1.一种基于快反镜的三角环形衰荡腔自动对准装置,其特征是:其包括激光光源、光路机构、快反镜对准镜组、三角环形无源谐振腔、聚焦镜、探测器、数据采集记录分析机构,其中,
2.根据权利要求1所述的基于快反镜的三角环形衰荡腔自动对准装置,其特征是:所述快反镜对准镜组包括第一快反镜、第二快反镜,第一快反镜、第二快反镜结构相同,二者平行且间隔设置;所述第一快反镜包括反射镜、镜座、底座,所述反射镜固定安装在所述镜座上开设的凹槽中,所述镜座位于所述底座上方,且与之平行布置;所述镜座与所述底座之间垂直设置有沿底座圆周方向依次间隔均匀分布的第一刚性弹簧支撑轴、第二刚性弹簧支撑轴、第一调节轴、第二调节轴,所述底座与所述镜座中央垂直设置有与二者铰接的主支撑轴。
3.根据权利要求2所述的基于快反镜的三角环形衰荡腔自动对准装置,其特征是:所述第一快反镜、第二快反镜同角度倾斜设置。
4.根据权利要求2所述的基于快反镜的三角环形衰荡腔自动对准装置,其特征是:所述第一调节轴、第二调节轴结构相同,均由音圈电机和第一压电陶瓷组成,所述第一压电陶瓷安装在音圈电机上端中部。
5.根据权利要求1所述的基于快反镜的三角环形衰荡腔自动对准装置,其特征是:所述光路机构包括准直镜组、匹配镜组、分光镜,所述准直镜组、匹配镜组、分光镜依次设置在所述激光光源的输出光轴上。
6.根据权利要求1所述的基于快反镜的三角环形衰荡腔自动对准装置,其特征是:所述三角环形无源谐振腔包括位于腔体内的输入耦合镜、输出耦合镜、球面镜,所述平面结构的输入耦合镜、输出耦合镜位于腔体内顶部,所述球面镜通过第二压电陶瓷设置在腔体内底部,所述输入耦合镜、输出耦合镜、球面镜之间的光路形成三角腔闭合光轴回路;所述腔体具有进气口、出气口,且进气口处设置有气体过滤器;所述球面镜连接有腔长伺服控制机构,用于调整所述球面镜与所述输入耦合镜、输出耦合镜之间的距离。
7.根据权利要求1或5所述的基于快反镜的三角环形衰荡腔自动对准装置,其特征是:所述光路机构连接有失调误差自动获取系统,用于扫频对比所述三角环形无源谐振腔内光与光源光的模式特征,给出所述三角环形无源谐振腔中失调误差存在的平面和类型。
8.根据权利要求7所述的基于快反镜的三角环形衰荡腔自动对准装置,其特征是:所述失调误差自动获取系统、快反镜对准镜组与主控系统连接,所述主控系统用于将失调误差的对准方式传输至所述快反镜对准镜组。
9.一种基于快反镜的三角环形衰荡腔装调对准方法,利用权利要求1~8中任一权利要求所述的基于快反镜的三角环形衰荡腔自动对准装置来实现,其特征是:其包括以下步骤:
10.根据权利要求9所述的基于快反镜的三角环形衰荡腔装调对准方法,其特征是:其还包括: