一种探针台OCR识别结果的修正方法及系统与流程

一种探针台ocr识别结果的修正方法及系统
技术领域
1.本发明涉及集成电路测试领域，尤其涉及一种探针台ocr识别结果的修正方法及系统。


背景技术：

2.晶圆一般会将批次名以钢号形式打在晶圆上，探针台提供了ocr识别钢号的功能，测试厂家因此可以正确读出批次名信息，探针台比对ocr识别的批次名与人工录入的批次名，比对正确后将人工录入的批次名返回给测试机以进行测试。但如果晶圆厂对晶圆进行拆批处理，要求人工录入的批次名含子批信息，并要求测试机将含子批信息的批次名写入芯片，但晶圆上的钢号并无子批信息，而ocr正常识别内容为钢号，无法与含子批信息的批次名完成比对。因此，亟需提供一种修正uf3000探针台ocr识别结果，满足晶圆厂要求使用子批名进行测试的方法。


技术实现要素：

3.为解决上述技术问题，本发明提供了一种探针台ocr识别结果的修正方法及系统。
4.本发明的一种探针台ocr识别结果的修正方法的技术方案如下：
5.s1、探针台的光学识别系统对待测晶圆的原始图像进行ocr识别，得到所述待测晶圆的原始主批次名，并将包含所述原始主批次名的原始识别报文向至所述探针台的测试系统发送；
6.s2、拦截模块对所述原始识别报文进行拦截，并判断所述原始识别报文中的所述原始主批次名与所述待测晶圆的目标主批次名是否一致，若是，则将所述原始识别报文修改为包含所述待测晶圆的目标批次名的修正识别报文，并将所述修正识别报文发送至所述探针台的测试系统；其中，所述目标批次名包括：所述目标主批次名和目标子批次名；
7.s3、所述探针台的测试系统接收所述修正识别报文，并判断所述修正识别报文对应的所述目标批次名与所述待测晶圆的人工录入批次名是否一致，得到判断结果；
8.s4、当所述判断结果为是时，输出模块将所述人工录入批次名传输至测试机，以使所述测试机对所述待测晶圆进行测试。
9.本发明的一种探针台ocr识别结果的修正方法的有益效果如下：
10.本发明的方法利用探针台的ocr识别功能，对识别报文进行拦截修正，在对晶圆进行拆分的同时，达成了ocr识别结果与人工录入的批次名一致的目的，从而使得测试机可以正常测试，满足了不同用户的拆批需求。
11.在上述方案的基础上，本发明的一种探针台ocr识别结果的修正方法还可以做如下改进。
12.进一步，在步骤s2之前，还包括：
13.所述拦截模块接收用户发送的所述目标批次名。
14.进一步，所述目标批次名为：所述用户对所述待测晶圆所设置的批次名。
15.进一步，所述原始识别报文和所述修正识别报文均采用十六进制形式表示。
16.进一步，所述探针台为：型号为uf3000的探针台。
17.本发明的一种探针台ocr识别结果的修正系统的技术方案如下：
18.采用了本发明的一种探针台ocr识别结果的修正系统，包括：
19.探针台的光学识别系统、拦截模块、所述探针台的测试系统和输出模块；
20.所述探针台的光学识别系统用于：对待测晶圆的原始图像进行ocr识别，得到所述待测晶圆的原始主批次名，并将包含所述原始主批次名的原始识别报文向所述探针台的测试系统发送；
21.所述拦截模块用于：对所述原始识别报文进行拦截，并判断所述原始识别报文中的所述原始主批次名与所述待测晶圆的目标主批次名是否一致，若是，则将所述原始识别报文修改为包含所述待测晶圆的目标批次名的修正识别报文，并将所述修正识别报文发送至所述探针台的测试系统；其中，所述目标批次名包括：所述目标主批次名和目标子批次名；
22.所述探针台的测试系统用于：接收所述修正识别报文，并判断所述修正识别报文对应的所述目标批次名与所述待测晶圆的人工录入批次名是否一致，若是，则调用所述输出模块；
23.所述输出模块用于：将所述人工录入批次名传输至测试机，以使所述测试机对所述待测晶圆进行测试。
24.本发明的一种探针台ocr识别结果的修正系统的有益效果如下：
