一种光学薄膜测厚仪的制作方法

1.本实用新型涉及薄膜测厚仪技术领域，具体为一种光学薄膜测厚仪。


背景技术：

2.光学薄膜的应用始于20世纪30年代，由薄的分层介质构成的，通过界面传播光束的一类光学介质材料。现代，光学薄膜已广泛用于光学和光电子技术领域，制造各种光学仪器，主要的光学薄膜器件包括反射膜、减反射膜、偏振膜、干涉滤光片和分光镜等等。它们在国民经济和国防建设中得到了广泛的应用，获得了科学技术工作者的日益重视。例如采用减反射膜后可使复杂的光学镜头的光通量损失成十倍地减小；采用高反射比的反射镜可使激光器的输出功率成倍提高；利用光学薄膜可提高硅光电池的效率和稳定性，在光学薄膜生产制造中，需要测量光学薄膜的厚度。
3.根据专利公开号cn 215766912 u提出的一种一种具有光谱反射技术的膜厚仪，包括控制箱和检测头，所述控制箱的顶部插接有十字型的支撑台，该装置具有便于吸附固定，解决了待测物品在测量过程中出现移动，进而影响整体的测量对比效果的问题，但是该装置缺少外部防护结构，由于薄膜测厚仪是精密的光学仪器，灰尘污染检测头，从而对测量精密度产生影响，若防尘效果不当，影响测量结果。
4.因此我们提出一种光学薄膜测厚仪来解决上述背景中的问题。


