一种用于EBSD测试的样品台

一种用于ebsd测试的样品台
技术领域
1.本实用新型涉及一种用于ebsd测试的样品台，属于扫描电镜样品台技术领域。


背景技术：

2.ebsd系统通常安装在扫描电镜中使用，为了收集较多的背散射衍射信号、获取清晰的菊池花样，要求入射电子束与试样表面的夹角为20
°
。扫描电镜入射电子束一般都与样品台垂直，在微观形貌观察过程中为保证试样的稳定性，样品台采用了水平的放置方式，即入射电子束与水平面垂直。对于ebsd测试而言，则需要将试样倾斜，使试样测试面与样品台之间有一个70
°
的夹角。然而，70
°
倾斜给试样的固定带来了较大的困难。目前，最常用的方法是使用导电胶带将试样粘接在70
°
预倾台的样品支撑面上。导电胶带虽然可以固定试样，但难以避免试样在重力作用下的滑移问题，尤其是一些重量较大的试样。试样滑移会引起图像失真，进而影响实验结果的准确性。此外，现在常用的70
°
预倾台仅有一个尺寸较小的样品支撑面，在测试多个试样时，会浪费大量的时间用于更换试样。


技术实现要素：

3.本实用新型提供了一种用于ebsd测试的样品台，能够解决现有ebsd样品台存在试样滑移和测试效率低的问题。
4.本实用新型提供了一种用于ebsd测试的样品台，包括：连接杆、底座和样品夹；
5.所述连接杆的上端与底座相连接，所述连接杆的下端与扫描电镜样品台相连接；
6.所述底座远离所述连接杆的一端为安装端，所述安装端的侧面由至少四个支撑面依次连接围绕而成；每个所述支撑面与所述底座底面的夹角均为锐角；
7.每个所述支撑面上均设置有所述样品夹；所述样品夹用于装夹待测试的试样；每个所述支撑面上均设置有第一固定孔；
8.所述样品夹包括卡槽和连接在所述卡槽凹口背面的固定杆，所述卡槽用于装夹所述试样；所述固定杆插入所述第一固定孔中，且通过第一夹紧螺丝固定。
9.可选的，所述卡槽包括相对设置的上卡台和下卡台；所述上卡台和所述下卡台的内壁上均设置有第二夹紧螺丝，所述第二夹紧螺丝用于固定所述试样。
10.可选的，所述上、卡台的内壁上设置有一个所述第二夹紧螺丝；所述下卡台的内壁上设置有两个所述第二夹紧螺丝。
11.可选的，所述连接杆的上端设置有第二固定孔，所述底座靠近所述连接杆的一端具有连接部，所述连接部插入所述第二固定孔中，且通过第三夹紧螺丝固定。
12.可选的，所述连接杆的下端形状与扫描电镜样品台的接口相适应。
13.可选的，每个所述支撑面与所述底座底面的夹角均为70
°
。
14.可选的，每个所述支撑面上的第一固定孔均位于其对应支撑面的中心位置。
15.可选的，每个所述支撑面的形状尺寸均相同。
16.本实用新型能产生的有益效果包括：
17.本实用新型提供的用于ebsd测试的样品台，该ebsd样品台主要是由连接杆、底座与样品夹组成，样品夹可夹持不同尺寸和形状的试样，试样完成抛光后可直接安装在样品夹上进行ebsd测试，试样在卡槽内使用上、下卡台的三个夹紧螺丝固定，避免试样在ebsd测试过程中发生滑移，影响测试结果的准确性。此外，底座可同时安装至少四个样品夹，即一次可将至少四个试样放入扫描电镜内进行测试，使用起来具有结构简单、操作方便、效率高的优点，可高效获得无漂移的ebsd图像信息。
附图说明
18.图1为本实用新型实施例提供的样品台整体结构示意图；
19.图2为本实用新型实施例提供的连接杆的结构示意图；
20.图3为本实用新型实施例提供的底座主视全剖面示意图；
21.图4为本实用新型实施例提供的底座下视示意图；
22.图5为本实用新型实施例提供的样品夹的主视示意图；
23.图6为本实用新型实施例提供的样品夹的右视示意图。
24.部件和附图标记列表：
25.1、连接杆；1-1、第二固定孔；1-2、第三夹紧螺丝；2、底座；2-1、支撑面；2-2、第一固定孔；2-3、第一夹紧螺丝；3、样品夹；3-1、卡槽；3-2、固定杆；3-3、上卡台；3-4、下卡台；3-5、第二夹紧螺丝。
