中以两级簧片支撑单元为例说明，但是簧片支撑单元的数量不局限于两级，应以振动台与三维振动平台之间的距离和簧片的长度作为簧片支撑单元的数量参考依据。
[0022]如图3所示，第一簧片组件61由簧片611及L型压板612组成，四件L型压板612对称安装于簧片611两端。L型压板形成第一连接组件和第二连接组件。
[0023]如图2、图3、图4所示，第一、第二、第三、第四簧片组件61、62、63、64结构相同，均安装于十字连接件65，安装特征为:第一簧片组件61的簧片平面与第二簧片组件62的簧片平面相互平行，关于十字连接件65中心对称安装于十字连接件65第一安装面651 ;第三簧片组件63的簧片平面与第四簧片组件64的簧片平面相互平行，关于十字连接件65中心对称安装于十字连接件65第二安装面652，并且，第一簧片组件61的簧片平面与第三簧片组件63的簧片平面相互垂直，第二簧片组件62的簧片平面与第四簧片组件64的簧片平面相互垂直。
[0024]Y轴向解耦装置6Β、Ζ轴向解耦装置6C的结构与作用机理与X轴向解耦装置6Α相同，均为由两级簧片支撑单元形成的簧片式运动解耦装置。
[0025]对于三分量标准振动台输出X轴向振动，X轴向运动解親装置6Α —端通过L型压板612连接X轴向振动台2运动平面21，另一端连接三维振动平台5，并保证四组簧片支撑组件61、62、63、64中有两组的簧片平面沿水平方向，从而另外两组的簧片平面沿垂直方向，由于四组的簧片平面均与运动平面21垂直，当簧片用于传递振动时，具有高刚度性能，可以很好地实现将X轴向振动台2运动平面21输出的沿X轴向振动传递到三维振动平台5 ;同理，可通过Y轴向运动解耦装置6Β实现将Y轴向振动台3运动平面31输出的沿Y轴向振动传递到三维振动平台5。
[0026]对用于传递Z轴向振动的Z轴向运动解耦装置6C，需保证四组簧片支撑组件61、62、63、64中有两组的簧片平面与X轴向振动台2运动平面21平行，另外两组的簧片平面与Y轴向振动台3运动平面31平行，此时，四组的簧片平面也达到与Z轴向振动台4运动平面41垂直，当簧片用于传递振动时，具有高刚度性能，可以实现将Z轴向振动台4运动平面41输出的沿Z轴向振动传递到三维振动平台5。
[0027]本发明的工作过程为:以X轴向振动台2输出振动为例，振动首先传递到与X轴向振动台2连接的X轴向解耦装置6Α，由于解耦装置两级簧片的平面均与X轴向振动台2运动平面21垂直，从而沿该轴向呈高刚度特性，可以很好地实现将振动传递到与X轴向解耦装置连接的三维振动平台5。与此同时，X轴向解耦装置6A的两级簧片中有一级与Y轴向振动台3运动平面31平行，沿Y轴向呈微小刚度特性，从而避免了 Y轴向振动台3对X轴向振动台2输出的干扰，X轴向解耦装置6A的另外一级簧片的平面与Z轴向振动台4运动平面41平行，沿Z轴向呈微小刚度特性，从而避免了 Z轴向振动台对X轴向振动台输出的干扰，综上所述，实现三维振动平台5输出X轴向解耦运动；同理，对于另外两个轴向振动台产生的振动，由于簧片式运动解耦装置的作用，也可实现三维振动平台5输出对应轴向的解耦运动，从而完成三维振动平台沿X、Y、Z轴向合成运动的解耦输出。
[0028]本发明采用三台振动台及三个簧片式运动解耦装置构成三分量标准振动台，设计的簧片式运动解耦装置采用交叉式簧片结构，可以实现振动力传递的同时避免了非传递向振动输出的干扰，很好地解决了三分量振动台输出运动解耦的问题。
[0029]本发明的优点在于:
1、簧片支撑单元与振动台和三维振动平台之间均为固定连接，连接方式简单，定位方便，安装简单。
[0030]2、簧片式的运动解耦装置沿振动力传递方向具有比传统静压气膜更大的传递刚度，可以显著提高三分量标准振动台上限使用频率，并简化三分量运动解耦装置结构，节约制造成本。
[0031]本说明书实施例内容仅仅是对发明构思的实现形式的列举，本发明的保护范围不应当被视为仅限于实施例所陈述的具体形式，本发明的保护范围也及于本领域技术人员根据本发明构思所能够想到的等同技术手段。
【主权项】
1.基于簧片式解耦装置的三分量标准振动台，包括底座，所述的底座上设有X轴向振动台，Y轴向振动台，Z轴向振动台，和三维振动平台；X轴向振动台通过X轴向解親装置与三维振动平台连接，Y轴向振动台通过Y轴向解耦装置与三维振动平台连接，Z轴向振动台通过Z轴向解耦装置与三维振动平台连接；其特征在于:x轴向解耦装置、Y轴向解耦装置和Z轴向解耦装置分别由各自的簧片支撑单元组成，每个簧片支撑单元包括平行设置的一对簧片，分别位于簧片两端的第一连接组件和第二连接组件；第一连接组件位于靠近振动台的一端，第二连接组件位于靠近三维振动平台的一端。
2.如权利要求1所述的基于簧片式解耦装置的三分量标准振动台，其特征在于:x轴向解耦装置、Y轴向解耦装置和Z轴向解耦装置分别具有串联的两级簧片支撑单元。
3.如权利要求2所述的基于簧片式解耦装置的三分量标准振动台，其特征在于:两级簧片支撑单元通过连接件固定连接，两级簧片支撑单元的簧片正交。
4.如权利要求2所述的基于簧片式解耦装置的三分量标准振动台，其特征在于:所述的连接件呈十字形，两级支撑单元分别设置于连接件的两个正交臂上。
5.如权利要求4所述的基于簧片式解耦装置的三分量标准振动台，其特征在于:第一连接组件和第二连接组件分别包括一对L形连接片，L形连接片上设置与连接螺栓配合的螺孔。
【专利摘要】基于簧片式解耦装置的三分量标准振动台，包括底座，所述的底座上设有X轴向振动台，Y轴向振动台，Z轴向振动台，和三维振动平台；X轴向振动台通过X轴向解耦装置与三维振动平台连接，Y轴向振动台通过Y轴向解耦装置与三维振动平台连接，Z轴向振动台通过Z轴向解耦装置与三维振动平台连接；X轴向解耦装置、Y轴向解耦装置和Z轴向解耦装置分别由各自的簧片支撑单元组成，每个簧片支撑单元包括平行设置的一对簧片，分别位于簧片两端的第一连接组件和第二连接组件；第一连接组件位于靠近振动台的一端，第二连接组件位于靠近三维振动平台的一端。本发明具有对解耦装置的安装要求不高，具有比静压气膜更大振动力传递刚度的优点。
【IPC分类】G01H17-00, G01M7-06
【公开号】CN104596720
【申请号】CN201510019692
【发明人】何闻, 张旭飞, 贾叔仕, 周杰
【申请人】浙江大学
【公开日】2015年5月6日
【申请日】2015年1月15日