技术实现要素：

5.(一)解决的技术问题
6.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种光学薄膜测厚仪，具备使用便捷，防尘保护等优点，解决了光谱薄膜测厚仪的防尘问题。
7.(二)技术方案
8.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种光学薄膜测厚仪，包括除尘机构，所述除尘机构外部设置有测量机构；
9.所述除尘机构包括线性导轨，所述线性导轨上端设置有电机，所述电机上端固定连接有十字支撑台，所述十字支撑台上表面设置有固定吸盘，所述固定吸盘上部设置有风机，所述风机下端设置有出风板；
10.通过线性导轨带动电机水平移动，电机带动十字支撑台水平移动，线性导轨的内部线路连接为现有公知技术，将待测光学薄膜放置在十字支撑台上表面，通过固定吸盘将光学薄膜吸合固定，通过线性导轨使十字支撑台移动至出风板下方，通过风机产生风力，风机通过出风板将风力导向光学薄膜上表面，对其进行除尘，出风板倾斜设置于待测薄膜的上前方，防止灰尘吹向防护箱的隔板内侧，从而对检测头进行保护，经过表面除尘的光学薄膜进行下一步测量，从而避免表面灰尘影响测量精度，从而保证光学薄膜厚度测量的准确性。
11.所述测量机构包括光谱测厚仪，所述光谱测厚仪侧面固定连接有导线杆，所述导
线杆另一端固定连接有检测头，所述检测头外部设置有防护箱，所述防护箱中部上端固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆下端固定连接有密封板。
12.通过电动伸缩杆带动密封板升降，密封板下端与线性导轨的轨道卡合，从而将隔板下方入口保持常闭，从而使防护箱后端内部形成密闭空间，防止灰尘进入，有效防护检测头的光学镜头被污染，使检测头的测量稳定准确，通过电动伸缩杆将密封板升起，将隔板的入口打开，经过除尘的光学薄膜进入检测头下方，密封板再将入口关闭，防止灰尘进入，通过检测头对光学薄膜进行厚度测量，通过电机带动十字支撑台圆周转动，再配合线性导轨的前后移动，从而可以对光学薄膜进行整体检测，测量便捷，通过外部的控制器对装置进行控制，厚度测量结果通过控制的显示屏查看，本机构操作方便，便于对光学薄膜厚度测量，同时具有防尘防护功能，使光学薄膜厚度测量稳定且准确。
13.优选的，所述防护箱前端敞开，所述防护箱中部设置有隔板，隔板下端设置有入口。
14.防护箱前端敞开，方便光学薄膜的取放，防护箱中部设置有隔板，对防护箱后端内部进行隔挡，隔板下端设置有入口，方便线性导轨带动十字支撑台进入。
15.优选的，所述电动伸缩杆设置于隔板内侧，所述密封板与隔板内侧贴合，所述密封板下端设置有卡槽。
16.通过电动伸缩杆带动密封板升降，密封板下端与线性导轨的轨道卡合，将隔板下方入口保持常闭，从而使防护箱后端内部形成封闭空间，防止灰尘进入，有效防护检测头的光学镜头被污染。
17.优选的，所述线性导轨固定连接防护箱底部，所述线性导轨贯穿隔板底部。
18.线性导轨固定连接防护箱底部，从而使线性导轨固定，线性导轨贯穿隔板底部，从而使线性导轨带动十字支撑台进入检测头下方。
19.优选的，所述线性导轨的导块与电机底面固定连接，所述电机的转轴与十字支撑台的底面中部固定连接。
20.线性导轨的导块与电机底面固定连接，从而使线性导轨带动电机移动，电机带动十字支撑台移动，电机的转轴与十字支撑台的底面中部固定连接，通过电机使十字支撑台圆周转动，从而便于对光学薄膜进行测量。
21.优选的，所述十字支撑台内部套接有卡块，多个所述固定吸盘对称分布在十字支撑台的上表面。
22.通过卡块的伸缩从而将光学薄膜卡合固定，卡块和十字支撑台内部之间有摩擦力，便于固定，固定吸盘对称分布在十字支撑台的上表面，从而与光学薄膜底面贴合固定。
23.优选的，所述导线杆为l形杆，所述导线杆上端贯穿防护箱内部，所述防护箱固定连接于光谱测厚仪的上表面。
24.通过导线杆将光谱测厚仪与检测头内部的光学线路连通，便于设备进行测量，防护箱固定连接于光谱测厚仪的上表面，使光谱测厚仪与防护箱稳定连接。
25.与现有技术相比，本实用新型提供了一种光学薄膜测厚仪，具备以下有益效果：
26.1、该光学薄膜测厚仪，通过电动伸缩杆带动密封板升降，密封板下端与线性导轨的轨道卡合，从而将隔板下方入口保持常闭，从而使防护箱后端内部形成密闭空间，防止灰尘进入，有效防护检测头的光学镜头被污染，使检测头的测量稳定准确，通过电动伸缩杆将
密封板升起，将隔板的入口打开，经过除尘的光学薄膜进入检测头下方，密封板再将入口关闭，防止灰尘进入，通过检测头对光学薄膜进行厚度测量，通过电机带动十字支撑台圆周转动，再配合线性导轨的前后移动，从而可以对光学薄膜进行整体检测，测量便捷，通过外部的控制器对装置进行控制，厚度测量结果通过控制的显示屏查看，本机构操作方便，便于对光学薄膜厚度测量，同时具有防尘防护功能，使光学薄膜厚度测量稳定且准确。
27.2、该光学薄膜测厚仪，通过线性导轨带动电机水平移动，电机带动十字支撑台水平移动，线性导轨的内部线路连接为现有公知技术，将待测光学薄膜放置在十字支撑台上表面，通过固定吸盘将光学薄膜吸合固定，通过线性导轨使十字支撑台移动至出风板下方，通过风机产生风力，风机通过出风板将风力导向光学薄膜上表面，对其进行除尘，出风板倾斜设置于待测薄膜的上前方，防止灰尘吹向防护箱的隔板内侧，从而对检测头进行保护，经过表面除尘的光学薄膜进行下一步测量，从而避免表面灰尘影响测量精度，从而保证光学薄膜厚度测量的准确性。
附图说明
28.图1为本实用新型内部结构示意图；
29.图2为本实用新型防护箱结构示意图；
30.图3为本实用新型电机连接结构示意图；
31.图4为本实用新型密封板结构示意图。
32.其中：1、除尘机构；2、测量机构；101、线性导轨；102、电机；103、十字支撑台；104、固定吸盘；105、风机；106、出风板；201、光谱测厚仪；202、导线杆；203、检测头；204、防护箱；205、电动伸缩杆；206、密封板。
