一种用于高低温冲击测试实验设备的热流罩的制作方法

本实用新型属于品质检测领域，涉及一种产品可靠性分析设备，尤其是一种用于高低温冲击测试实验设备的热流罩。

背景技术：

为了保证半导体元件使用的可靠性以及使用寿命，在生产半导体元件后需要对其做高速高低温冲击试验，通常采用的试验设备是高低温试验箱和热冲击试验箱。进行高低温试验时，将样品放在封闭的试验箱内，通过电加热器加热，或制冷压缩机组制冷来检验样品的性能。进行热冲击试验时，需要将样品在高温环境和低温环境来回切换，检验样品的性能。对于热冲击试验箱目前普遍采用的有两种结构形式，一种为吊篮式，具有高温箱和低温箱两个试验箱，试验样品放在吊篮中，吊篮在高温箱和低温箱中来回移动停留。另一种是气道式冲击箱，设备有三个箱体，高温箱、低温箱与样品箱，通过气道相连，样品通过气道与高温箱低温箱交替相通。

现有技术不具有相应的使用方便的且能够便捷观察操作的样品腔，同时，由于传统技术为热流罩直接和外界接触，使得环境对热流罩的影响成为一个不稳定因素，因此需要设计相应的热流罩。

技术实现要素：

有鉴于此，需要克服现有技术中的上述缺陷中的至少一个。本实用新型提供了一种用于高低温冲击测试实验设备的热流罩。

用于高低温冲击测试实验设备的热流罩包括安装在高低温冲击测试实验设备的第一气路；安装在第一气路上的加热装置，所述加热装置输出端安装有热流罩，热流罩包括热流罩内腔和形成热流罩内腔的热流罩壁，热流罩壁上板具有不与气体隔绝层相通的热流罩饱和出气平衡口，热流罩饱和出气平衡口出口通向外部环境，热流罩壁外侧设有气体隔绝层，气体隔绝层包括上气体隔绝层和侧气体隔绝层，上气体隔绝层与安装在高低温冲击测试实验设备的第二气路相联，上气体隔绝层和侧气体隔绝层联通，上气体隔绝层上板具有多个微出气孔，侧气体隔绝层下部具有出气通道，侧气体隔绝层为透明结构。

根据本专利背景技术中对现有技术，现有技术不具有相应的使用方便的且能够便捷观察操作的样品腔，且内部气流依然存在不稳定的情况，导致内部温度不稳定，同时，现有热流罩也极易发生结冰现象；而本实用新型公开的用于高低温冲击测试实验设备的热流罩，可以使得内部环境更加稳定，外侧的气体隔绝层由于多孔设计，能够使得隔绝层的气流稳定，进一步保证了内部气氛环境的稳定，从而可以提升整体设备的测试性能，同时有本新型设计的热流罩，则杜绝了结冰现象。

另外，根据本实用新型公开的用于高低温冲击测试实验设备的热流罩还具有如下附加技术特征：

进一步地，微气孔直径在5-20mm之间，两侧包含5mm和20mm。

进一步地，微气孔成均匀分布。

进一步地，饱和出气平衡口设置在内腔上壁且经过上气体隔绝层伸出上气体隔绝层侧壁与外界联通。

进一步地，侧气体隔绝层下部边缘具有出气通道。

本实用新型附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是本实用新型实施例的示意图；

图1中，第一气路5；第二气路6，微出气孔61，上气体隔绝层62，热流罩内腔63，侧气体隔绝层64，饱和出气平衡口65，出气通道66,加热装置9，热流罩a，热流罩壁b，实验平台d。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能解释为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“底”、“顶”、“前”、“后”、“内”、“外”、“横”、“竖”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“联接”、“连通”、“相连”、“连接”、“配合”应做广义理解，例如，可以是固定连接，一体地连接，也可以是可拆卸连接；可以是两个元件内部的连通；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连；“配合”可以是面与面的配合，也可以是点与面或线与面的配合，也包括孔轴的配合，对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1所示，根据本实用新型的实施例，用于高低温冲击测试实验设备的热流罩包括安装在高低温冲击测试实验设备的第一气路5；安装在第一气路5上的加热装置9，所述加热装置9输出端安装有热流罩a，热流罩a包括热流罩内腔63和形成热流罩内腔63的热流罩壁b，热流罩壁b上板具有不与气体隔绝层相通的热流罩饱和出气平衡口65，热流罩饱和出气平衡口65出口通向外部环境，热流罩壁b外侧设有气体隔绝层，气体隔绝层包括上气体隔绝层62和侧气体隔绝层64，上气体隔绝层62与安装在高低温冲击测试实验设备的第二气路6相联，上气体隔绝层62和侧气体隔绝层64联通，上气体隔绝层62上板具有多个微出气孔61，侧气体隔绝层64下部具有出气通道66，侧气体隔绝层64为透明结构。