25.本发明的系统利用探针台的ocr识别功能，对识别报文进行拦截修正，在对晶圆进行拆分的同时，达成了ocr识别结果与人工录入的批次名一致的目的，从而使得测试机可以正常测试，满足了不同用户的拆批需求。
26.在上述方案的基础上，本发明的一种探针台ocr识别结果的修正系统还可以做如下改进。
27.进一步，所述拦截模块还用于：接收用户发送的所述目标批次名。
28.进一步，所述目标批次名为：所述用户对所述待测晶圆所设置的批次名。
29.进一步，所述原始识别报文和所述修正识别报文均采用十六进制形式表示。
30.进一步，所述探针台为：型号为uf3000的探针台。
附图说明
31.图1为本发明实施例的一种探针台ocr识别结果的修正方法的流程示意图；
32.图2为本发明实施例的一种探针台ocr识别结果的修正方法中的流程原理图；
33.图3为本发明实施例的一种探针台ocr识别结果的修正系统的结构示意图。
具体实施方式
34.如图1所示，本发明实施例的一种探针台ocr识别结果的修正方法，包括如下步骤：
35.s1、探针台的光学识别系统对待测晶圆的原始图像进行ocr识别，得到所述待测晶圆的原始主批次名，并将包含所述原始主批次名的原始识别报文向所述探针台的测试系统发送。
36.其中，探针台的光学识别系统为探针台中的一个子系统，用于对晶圆的原始图像的采集、ocr识别以及识别结果的传输。
37.其中，晶圆会将批次名及片号以钢号形式打在晶圆上。待测晶圆为用户需要通过探针台进行识别，并在识别后通过测试机进行测试的晶圆。
38.其中，待测晶圆的原始图像为：包含该待测晶圆的原始主批次名及片号的图像。
39.其中，ocr识别为文字识别软件，即识别待测晶圆上的信息。
40.其中，待测晶圆的原始主批次名为：以钢号形式打在待测晶圆上的批次名。
41.需要说明的是，在本实施例中，探针台的拦截模块和输出模块的执行主体可作为一个芯片，或者探针台的拦截模块和输出模块对应的程序嵌入至探针台的光学识别系统或测试系统中，在此不设限制。
42.具体地，例如，待测晶圆的原始主批次名为：a7513331，片号信息为：1号片，则打在晶圆上钢号为a7513331.1，通过探针台的光学识别系统进行识别后的待测晶圆的原始主批次名为：a7513331，并将该原始主批次名通过数据报文的形式发送至探针台的测试系统进行比对。
43.s2、拦截模块对所述原始识别报文进行拦截，并判断所述原始识别报文中的所述原始主批次名与所述待测晶圆的目标主批次名是否一致，若是，则将所述原始识别报文修改为包含所述待测晶圆的目标批次名的修正识别报文，并将所述修正识别报文发送至所述探针台的测试系统；其中，所述目标批次名包括：所述目标主批次名和目标子批次名。
44.其中，拦截模块中设置有拦截程序；目标批次名是根据用户的拆批需求得到的，目标批次名包括：目标主批次名和目标子批次名；目标主批次名与原始主批次名相同，目标子批次名根据用户需求设定。
45.需要说明的是，拦截模块采用的是tcp/ip的拦截，现有的拦截方式有多种，包括驱动程序拦截、应用层拦截，本发明目的单一，因此采用直接注入应用程序的方式，对应用程序ws2_32.dll模块的send、receive函数进行接管，达到修改报文的目的。
46.具体地，如图2所示，当原始识别报文在发送至探针台的测试系统的过程中时，拦截模块启动拦截程序，通过拦截程序的tcp/ip协议对原始识别报文进行拦截。在上述例子中，待测晶圆的原始主批次名为a7513331，对晶圆进行拆批后得到待测晶圆的目标批次名为a7513331.00(其中，目标主批次名为：a7513331，目标子批次名为：a7513331.00)，此时用户要求以目标批次名进行测试，并将目标批次名写入芯片。因此，用户通过mes系统将发送目标批次名：a7513331.00至拦截模块。拦截模块的拦截程序获取到正确的目标批次名应该是a7513331.00。