具体实施方式
33.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
34.请参阅图1-4。
35.一种光学薄膜测厚仪，包括除尘机构1，除尘机构1外部设置有测量机构2；
36.除尘机构1包括线性导轨101，线性导轨101上端设置有电机102，电机102上端固定连接有十字支撑台103，十字支撑台103上表面设置有固定吸盘104，固定吸盘104上部设置有风机105，风机105下端设置有出风板106；
37.通过线性导轨101带动电机102水平移动，电机102带动十字支撑台103水平移动，线性导轨101的内部线路连接为现有公知技术，将待测光学薄膜放置在十字支撑台103上表面，通过固定吸盘104将光学薄膜吸合固定，通过线性导轨101使十字支撑台103移动至出风板106下方，通过风机105产生风力，风机105通过出风板106将风力导向光学薄膜上表面，对其进行除尘，出风板106倾斜设置于待测薄膜的上前方，防止灰尘吹向防护箱204的隔板内侧，从而对检测头203进行保护，经过表面除尘的光学薄膜进行下一步测量，从而避免表面灰尘影响测量精度，从而保证光学薄膜厚度测量的准确性。
38.测量机构2包括光谱测厚仪201，光谱测厚仪201侧面固定连接有导线杆202，导线杆202另一端固定连接有检测头203，检测头203外部设置有防护箱204，防护箱204中部上端固定连接有电动伸缩杆205，电动伸缩杆205下端固定连接有密封板206。
39.通过电动伸缩杆205带动密封板206升降，密封板206下端与线性导轨101的轨道卡合，从而将隔板下方入口保持常闭，从而使防护箱204后端内部形成密闭空间，防止灰尘进入，有效防护检测头203的光学镜头被污染，使检测头203的测量稳定准确，通过电动伸缩杆205将密封板206升起，将隔板的入口打开，经过除尘的光学薄膜进入检测头203下方，密封板206再将入口关闭，防止灰尘进入，通过检测头203对光学薄膜进行厚度测量，通过电机102带动十字支撑台103圆周转动，再配合线性导轨101的前后移动，从而可以对光学薄膜进行整体检测，测量便捷，通过外部的控制器对装置进行控制，厚度测量结果通过控制的显示屏查看，本机构操作方便，便于对光学薄膜厚度测量，同时具有防尘防护功能，使光学薄膜厚度测量稳定且准确。
40.防护箱204前端敞开，防护箱204中部设置有隔板，隔板下端设置有入口。
41.防护箱204前端敞开，方便光学薄膜的取放，防护箱204中部设置有隔板，对防护箱204后端内部进行隔挡，隔板下端设置有入口，方便线性导轨101带动十字支撑台103进入。
42.电动伸缩杆205设置于隔板内侧，密封板206与隔板内侧贴合，密封板206下端设置有卡槽。
43.通过电动伸缩杆205带动密封板206升降，密封板206下端与线性导轨101的轨道卡合，将隔板下方入口保持常闭，从而使防护箱204后端内部形成封闭空间，防止灰尘进入，有效防护检测头203的光学镜头被污染。
44.线性导轨101固定连接防护箱204底部，线性导轨101贯穿隔板底部。
45.线性导轨101固定连接防护箱204底部，从而使线性导轨101固定，线性导轨101贯穿隔板底部，从而使线性导轨101带动十字支撑台103进入检测头203下方。
46.线性导轨101的导块与电机102底面固定连接，电机102的转轴与十字支撑台103的底面中部固定连接。
47.线性导轨101的导块与电机102底面固定连接，从而使线性导轨101带动电机102移动，电机102带动十字支撑台103移动，电机102的转轴与十字支撑台103的底面中部固定连接，通过电机102使十字支撑台103圆周转动，从而便于对光学薄膜进行测量。
48.十字支撑台103内部套接有卡块，多个固定吸盘104对称分布在十字支撑台103的上表面。
49.通过卡块的伸缩从而将光学薄膜卡合固定，卡块和十字支撑台103内部之间有摩擦力，便于固定，固定吸盘104对称分布在十字支撑台103的上表面，从而与光学薄膜底面贴合固定。
50.导线杆202为l形杆，导线杆202上端贯穿防护箱204内部，防护箱204固定连接于光谱测厚仪201的上表面。
51.通过导线杆202将光谱测厚仪201与检测头203内部的光学线路连通，便于设备进行测量，防护箱204固定连接于光谱测厚仪201的上表面，使光谱测厚仪201与防护箱204稳定连接。
52.在使用时，通过线性导轨101带动电机102水平移动，电机102带动十字支撑台103
水平移动，线性导轨101的内部线路连接为现有公知技术，将待测光学薄膜放置在十字支撑台103上表面，通过固定吸盘104将光学薄膜吸合固定，通过线性导轨101使十字支撑台103移动至出风板106下方，通过风机105产生风力，风机105通过出风板106将风力导向光学薄膜上表面，对其进行除尘，出风板106倾斜设置于待测薄膜的上前方，防止灰尘吹向防护箱204的隔板内侧，从而对检测头203进行保护，经过表面除尘的光学薄膜进行下一步测量，从而避免表面灰尘影响测量精度，从而保证光学薄膜厚度测量的准确性，通过电动伸缩杆205带动密封板206升降，密封板206下端与线性导轨101的轨道卡合，从而将隔板下方入口保持常闭，从而使防护箱204后端内部形成密闭空间，防止灰尘进入，有效防护检测头203的光学镜头被污染，使检测头203的测量稳定准确，通过电动伸缩杆205将密封板206升起，将隔板的入口打开，经过除尘的光学薄膜进入检测头203下方，密封板206再将入口关闭，防止灰尘进入，通过检测头203对光学薄膜进行厚度测量，通过电机102带动十字支撑台103圆周转动，再配合线性导轨101的前后移动，从而可以对光学薄膜进行整体检测，测量便捷，通过外部的控制器对装置进行控制，厚度测量结果通过控制的显示屏查看，本机构操作方便，便于对光学薄膜厚度测量，同时具有防尘防护功能，使光学薄膜厚度测量稳定且准确。
53.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。