根据本新型的一些实施例，所述微出气孔61直径在5-20mm之间，两侧包含5mm和20mm。

根据本新型的一个实施例，所述微出气孔61成均匀分布。

根据本新型的一个实施例，饱和出气平衡口65设置在内腔上壁且经过上气体隔绝层62伸出上气体隔绝层62侧壁与外界联通。

根据本新型的一个实施例，侧气体隔绝层64下部边缘具有出气通道66。

任何提及“一个实施例”、“实施例”、“示意性实施例”等意指结合该实施例描述的具体构件、结构或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例中。在本说明书各处的该示意性表述不一定指的是相同的实施例。而且，当结合任何实施例描述具体构件、结构或者特点时，所主张的是，结合其他的实施例实现这样的构件、结构或者特点均落在本领域技术人员的范围之内。

尽管参照本实用新型的多个示意性实施例对本实用新型的具体实施方式进行了详细的描述，但是必须理解，本领域技术人员可以设计出多种其他的改进和实施例，这些改进和实施例将落在本实用新型原理的精神和范围之内。具体而言，在前述公开、附图以及权利要求的范围之内，可以在零部件和/或者从属组合布局的布置方面作出合理的变型和改进，而不会脱离本实用新型的精神。除了零部件和/或布局方面的变型和改进，其范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：

1.一种用于高低温冲击测试实验设备的热流罩，包括：安装在高低温冲击测试实验设备的第一气路；安装在第一气路上的加热装置，其特征在于,所述加热装置输出端安装有热流罩，热流罩包括热流罩内腔和形成热流罩内腔的热流罩壁，热流罩壁上板具有不与气体隔绝层相通的热流罩饱和出气平衡口，热流罩饱和出气平衡口出口通向外部环境，热流罩壁外侧设有气体隔绝层，气体隔绝层包括上气体隔绝层和侧气体隔绝层，上气体隔绝层与安装在高低温冲击测试实验设备的第二气路相联，上气体隔绝层和侧气体隔绝层联通，上气体隔绝层上板具有多个微出气孔，侧气体隔绝层下部具有出气通道，侧气体隔绝层为透明结构。

2.根据权利要求1所述的用于高低温冲击测试实验设备的热流罩，其特征在于，微气孔直径在5-20mm之间。

3.根据权利要求1所述的用于高低温冲击测试实验设备的热流罩，其特征在于，微气孔成均匀分布。

4.根据权利要求1所述的用于高低温冲击测试实验设备的热流罩，其特征在于，饱和出气平衡口设置在内腔上壁且经过上气体隔绝层伸出上气体隔绝层侧壁与外界联通。

5.根据权利要求1所述的用于高低温冲击测试实验设备的热流罩，其特征在于，侧气体隔绝层下部边缘具有出气通道。

技术总结
本实用新型公开了一种用于高低温冲击测试实验设备的热流罩，热流罩包括热流罩内腔和形成热流罩内腔的热流罩壁，热流罩壁上板具有不与气体隔绝层相通的热流罩饱和出气平衡口，热流罩饱和出气平衡口出口通向外部环境，热流罩壁外侧设有气体隔绝层，气体隔绝层包括上气体隔绝层和侧气体隔绝层，上气体隔绝层与安装在高低温冲击测试实验设备的第二气路相联，上气体隔绝层和侧气体隔绝层联通，上气体隔绝层上板具有多个微出气孔，侧气体隔绝层下部具有出气通道，侧气体隔绝层为透明结构；本实用新型使得内部环境更加稳定，外侧气体隔绝层由于多孔设计，能够使得隔绝层的气流稳定，进一步保证了内部气氛环境的稳定，从而可以提升整体设备的测试性能。

技术研发人员：余双林
受保护的技术使用者：江苏天一瑞合仪器设备有限公司
技术研发日：2020.09.04
技术公布日：2021.05.04