高通量光波导生物传感芯片的制作方法

文档序号:20926550发布日期:2020-06-02 18:38阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种高通量光波导生物传感芯片,其特征在于:包括光波导阵列和生物检测点阵列,所述光波导阵列是并行排布且固定在基底上的多个光波导,所述生物检测点阵列中的每一列是沿光波导传光方向间隔分布的、可与被传感生物分子发生特异性生化反应的多个生物检测点;所述生物检测点阵列固化在光波导阵列上或光波导阵列上的隔离层上,各个光波导两端的端面作为光信号的输入端和输出端。

2.根据权利要求1所述的高通量光波导生物传感芯片,其特征在于:所述光波导是埋入或镶嵌到基底的矩形光波导,或是固定到基底的d形光纤。

3.根据权利要求2所述的高通量光波导生物传感芯片,其特征在于:所述矩形光波导的折射率大于基底的折射率。

4.根据权利要求1所述的高通量光波导生物传感芯片,其特征在于:所述光波导内部刻写有可同向或反向耦合光的波导光栅,所述波导光栅的优化结构是均匀光栅、啁啾光栅、超结构光栅和相移光栅。

5.根据权利要求1所述的高通量光波导生物传感芯片,其特征在于:所述生物检测点是对被传感生物分子有特异性识别能力的生物分子或敏感膜。

6.根据权利要求1所述的高通量光波导生物传感芯片,其特征在于:所述生物检测点直接固化到光波导阵列表面上或光波导阵列上方的隔离层表面上,或通过凹槽或盲孔固化到光波导阵列上或光波导阵列上方的隔离层上;光波导埋入基底时,以基底作为隔离层。

7.根据权利要求1所述的高通量光波导生物传感芯片,其特征在于:所述光波导的反射光作为输出信号光,所述生物检测点与所述光波导的芯的优化距离小于传感光波长的2倍。

8.根据权利要求1所述的高通量光波导生物传感芯片,其特征在于:所述光波导的透射光作为输出信号光,所述生物检测点与所述光波导的芯的优化距离小于传感光波长的100倍。


技术总结
本实用新型公开了一种高通量光波导生物传感芯片,包括光波导阵列和生物检测点阵列,光波导阵列是并行排布的并固定在基底上的多个光波导,生物检测点阵列是沿光波导轴线方向间隔分布的、用于发生特异性生化反应的多个生物检测点;所述生物检测点阵列固化在光波导阵列上或光波导阵列上的隔离层上;光波导两端的端面作为光信号的输入端和输出端;光波导内还可以刻有波导光栅,可提高信噪比。本实用新型将高通量的生化反应与光波导阵列集成在一起,结构简单,并行获取信息,可实现高通量生物传感。

技术研发人员:曾祥楷;尹强;刘红燕;雷健;刘俊熙
受保护的技术使用者:重庆理工大学
技术研发日:2019.10.12
技术公布日:2020.06.02
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