应的所述光谱信息；

对所有所述光谱信息进行信号位移及增强处理，分别得到增强后的所述第一反射信号、所述第二反射信号、所述第三反射信号以及所述第四反射信号。

本申请第四方面提供了一种基于光谱检测系统测量样品厚度的装置，包括：

获取模块，用于检测到样品仓中有待测样品后，获取所述光谱检测系统检测到的反射信号的时间信息，所述反射信号包括第一反射信号、第二反射信号、第三反射信号以及第四反射信号；

计算模块，用于根据所述第一侧壁与所述第二侧壁之间的距离、所述第一反射信号、所述第二反射信号、所述第三反射信号以及所述第四反射信号，计算所述待测样品的第一表面与第二表面之间的厚度。

在一种可选的实现方式中，所述计算模块，包括：

第一计算单元，用于计算检测到所述第一反射信号的第一时刻和检测到所述第三反射信号的第三时刻的第一时间差，所述第一时间差为入射的太赫兹波在所述第一侧壁的内表面和所述待测样品的第一表面之间传输的时长；

第二计算单元，用于计算检测到所述第二反射信号的第二时刻和检测到所述第四反射信号的第四时刻的第二时间差，所述第二时间差为入射的所述太赫兹波在所述待测样品的第二表面和所述第二侧壁的内表面之间传输的时长；

第三计算单元，用于根据所述第一侧壁和所述第二侧壁之间预设的第一距离、所述第一时长以及所述第二时长，计算得到所述待测样品的第一表面与第二表面之间的厚度。

在一种可选的实现方式中，所述获取模块，包括：

控制单元，用于控制所述样品仓的位移设备带动所述待测样品按垂直于所述第一侧壁和所述第二侧壁的方向移动；

获取单元，用于分别获取所述待测样品移动至不同位置时，对应的所述光谱信息；

处理单元，用于对所有所述光谱信息进行信号位移及增强处理，分别得到增强后的所述第一反射信号、所述第二反射信号、所述第三反射信号以及所述第四反射信号。

本申请实施例的第五方面提供了一种处理设备，包括存储器、处理器以及存储在所述存储器中并可在所述处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现如上第三方面所述样品厚度测量方法的步骤。

本申请实施例的第四方面提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如上第三方面所述样品厚度测量方法的步骤。

本申请第一方面提供的样品仓，包括相对设置的第一侧壁和第二侧壁，所述第一侧壁和所述第二侧壁之间的空间用于放置待测样品；所述第一侧壁用于反射入射的太赫兹波形成第一反射信号，以及透射所述太赫兹波形成第一透射信号；所述第二侧壁用于全反射第二透射信号，形成第二反射信号；所述第二透射信号由所述第一透射信号透过所述待测样品形成；所述待测样品包括相对的第一表面和第二表面，所述第一表面和所述第二表面均与所述第一侧壁和所述第二侧壁平行；所述第一透射信号传输至所述第一表面发生反射形成第三反射信号，以及传输至所述第二表面发生反射形成第四反射信号。由于利用所述第一侧壁与所述第二侧壁之间的距离、所述第一反射信号、所述第二反射信号、所述第三反射信号以及所述第四反射信号可以计算所述待测样品的第一表面与第二表面之间的厚度，因此，能够实现对未知折射率样品的厚度进行测量。

本申请第二方面至第六方面提供的实施例与现有技术相比，其存在的有益效果与本申请第一方面提供的实施例与现有技术相比，有益效果相同，在此不再详述。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本申请第一实施例提供的样品仓的结构示意图；

图2是本申请第二实施例提供的光谱检测系统；

图3是本申请第三实施例提供的基于光谱检测系统测量样品厚度的方法的实现流程图；

图4是图3中s302的具体实现流程图；

图5是本申请第四实施例提供的基于光谱检测系统测量样品厚度的方法的实现流程图；

图6是本申请提供的基于光谱检测系统测量样品厚度的装置的示意图；

图7是本申请提供的处理设备示意图。

具体实施方式

以下描述中，为了说明而不是为了限定，提出了诸如特定系统结构、技术之类的具体细节，以便透彻理解本申请实施例。然而，本领域的技术人员应当清楚，在没有这些具体细节的其它实施例中也可以实现本申请。在其它情况中，省略对众所周知的系统、装置、电路以及方法的详细说明，以免不必要的细节妨碍本申请的描述。