具体实施方式
26.下面结合实施例详述本实用新型，但本实用新型并不局限于这些实施例。
27.本实用新型实施例提供了一种用于ebsd测试的样品台，如图1至图6所示，包括：连接杆1、底座2和样品夹3。
28.连接杆1的上端与底座2相连接，连接杆1的下端与扫描电镜样品台相连接；具体的，连接杆1的上端设置有第二固定孔1-1，底座2靠近连接杆1的一端具有连接部，连接部插入第二固定孔1-1中，且通过第三夹紧螺丝1-2固定。为了便于安装连接，本实用新型实施例设置连接杆1的下端形状与扫描电镜样品台的接口相适应。
29.底座2远离连接杆1的一端为安装端，安装端的侧面由至少四个支撑面2-1依次连接围绕而成；每个支撑面2-1与底座2底面的夹角均为锐角；每个支撑面2-1上均设置有样品夹3；样品夹3用于装夹待测试的试样；每个支撑面2-1上均设置有第一固定孔2-2。
30.为了能够解决现有ebsd样品台粘接试样容易出现滑移的问题，在本实用新型实施例中，采用了如下结构设计的样品夹3。样品夹3包括卡槽3-1和连接在卡槽3-1凹口背面的固定杆3-2，卡槽3-1用于装夹试样；固定杆3-2插入第一固定孔2-2中，且通过第一夹紧螺丝2-3固定，使试样表面与底座2上的支撑面2-1平行。其中，卡槽3-1包括相对设置的上卡台3-3和下卡台3-4；上卡台3-3和下卡台3-4的内壁上均设置有第二夹紧螺丝3-5，上卡台3-3的内壁上设置有一个第二夹紧螺丝3-5；下卡台3-4的内壁上设置有两个第二夹紧螺丝3-5。第二夹紧螺丝3-5用于固定试样。通过调节第二夹紧螺丝3-5，可在卡槽3-1内夹持不同尺寸、不同形状的试样进行ebsd测试。
31.进一步的，每个支撑面2-1上的第一固定孔2-2均位于其对应支撑面2-1的中心位
置。
32.底座2上部的样品夹3安装端的四个支撑面2-1均匀分布且均与底座2底面成一固定夹角。在本实用新型实施例中，底座2的四个支撑面2-1均匀分布且与底座2底面夹角为70
°
，可保证试样表面与扫描电镜入射电子束的夹角满足ebsd测试要求。而且通过四个样品夹3的使用，一次可将四个试样放入到扫描电镜内进行测试，从而提高测试效率。
33.应用该实用新型样品台测试ebsd的方法为：
34.1)切取直径不超过12mm的圆棒金属试样，依次对待测试的圆柱面进行机械抛光和电解抛光；
35.2)将电解抛光后的试样放置在样品夹3卡槽3-1内，使用下卡台3-4的两个第二夹紧螺丝3-5限制试样位置，使用上卡台3-3的第二夹紧螺丝3-5固定试样；
36.3)先将底座2安装在连接杆1上，再将夹持好试样的样品夹3插入到底座2的第一固定孔2-2内并用第一夹紧螺丝2-3将其固定；
37.4)将组装好的ebsd测试样品台安装在扫描电镜样品台上，旋转扫描电镜样品台并使待测试样正对ebsd探头；
38.5)关闭扫描电镜腔室门，待样品室真空度满足要求后，即可进行ebsd测试。
39.本实用新型提供的ebsd样品台主要是由连接杆1、底座2与样品夹3组成，样品夹3可夹持不同尺寸和形状的试样，试样完成抛光后可直接安装在样品夹3上进行ebsd测试，试样在卡槽3-1内使用上卡台3-3和下卡台3-4的三个第二夹紧螺丝3-5固定，避免试样在ebsd测试过程中发生滑移，影响测试结果的准确性。此外，底座2可同时安装至少四个样品夹3，即一次可将至少四个试样放入扫描电镜内进行测试，使用起来具有结构简单、操作方便、效率高的优点，可高效获得无漂移的ebsd图像信息。
40.以上所述，仅是本技术的几个实施例，并非对本技术做任何形式的限制，虽然本技术以较佳实施例揭示如上，然而并非用以限制本技术，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本技术技术方案的范围内，利用上述揭示的技术内容做出些许的变动或修饰均等同于等效实施案例，均属于技术方案范围内。