一种半导体气敏元件的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种半导体器件，尤其涉及一种半导体气敏元件。
【背景技术】
[0002]气敏传感器的应用主要有:一氧化碳气体的检测、瓦斯气体的检测、煤气的检测、氟利昂勠11、R12蓠检测、呼气中乙醇的检测、人体口腔口臭的检测等等。它将气体种类及其与浓度有关的信息转换成电信号根据这些电信号的强弱就可以获得与待测气体在环境中的存在情况有关的信息从而可以
[0003]进行检测、监控、报警还可以通过接口电路与计算机组成自动检测、控制和报警系统。
[0004]目前实际使用最多的是半导体气敏传感器，但由于现有气敏传感器结构复杂、响应速度慢、灵敏度低，极大的限制了半导体气敏器件的应用。
【发明内容】
[0005]本发明所要解决的技术问题是提供一种结构简单、制造成本低廉、响应速度快、灵敏度高的气敏元件。
[0006]本发明解决上述技术问题的技术方案如下:一种半导体气敏元件，包括塑料底座，所述塑料底座上设置有对称测量电极、对称引出电极，所述对称测量电极之间通过金属导线连接，所述对称引出电极之间通过加热丝连接，所述31!02烧结体设置在金属导线与加热丝之上，所述塑料底座与不锈钢丝网罩构成封闭结构。
[0007]所述SnO2烧结体用于对气体的吸附和释放，当SnO 2烧结体吸附或释放气体时，质量和导电率会发生改变，根据气体浓度的变化，SnO2烧结体导电率发生相应变化，从而作为测定量对气体进行监测。
[0008]在上述技术方案的基础上，本发明还可以做如下改进。
[0009]进一步，所述加热丝设置于SnO2烧结体内或设置于SnO 2烧结体外，所述加热丝设置于31102烧结体内，有利于缩短加热时间，从而提升响应速度，但封装工艺较复杂。
[0010]进一步，所述51102烧结体内设置有对称测定电阻，所述对称测定电阻根据SnO 2烧结体导电率的变化而变化，从而最终实现气体浓度转化为电信号输出。
[0011]进一步，所述对称测定电阻一端与对称测量电极连接，一端通过电热丝与对称引出电极连接，用于31102烧结体导通和电信号的输出。
[0012]本发明的有益效果是:结构简单、制造成本低廉、响应速度快、灵敏度高。
【附图说明】
[0013]图1为本发明一种半导体气敏元件结构示意图；
图2为本发明一种半导体气敏元件SnO2烧结体结构示意图；
[0014]附图中，各标号所代表的部件列表如下:1、塑料底座，2、对称引出电极，3、不锈钢丝网罩，4、51102烧结体，5、加热丝，6、对称测量电极，7、金属导线，8、对称测定电阻。
【具体实施方式】
[0015]以下结合附图对本发明的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本发明，并非用于限定本发明的范围。
[0016]如图1所示，一种半导体气敏元件，包括塑料底座1，所述塑料底座I上设置有对称测量电极6、对称引出电极2，所述对称测量电极6之间通过金属导线7连接，所述对称引出电极2之间通过加热丝5连接，所述SnO2烧结体4设置在金属导线7与加热丝5之上，所述塑料底座I与不锈钢丝网罩3构成封闭结构。
[0017]所述SnO2烧结体4用于对气体的吸附和释放，当SnO2烧结体4吸附或释放气体时，质量和导电率会发生改变，根据气体浓度的变化，SnO2烧结体4导电率发生相应变化，从而作为测定量对气体进行监测。
[0018]所述加热丝5设置于SnO2烧结体4内或设置于SnO 2烧结体4外，所述加热丝5设置于SnO2烧结体4内，有利于缩短加热时间，从而提升响应速度，但封装工艺较复杂；所述SnO2烧结体4内设置有对称测定电阻8，所述对称测定电阻8根据SnO2烧结体4导电率的变化而变化，从而最终实现气体浓度转化为电信号输出；所述对称测定电阻8 —端与对称测量电极2连接，一端通过电热丝5与对称引出电极6连接，用于SnO2烧结体4导通和电信号的输出。
[0019]以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1.一种半导体气敏元件，其特征在于，包括塑料底座，所述塑料底座上设置有对称测量电极、对称引出电极，所述对称测量电极之间通过金属导线连接，所述对称引出电极之间通过加热丝连接，所述31102烧结体设置在金属导线与加热丝之上，所述塑料底座与不锈钢丝网罩构成封闭结构。
2.根据权利要求1所述一种半导体气敏元件，其特征在于，所述加热丝设置于SnO2烧结体内或设置于SnO2烧结体外。
3.根据权利要求1所述一种半导体气敏元件，其特征在于，所述SnO2烧结体内设置有对称测定电阻。
4.根据权利要求3所述一种半导体气敏元件，其特征在于，所述对称测定电阻一端与对称测量电极连接，一端通过电热丝与对称引出电极连接。
【专利摘要】本发明涉及一种半导体气敏元件，包括塑料底座，所述塑料底座上设置有对称测量电极、对称引出电极，所述对称测量电极之间通过金属导线连接，所述对称引出电极之间通过加热丝连接，所述SnO2烧结体设置在金属导线与加热丝之上，所述塑料底座与不锈钢丝网罩构成封闭结构。本发明结构简单、制造成本低廉、响应速度快、灵敏度高。
【IPC分类】G01N27-12
【公开号】CN104614412
【申请号】CN201410521501
【发明人】李 杰
【申请人】重庆泽嘉机械有限公司
【公开日】2015年5月13日
【申请日】2014年9月30日