在利用太赫兹波测量厚度的方法中，人们提出了多种测量方式，最常见的是时差法测量样品厚度。传统时差法测量样品厚度除了需要测量接收到的样品反射太赫兹波的时间差，还需要知道样品的折射率才能够计算出样品的厚度。而且当入射太赫兹波比较微弱或者样品吸收太赫兹波比较严重时，样品里面多重反射的回波会降低测量信号的信噪比，造成真正需要测量的太赫兹波很难从噪声信号中分辨出来，从而影响测量效果。

为了实现对未知折射率样品厚度的测量，并降低样品中多次回波信号的影响，本申请实施例通过特殊的样品仓结构设计，让太赫兹波在样品仓的前后壁内侧发生反射，根据样品仓的第一侧壁和第二侧壁之间的距离、以及反射信号之间的时间差，可以求解出待测样品的第一表面与第二表面之间的厚度。同时，本申请的实施例还提出控制待测样品在样品仓内按垂直于样品仓的第一侧壁或第二侧壁的方向移动，然后对移动过程中采集到的反射太赫兹波做处理，能够有效提高了信噪比，确保从弱信号中也能测量出样品的厚度。进一步地，根据待测样品引起的太赫兹波的时间延迟，可以计算得到待测样品的折射率。

需要说明的是，太赫兹波作为一种电磁波，位于毫米波和红外线之间，介于电子学向光学的过渡区。由于人们对毫米波和红外线非常了解，但是对太赫兹波认识较少，很多机理还无法解释，因此人们把它也称为“太赫兹间隙”。由于太赫兹波的位置特殊，它也具有一些独特的性质，例如瞬态性、穿透性、低能性等。其中，瞬态性体现在太赫兹脉冲宽度上，即单个太赫兹脉冲的宽度只有皮秒量级，对物质进行测量时可以获得比较高的时间分辨率和空间分辨率；穿透性体现在太赫兹波对于非极性物质(例如：电解质材料、塑料、纸箱、布料等)的穿透能力很强；低能性体现在单个太赫兹波光子能量只有几毫电子伏特，不会破坏物质内部结构，基于这些特性，在本申请的实施例中，可以将太赫兹波作为太赫兹波应用到物体厚度测量中。

为了说明本申请所述的技术方案，下面通过具体实施例来进行说明。如图1所示，是本申请第一实施例提供的样品仓的结构示意图，由图1可知，本申请实施例提供的样品仓1包括相对设置的第一侧壁10和第二侧壁11，第一侧壁10和第二侧壁11之间的空间用于放置待测样品4，第一侧壁10相对于第二侧壁11的内表面12，用于反射以及透射入射的太赫兹波，第二侧壁11相对于第一侧壁10的内表面13，用于全反射入射的太赫兹波，待测样品4的第一表面41和第二表面42均可以反射及透射入射的太赫兹波。其中，

第一侧壁10，用于反射入射的太赫兹波形成第一反射信号，以及透射所述太赫兹波形成第一透射信号。其中，入射的太赫兹波可以是由光束发射器发射的太赫兹太赫兹波。

第二侧壁11，用于全反射第二透射太赫兹波，形成第二反射信号；所述第二透射信号由所述第一透射信号透过所述待测样品形成。

可以理解地，在进行样品厚度测量的过程中，需要预先将待测样品4放置在第一侧壁10和第二侧壁11之间的空间。此外，还需要获得光谱信息，所述光谱信息包括第一侧壁10和第二侧壁11以及待测样品4对入射的太赫兹波分别进行反射生成的反射信号的时间域信息。

通常，待测样品4包括相对的第一表面10和第二表面11，在本实例中，第一表面10和第二表面11均与第一侧壁10和第二侧壁11平行；

入射的太赫兹波传输至第一侧壁10，透过第一侧壁10形成第一透射信号，第一透射信号传输至待测样品4的第一表面41发生反射形成第三反射信号，以及传输至待测样品4的第二表面42发生反射形成第四反射信号。

