专利名称:聚焦x光衍射计的制作方法
本实用新型所述装置属于物理测试仪器类，用于晶体物质的结构分析。
聚焦X光衍射计是按西曼一博林(Seeman－Bohlin)聚焦原理布置的。根据这种聚焦几何，衍射计必须使X光源焦点、试样表面、探测器接收狭缝中心三者始终在一个固定的聚焦圆上。
聚焦衍射计，在入射角＞30°，2θ＞60°时，其衍射线强度、分辨率、测定精度等都比半聚焦衍射计好。聚焦衍射计中，参加衍射的晶面也不限于平行于试样表面的晶面，因而这有利于有织构试样的各晶面衍射线的测定。
用于薄膜的西曼一博林(Seeman－Bohlin)衍射计〔见R.Feder and B.S.Berry.J.Appl.Cryst。(1970)。3.372。〕是一种专用于薄膜测定的聚焦衍射计。它采用两个电机驱动，机构复杂。一种可同时测定物质的X光谱和X光衍射线的两用仪器〔见United States Patent 3，440，419 Apr.22，1969〕中，虽然也用三齿轮系传动，但按其说明其中心轮是旋转的。
本实用新型采用一套三齿轮系统，结构简单，仅需一个电机驱动。采用这样的结构的聚焦X光衍射计已于1984年10月完成〔见汪泓宏 聚焦X光衍射计研制报告，清华大学工程物理系，1984.10〕。实验证明，在测定薄膜材料的结构方面，它比通常的半聚焦衍射计有某些优点。聚焦衍射计的X光入射角，可采用小角度，此时有利于薄膜材料的测定；也可采用不同的大角度，此时测定精度、分辨率较高，并适于粉末或块状样品。
本实用新型提出一种聚焦X光衍射计的结构设计，其结构示于图1。图1中，中心轴1和齿轮3连接，且固定不动。与中心轴1同心的轴2与梁6固定连接，并绕其中心旋转。件7是固定不动的机架部分。齿轮3、4、5顺序啮合。齿轮4和5都可绕其轴自由转动。探测器8和其接收狭缝9固定于齿轮5上，且使狭缝中心与轴线中心11重合。梁6转动时，狭缝中心沿聚焦圆12运动。当齿轮3、5的齿数选得适当时，在梁6转动时，探测器8始终对准处于聚焦圆上的试样台10内面中心，并记录不同2θ角的衍射线。
X光源焦点原则上可以处于聚焦圆任何位置。当X光管后加用单色器时，设置在聚焦圆12上的焦点调节狭缝13有助于调整焦点位置。调焦狭缝的位置，决定X光的入射角度，可按需要设计。当采用小角度入射时，这个狭缝可直接设计在试样台10上。
在聚焦衍射计中，试样各晶面的衍射线是同时聚焦的。因此，本装置可采用如权利要求
4所述的一个以上的齿轮系、探测器和接收狭缝，用来分别测定不同2θ范围的衍射线，以节省测定时间。
图2表示用聚焦衍射计测得的晶体材料的X光衍射结果。图2中，纵座标为衍射线强度，横座标为衍射角，2θ。
权利要求
1.一种按西曼-博林(Seeman-Bohlin)聚焦原理布置的测定晶体物质结构的聚焦X光衍射计，其特征在于采用一套具有固定不动的中心轮的三齿轮传动系统。
2.如权利要求
1所述的装置，其特征在于其中的试样台的内面处于固定的聚焦圆上。
3.如权利要求
1所述的装置，其特征在于其中的接收狭缝沿聚焦圆运动；同时，探测器和接收狭缝始终对准试样台内面中心。
4.如权利要求
1和3所述的装置，其特征在于可以具有一个以上的三齿轮系统，探测器和接收狭缝组。
专利摘要
一种用于测定晶体物质结构的，按西曼—博林(Seeman-BOhlin)原理设计的聚焦X光衍射计，其特征是具有一套三齿轮系统(中心轮固定)，由一个电机—减速器驱动，结构简单。
文档编号H01L21/02GK85200025SQ85200025
公开日1985年9月10日 申请日期1985年4月1日
发明者汪泓宏 申请人:清华大学导出引文BiBTeX, EndNote, RefMan