以1号片为例，钢号为a7513331.1，其中a7513331是原始主批次名，1是片号，不拆批情况，ocr识别的原始主批次名与人工录入批次名都是a7513331，通过探针台光学识别系统的ocr识别功能可以防止人工录入错误或上错批次。但现在用户要求以目标批次名：a7513331.00进行测试，也就是说要求探针台人工录入的批次名为a7513331.00。但ocr识别的原始主批次名是a7513331，与人工录入的a7513331.00比对将会失败而导致无法正常测试。在本实施例的技术方案中，拦截模块获取了本次测试真正的目标批次名，即a7513331.00，此时ocr识别的原始主批次名是a7513331，拦截程序需要比对原始主批次名与目标批次名中的目标主批次名，当比对成功时，认定ocr识别结果是正确的。确认后拦截程序对原始识别报文(即改变ocr识别结果为a7513331.00)，并将修改后的修改识别报文发
送至探针台的测试系统。
47.s3、所述探针台的测试系统接收所述修正识别报文，并判断所述修正识别报文对应的所述目标批次名与所述待测晶圆的人工录入批次名是否一致，得到判断结果。
48.具体地，当修正识别报文对应的目标批次名与待测晶圆的人工录入批次名相同时，则调用输出模块进行后续处理。例如，修改后的修正识别报文中对应的目标批次名为：a7513331.00，此时待测晶圆的人工录入批次名也为：a7513331.00，此时目标批次名与人工录入批次名一致，调用输出模块进行后续处理。
49.s4、当所述判断结果为是时，输出模块将所述人工录入批次名传输至测试机，以使所述测试机对所述待测晶圆进行测试。
50.其中，测试机从探针台获得人工录入批次名，本发明确保人工录入批次名与晶圆钢号信息匹配，总之要确保批次名正确，部分产品需要将批次名写入芯片，所有产品都会形成测试日志，日志中需含正确的批次名。
51.需要说明的是，测试机与探针台形成测试组合，测试机是测试逻辑处理中心，探针台配合测试机，负责晶圆的输送与定位，确保从晶圆表面向精密仪器输送更稳定的信号，使晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试，实现更加精确的数据测试测量。
52.较优地，在步骤s2之前，还包括：
53.所述拦截模块接收用户发送的所述目标批次名。
54.具体地，用户通过mes系统发送目标批次名至拦截模块。
55.其中，mes系统为：芯片测试过程管控系统，完成待测晶圆的入厂、测试、检验、出厂等全过程的管控，确保测试机与探针台测试的待测晶圆实物是mes系统需要测试的晶圆，并确保晶圆批次名是用户给出的批次名，批次名要体现在给用户的测试报告中，并根据需求将人工录入批次名写入芯片。
56.较优地，所述目标批次名为：所述用户对所述待测晶圆所设置的批次名。
57.较优地，所述原始识别报文和所述修正识别报文均采用十六进制形式表示。
58.具体地，以原始主批次名a7513331为例，原始识别报文为：
59.00000001000000010000001d00000000000009030231376f31303030393030303030303030413735313333312e31443511；该报文文中含钢号信息及校验信息，其中校验码算法为有效字段的累加和，原始主批次名在原始识别报文中为：41373531333331，转换为字符串即a7513331，校验码是4435。修正识别报文为：
60.00000001000000010000001d00000000000009030231376f31303030393030303030303030413735313333312e30302e31363311；修正识别报文中的目标批次名变为a7513331.00，因此识别结果变为a7513331.00.1，即目标批次名为a7513331.00，片号为1，与人工录入的批次名完全一致，满足测试机的测试条件。
61.其中，原始识别报文和修正识别报文均采用十六进制形式表示。
62.需要说明的是，数据报文中含识别内容，为确保传输过程没有发生错误因此引入校验机制，本报文对输送内容按字节做累加和，即得到校验码4435。
63.较优地，所述探针台为：型号为uf3000的探针台。
64.其中，型号为uf3000的探针台为目前主流探针台。
65.本发明实施例的技术方案利用探针台的ocr识别功能，对识别报文进行拦截修正，
在对晶圆进行拆分的同时，达成了ocr识别结果与人工录入的批次名一致的目的，从而使得测试机可以正常测试，满足了不同用户的拆批需求。
66.如图3所示，本发明实施例的一种探针台ocr识别结果的修正系统200，包括：探针台的光学识别系统210、拦截模块220、所述探针台的测试系统230和输出模块240；
67.所述探针台的光学识别系统210用于：对待测晶圆的原始图像进行ocr识别，得到所述待测晶圆的原始主批次名，并将包含所述原始主批次名的原始识别报文向所述探针台的测试系统230发送；
68.所述拦截模块220用于：对所述原始识别报文进行拦截，并判断所述原始识别报文中的所述原始主批次名与所述待测晶圆的目标主批次名是否一致，若是，则将所述原始识别报文修改为包含所述待测晶圆的目标批次名的修正识别报文，并将所述修正识别报文发送至所述探针台的测试系统230；其中，所述目标批次名包括：所述目标主批次名和目标子批次名；
69.所述探针台的测试系统230用于：接收所述修正识别报文，并判断所述修正识别报文对应的所述目标批次名与所述待测晶圆的人工录入批次名是否一致，若是，则调用所述输出模块240；
70.所述输出模块240用于：将所述人工录入批次名传输至测试机，以使所述测试机对所述待测晶圆进行测试。
71.较优地，所述拦截模块220还用于：接收用户发送的所述目标批次名。
72.较优地，所述目标批次名为：所述用户对所述待测晶圆所设置的批次名。
73.较优地，所述原始识别报文和所述修正识别报文均采用十六进制形式表示。
74.较优地，所述探针台为：型号为uf3000的探针台。
75.本发明实施例的技术方案利用探针台的ocr识别功能，对识别报文进行拦截修正，在对晶圆进行拆分的同时，达成了ocr识别结果与人工录入的批次名一致的目的，从而使得测试机可以正常测试，满足了不同用户的拆批需求。
76.上述关于本实施例的一种探针台ocr识别结果的修正方法的实施例中的各参数和模块，可参考上文中关于一种探针台ocr识别结果的修正方法的实施例中的各参数和步骤，在此不做赘述。
77.在此提供的算法或显示不与任何特定计算机、虚拟系统或者其它设备固有相关。此外，本发明实施例也不针对任何特定编程语言。
78.在此处所提供的说明书中，说明了大量具体细节。然而能够理解，本发明的实施例可以在没有这些具体细节的情况下实践。类似地，为了精简本发明并帮助理解各个发明方面中的一个或多个，在上面对本发明的示例性实施例的描述中，本发明实施例的各个特征有时被一起分组到单个实施例、图、或者对其的描述中。其中，遵循具体实施方式的权利要求书由此明确地并入该具体实施方式，其中每个权利要求本身都作为本发明的单独实施例。
79.应该注意的是上述实施例对本发明进行说明而不是对本发明进行限制，并且本领域技术人员在不脱离所附权利要求的范围的情况下可设计出替换实施例。在权利要求中，不应将位于括号之间的任何参考符号构造成对权利要求的限制。单词“包含”不排除存在未列在权利要求中的元件或步骤。位于元件之前的单词“一”或“一个”不排除存在多个这样的
元件。本发明可以借助于包括有若干不同元件的硬件以及借助于适当编程的计算机来实现。在列举了若干装置的单元权利要求中，这些装置中的若干个可以是通过同一个硬件项来具体体现。单词第一、第二、以及第三等的使用不表示任何顺序。可将这些单词解释为名称。上述实施例中的步骤，除有特殊说明外，不应理解为对执行顺序的限定。