由于太赫兹波在空气中的传播速度已知，第一侧壁10和第二侧壁11之间的第一距离为预先设置的固定距离，因此，当样品仓1中放入待测样品4后，根据第一反射信号的时间域信息和第三反射信号的时间域信息(检测到第一反射信号的第一时刻和检测到第三反射信号的第三时刻的第一时间差)确定所述太赫兹波在第一侧壁10的内表面和待测样品4的第一表面41之间传输的第一时长，以及根据第二反射信号的时间域信息和第四反射信号的时间域信息(检测到第二反射信号的第二时刻和检测到第四反射信号的第四时刻的第二时间差)确定所述太赫兹波在所述待测样品4的第二表面42和所述第二侧壁11的内表面之间传输的第二时长，则可以根据第一距离，第一时长以及第二时长计算得到待测样品4的厚度。

通过上述分析可知，利用本实施提供的样品仓结构进行样品厚度测量时，不需要预先知道待测样品的折射率，可实现对位置折射率样品厚度的测量。

具体地，将第一距离、第一时长以及第二时长输入样品厚度计算公式，可以计算得到待测样品4的厚度。

作为示例而非限定，样品厚度计算公式为：

d＝l-[(ts-δts)×c×cosα]

其中，d为待测样品厚度，l为样品仓的第一侧壁和第二侧壁之间的距离，ts为第一时长，δts为第二时长，c为太赫兹波在空气中传输的速度，α为太赫兹波的入射角。

需要说明的是，当待测样品对太赫兹波吸收较严重时，导致接收到的反射信号中太赫兹波较弱，导致很难确定太赫兹波的时间域信息(时间域信息为光谱信息中出现反射信号的时刻)，为了解决太赫兹波消耗较大的问题，在图1所示实施例的基础上，在样品仓1中还设置了位移设备14，用于带动待测样品4按垂直于第一侧壁10和第二侧壁11的方向移动。

具体地，在进行样品厚度测量的过程中，控制位移设备14带动待测样品4按垂直于第一侧壁10和第二侧壁11的方向移动，分别获取待测样品4移动至不同位置时，对应的光谱信息。

对获取的光谱信息进行信号增强处理以及信号位移处理，使得由待测样品4的第一表面41反射的第三反射信号增强，以及使待测样品4的第二表面42反射生成的第四反射信号增强，实现解决当待测样品对太赫兹波吸收较严重时，太赫兹波较弱无法准确测量待测样品厚度的问题。

在一种可选的实现方式中，如图2所示，是本申请第二实施例提供的光谱检测系统，包括：太赫兹发射器2、太赫兹检测器3以及图1所示的样品仓1。

其中，太赫兹发射器2用于向样品仓1的第一侧壁10发射太赫兹波；

太赫兹波检测器3用于接收第一侧壁10反射的第一反射太赫兹波、第二侧壁12反射的第二反射信号、待测样品4的第一表面41反射的第三反射信号以及待测样品4的第二表面42反射的第四反射信号。

当所述太赫兹发射器2发射的太赫兹波入射至第一侧壁10时，发生反射形成第一反射信号，以及发生透射形成第一透射信号。在一种可选的实现方式中，为了使所述太赫兹波入射至第一侧壁10，发生反射及透射，在第一侧壁10相对于第二侧壁11的内表面设置有预设大小的第一薄膜12，第一薄膜12用于使入射的太赫兹波发生反射形成第一反射信号，以及使入射的太赫兹波发生透射形成第一投射信号。

在一种可选的实现方式中，为了使所述太赫兹波入射至第二侧壁12，发生全反射，在第二侧壁12相对第一侧壁10的内表面设置有第二薄膜13，第二薄膜13用于使第二透射太赫兹波发生全反射形成第二反射信号，其中，第二透射信号由第一透射信号透过待测样品4形成。

如图3所示，是本申请第三实施例提供的基于光谱检测系统测量样品厚度的方法的实现流程图。本实施例的可以由独立于所述光谱检测系统的处理设备中的硬件或者软件完成，也可以由太赫兹波检测器中的硬件或软件完成。

具体地，由图3可知，本实施例提供的基于光谱检测系统的测量样品厚度的方法包括：

s301，检测到样品仓中有待测样品后，获取所述光谱检测系统检测到的反射信号的时间信息。

其中，所述反射信号包括第一反射信号、第二反射信号、第三反射信号以及第四反射信号；当太赫兹波入射至所述样品仓的第一侧壁后，发生反射形成所述第一反射信号以及发生透射形成第一透射信号，所述第二反射信号由第二透射信号入射至所述样品仓的第二侧壁，发生全反射形成，所述第二透射信号由所述第一透射信号穿透所述待测样品形成，所述第三反射信号由所述第一透射信号入射至所述待测样品的第一表面发生反射形成，所述第四反射信号由第一透射信号入射至所述待测样品的第二表面发生反射形成；所述第一表面和所述第二表面均与所述第一侧壁和所述第二侧壁平行。

可以理解地，当待测样品对太赫兹波吸收较严重时，导致接收到的反射信号中太赫兹波较弱，导致很难确定检测到太赫兹波的时间，为了解决太赫兹波消耗较大的问题，在本申请其他实施例中，s301具体包括：

控制所述样品仓的位移设备带动所述待测样品按垂直于所述第一侧壁和所述第二侧壁的方向移动。

可以理解地，所述位移设备设置与所述第一侧壁和所述第二侧壁之间的空间，并可以在所述第一侧壁和所述第二侧壁之间左右移动时，只需将所述待测样品与所述位移设备固定连接在一起，则可以通过控制所述位移设备的移动，带动所述待测样品按垂直于所述第一侧壁和所述第二侧壁的方向移动。

分别获取所述待测样品移动至不同位置时，对应的光谱信息。

可以理解地，当所述待测样品移动至不同位置时，入射的太赫兹波分别在所述待测样品的第一表面和第二表面产生反射信号之后，检测到所述第三反射信号的第三时刻和检测到所述第四反射信息的第四时刻会对应发送变化，而由于所述样品仓的第一侧壁和第二侧壁之间的位置不变，因此检测到所述第一反射信号的第一时刻和检测到所述第二反射信号的第二时刻对应不变。

进一步地，对所有所述光谱信息进行信号位移及增强处理，分别得到增强后的所述第一反射信号、所述第二反射信号、所述第三反射信号以及所述第四反射信号。

可以理解地，由于所述样品仓的第一侧壁和第二侧壁之间的相对位置是不变的，且所述待测样品的第一表面和第二表面的相对位置是不变的，因此，在对所述光谱信息进行信号位移及增强处理时，获取任意光谱信息中的第一反射信号和第二反射信号，并将其他光谱信息中的第一反射信号和第二反射信号叠加在所述任意光谱信息中，使其它位置的反射信号彼此削弱，处理后得到增强的第一反射信号和第二反射信号。

同理，可得到增强的第三反射信号和第四反射信号。

分别获取检测到所述第一反射信号的第一时刻，检测到所述第二反射信号的第二时刻、检测到所述第三反射信号的第三时刻以及检测到所述第四反射信号的第四时刻。

s302，根据所述第一侧壁与所述第二侧壁之间的距离、所述第一反射信号、所述第二反射信号、所述第三反射信号以及所述第四反射信号，计算所述待测样品的第一表面与第二表面之间的厚度。

具体地，如图4所示，是图3中s302的具体实现流程图。由图4可知，s302包括：

s3021，计算检测到所述第一反射信号的第一时刻和检测到所述第三反射信号的第三时刻的第一时间差，所述第一时间差为入射的太赫兹波在所述第一侧壁的内表面和所述待测样品的第一表面之间传输的第一时长。

s3022，计算检测到所述第二反射信号的第二时刻和检测到所述第四反射信号的第四时刻的第二时间差，所述第二时间差为入射的所述太赫兹波在所述待测样品的第二表面和所述第二侧壁的内表面之间传输的第二时长。

s3023，根据所述第一侧壁和所述第二侧壁之间预设的第一距离、所述第一时长以及所述第二时长，计算得到所述待测样品的第一表面与第二表面之间的厚度。

由上述实施例可知，本申请提出的样品厚度测量方法，通过检测到样品仓中有待测样品后，获取所述光谱检测系统检测到的反射太赫兹波的光谱信息；所述光谱信息包括反射信号的时间域信息，所述反射信号包括第一反射信号、第二反射信号、第三反射信号以及第四反射信号；根据所述第一侧壁与所述第二侧壁之间的距离、所述第一反射信号、所述第二反射信号、所述第三反射信号以及所述第四反射信号，计算得到所述待测样品的第一表面与第二表面之间的厚度。由于根据所述第一侧壁与所述第二侧壁之间的距离、所述第一反射信号、所述第二反射信号、所述第三反射信号以及所述第四反射信号，计算得到所述待测样品的第一表面与第二表面之间的厚度，因此，能够实现对未知折射率样品的厚度进行测量。

可以理解地，所述样品仓中所述第一侧壁和所述第二侧壁之间的第一距离，通常需要根据经验值进行预先设置，在实际应用中，若预先不确定所述第一距离，则可以根据反射信号进行第一距离的测量。

具体地，如图5所示，是本申请第四实施例提供的基于光谱检测系统测量样品厚度的方法的实现流程图。由图5可知，本实施例与图3所述实施例相比，s501的具体实施过程与s301的具体实施过程相同，s505的具体实施过程与s302的具体实施过程相同，不同之处在于，在s505之前还包括s502～s504，需要说明的是，s502分别与s501之间为并列执行关系，可以择一执行。具体地，s502～s504的具体实施过程详述如下：

s502，当检测到所述样品仓中不存在所述待测样品时，获取所述太赫兹波传输至所述第一侧壁发生反射形成的第五反射太赫兹波，以及所述太赫兹波传输至所述第二侧壁发生全反射形成的第六反射太赫兹波。

可以理解地，当所述样品仓中不存在所述待测样品时，入射的所述太赫兹波直接通过所述第一侧壁，反生发射形成所述第五反射信号和发生透射之后，直接入射至所述第二侧壁发生全反射，形成所述第六反射信号，因此，可以根据接收到所述第五反射信号的时刻和接收到所述第六反射信号的时刻确定所述太赫兹波在所述样品仓中不存在所述待测样品时，在所述第一侧壁和所述第二侧壁之间传输的第三时长。

s503，计算接收到所述第五反射信号和所述第六反射信号的第三时间差。

具体地，接收到所述第五反射信号和所述第六反射信号的第三时间差为所述太赫兹波在所述样品仓中不存在所述待测样品时，在所述第一侧壁和所述第二侧壁之间传输的第三时长。

s504，根据所述第三时间差、所述太赫兹波在空气中的传输速度以及太赫兹波的入射角，计算得到所述第一距离。

由于太赫兹波在空气中传播的速度已知，太赫兹波的入射角已知，则根据所述第一时间差、所述太赫兹波在空气中的传输速度以及太赫兹波的入射角，可以计算得到所述第一距离。具体地，计算所述第一距离的公式为：

l＝t0×c×cosα

其中，l为第一距离，t0为第三时间差，c为太赫兹波在空气中的传播速度，α为太赫兹波的入射角。

对应于上述图3及图5所示的基于光谱检测系统测量样品厚度的方法，如图6所示，是本申请提供的基于光谱检测系统测量样品厚度的装置示意图。由图6可知，本实施提供的基于光谱检测系统测量样品厚度的装置6包括：

获取模块601，用于检测到样品仓中有待测样品后，获取所述光谱检测系统检测到的反射信号的时间信息，所述反射信号包括第一反射信号、第二反射信号、第三反射信号以及第四反射信号；

计算模块602，用于根据所述第一侧壁与所述第二侧壁之间的距离、所述第一反射信号、所述第二反射信号、所述第三反射信号以及所述第四反射信号，计算所述待测样品的第一表面与第二表面之间的厚度。

在一种可选的实现方式中，计算模块602包括：

第一计算单元，用于计算检测到所述第一反射信号的第一时刻和检测到所述第三反射信号的第三时刻的第一时间差，所述第一时间差为入射的太赫兹波在所述第一侧壁的内表面和所述待测样品的第一表面之间传输的第一时长；

第二计算单元，用于计算检测到所述第二反射信号的第二时刻和检测到所述第四反射信号的第四时刻的第二时间差，所述第二时间差为入射的所述太赫兹波在所述待测样品的第二表面和所述第二侧壁的内表面之间传输的第二时长；

第三计算单元，用于根据所述第一侧壁和所述第二侧壁之间预设的第一距离、所述第一时长以及所述第二时长，计算得到所述待测样品的第一表面与第二表面之间的厚度。

在一种可选的实现方式中，获取模块601，包括：

控制单元，用于控制所述样品仓的位移设备带动所述待测样品按垂直于所述第一侧壁和所述第二侧壁的方向移动；

获取单元，用于分别获取所述待测样品移动至不同位置时，对应的所述光谱信息；

处理单元，用于对所有所述光谱信息进行信号位移及增强处理，分别得到增强后的所述第一反射信号、所述第二反射信号、所述第三反射信号以及所述第四反射信号。

图7是本申请提供的处理设备示意图。如图7所示，该实施例的处理设备7包括：处理器70、存储器71以及存储在所述存储器71中并可在所述处理器70上运行的计算机程序72，例如基于光谱检测系统测量样品厚度的程序。所述处理器70执行所述计算机程序72时实现上述各个基于光谱检测系统测量样品厚度的方法实施例中的步骤，例如图3所示的步骤301至304。或者，所述处理器70执行所述计算机程序72时实现上述基于光谱检测系统测量样品厚度的装置实施例中各模块/单元的功能，例如图6所示模块601至602的功能。

示例性的，所述计算机程序72可以被分割成一个或多个模块/单元，所述一个或者多个模块/单元被存储在所述存储器71中，并由所述处理器70执行，以完成本申请。所述一个或多个模块/单元可以是能够完成特定功能的一系列计算机程序指令段，该指令段用于描述所述计算机程序72在所述处理设备7中的执行过程。例如，所述计算机程序72可以被分割成获取模块、计算模块(虚拟装置中的模块)，各模块具体功能如下：

获取模块，用于检测到样品仓中有待测样品后，获取所述光谱检测系统检测到的反射信号的时间信息，所述反射信号包括第一反射信号、第二反射信号、第三反射信号以及第四反射信号；

计算模块，用于根据所述第一侧壁与所述第二侧壁之间的距离、所述第一反射信号、所述第二反射信号、所述第三反射信号以及所述第四反射信号，计算检测到所述待测样品的第一表面与第二表面之间的厚度。

所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为了描述的方便和简洁，仅以上述各功能单元、模块的划分进行举例说明，实际应用中，可以根据需要而将上述功能分配由不同的功能单元、模块完成，即将所述装置的内部结构划分成不同的功能单元或模块，以完成以上描述的全部或者部分功能。实施例中的各功能单元、模块可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中，上述集成的单元既可以采用硬件的形式实现，也可以采用软件功能单元的形式实现。另外，各功能单元、模块的具体名称也只是为了便于相互区分，并不用于限制本申请的保护范围。上述系统中单元、模块的具体工作过程，可以参考前述方法实施例中的对应过程，在此不再赘述。

在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述或记载的部分，可以参见其它实施例的相关描述。

本领域普通技术人员可以意识到，结合本文中所公开的实施例描述的各示例的单元及算法步骤，能够以电子硬件、或者计算机软件和电子硬件的结合来实现。这些功能究竟以硬件还是软件方式来执行，取决于技术方案的特定应用和设计约束条件。专业技术人员可以对每个特定的应用来使用不同方法来实现所描述的功能，但是这种实现不应认为超出本申请的范围。

在本申请所提供的实施例中，应该理解到，所揭露的装置/终端设备和方法，可以通过其它的方式实现。例如，以上所描述的装置/终端设备实施例仅仅是示意性的，例如，所述模块或单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，例如多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通讯连接可以是通过一些接口，装置或单元的间接耦合或通讯连接，可以是电性，机械或其它的形式。

所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个通信单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。

另外，在本申请各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。上述集成的单元既可以采用硬件的形式实现，也可以采用软件功能单元的形式实现。

所述集成的模块/单元如果以软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个计算机可读取存储介质中。基于这样的理解，本申请实现上述实施例方法中的全部或部分流程，也可以通过计算机程序来指令相关的硬件来完成，所述的计算机程序可存储于一计算机可读存储介质中，该计算机程序在被处理器执行时，可实现上述各个方法实施例的步骤。其中，所述计算机程序包括计算机程序代码，所述计算机程序代码可以为源代码形式、对象代码形式、可执行文件或某些中间形式等。所述计算机可读介质可以包括：能够携带所述计算机程序代码的任何实体或装置、记录介质、u盘、移动硬盘、磁碟、光盘、计算机存储器、只读存储器(rom，read-onlymemory)、随机存取存储器(ram，randomaccessmemory)、电载波信号、电信信号以及软件分发介质等。需要说明的是，所述计算机可读介质包含的内容可以根据司法管辖区内立法和专利实践的要求进行适当的增减，例如在某些司法管辖区，根据立法和专利实践，计算机可读介质不包括电载波信号和电信信号。

以上所述实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的精神和范围，均应包含在本申请的保护范围之内。