一种新型的半导体气敏器件的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于半导体领域，尤其涉及一种新型的半导体气敏器件。
【背景技术】
[0002]半导体气敏传感器是利用半导体气敏元件同气体接触后，造成半导体性质的变化来检测特定气体的成分或者测量其浓度。
[0003]半导体气敏传感器大体上可以分为电阻式和非电阻式两类。电阻式半导体气敏倍感器是利用气敏半导体材料，如氧化锡(Sn02)、氧化锰(Mn02)等金用氧化物制成敏感元件，当它们吸收了可燃气体的烟雾，如氢、一氧化碳、烷、醚、醉、苯以及天然气等时，会发生还原反应，放出热量，使元件温度相应增高，电阻发生变化。利用半导体材料的这种待性，将气体的成分和浓度变换成电信号，进行监测和报警。
[0004]气体与人类的日常生活密切相关，对气体的检测已经是保护和改善生态居住环境不可缺少手段，气敏传感器发挥着极其重要的作用。例如生活环境中的一氧化碳浓度达0.8?1.15ml/L时，就会出现呼吸急促，脉搏加快，甚至晕厥等状态，达1.84ml/L时则有在几分钟内死亡的危险，因此对一氧化碳检测必须快而准。如利用Sn02金属氧化物半导体气敏材料，通过颗粒超微细化和掺杂工艺制备Sn02纳米颗粒，并以此为基体掺杂一定催化剂，经适当烧结工艺进行表面修饰，制成旁热式烧结型CO敏感元件，能够探测0.005%?0.5%范围的CO气体。此外，还有许多易爆可燃气体、酒精气体、汽车尾气等有毒气体的探测均用到半导体气敏传感器。因为半导体气敏传感器具有灵敏度高、响应快、稳定性好、使用简单的特点，应用极其广泛。
[0005]目前常见的半导体气敏元件主要有2种类型:一种是直热式烧结球型，元件由螺旋状加热丝和测量电极渗入到金属氧化物内后烧结而成，工作温度较低，加热功率小，结构简单；另一种是旁热式厚膜瓷管型，元件以A1203陶瓷管为管芯，加热线圈则插入绝缘管内，管外涂梳状电极作为测量极，两端焊上Pt丝作为电极引脚，瓷管外壁金电极外涂覆气敏材料，经高温烧结成器件，这种结构可以有效的避免测量极与加热部分的互相干扰，但是具有功耗大，加热温度不好测量等缺点。
[0006]目前，不论是旁热式的还是直热式的气敏元件，均在加热的反应温度重复差的问题，因为反应的温度与施加的电压、加热丝的粗细、加热丝缠绕的圈数、加热丝缠绕的紧凑型、加热丝缠绕的直径等因素相关，存在重复性比较差的问题。
【实用新型内容】
[0007]为解决上述问题本实用新型提供了一种新型的半导体气敏器件。本实用新型中的测量部分和加热部分均设在陶瓷管的表面，实现了一体化，具有可靠性高的优点且本实用新型所消耗的功耗比旁热式半导体元件更低。
[0008]为达到上述技术效果，本实用新型的技术方案是:
[0009]—种新型的半导体气敏器件，包括陶瓷管，所述陶瓷管为圆柱形；陶瓷管底部设有电极引线；陶瓷管外侧面中部设有加热环；陶瓷管外侧面两端设有测量电极；加热环外部设有绝缘层；测量电极的部分外表面和绝缘层上涂有气敏浆料。
[0010]进一步的改进，所述绝缘层的厚度为50nm。
[0011 ] 进一步的改进，所述陶瓷管连接在底座上，底座上设有金属外壳，金属外壳顶部设有不锈钢网，所述不锈钢网为双层不锈钢网，不锈钢网的网口大小为100目。
[0012]本实用新型的优点:
[0013]1、解决了气敏器件加热温度定量问题，目前不管是直热式的还是旁热式的半导体器件，均是通过加热丝缠绕而成，其加热温度是由两端施加电压、缠绕圈数及其直径等因素决定的，存在不确定性，本实用新型通过在半导体工艺，直接在陶瓷管上制备加热圈，可以精确的获得其电阻等参数，也可以精确的获取不同电压下下温度值。
[0014]2、降低了功耗，本实用新型是以陶瓷管为基底，直接在其管表面制备加热圈，同时在加热圈上，镀一层50nm左右的绝缘层，敏感材料则直接涂覆于绝缘层和部分测量电极上，相比旁热式加热，可以降低功耗。
[0015]3、测量部分与加热一体化、集成化，增加了器件的可靠性。
【附图说明】
[0016]图1气敏器件内部结构示意图；
[0017]图2气敏器件内部结构层次示意图；
[0018]图3气敏器件外部示意图。
【具体实施方式】
[0019]实施例
[0020]如图1-3所示的一种新型的半导体气敏器件，包括陶瓷管1，所述陶瓷管I为圆柱形；陶瓷管I底部设有电极引线9 ;陶瓷管I外侧面中部设有加热环2 ;陶瓷管I外侧面两端设有测量电极4 ;加热环2外部设有绝缘层3 ;测量电极4的部分外表面和绝缘层3上涂有气敏浆料5。所述绝缘层3的厚度为50nm。所述陶瓷管I连接在底座7上，底座7上设有金属外壳8，金属外壳8顶部设有不锈钢网6，所述不锈钢网6为双层不锈钢网，不锈钢网6的网口大小为100目。
[0021]本实用新型将加热极与测量极置于陶瓷管的同一表面上，提高了器件的整体性和可靠性。通过微电子技术将银浆加热极取代原来加热丝，不但可以精确的测量反应的温度，也因为是直热式，可以降低功耗。而且该器件结构在重复性上远胜于其他的器件结构。
[0022]以上实例的说明只是用于帮助理解本实用新型的核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型的思想，在【具体实施方式】及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。
【主权项】
1.一种新型的半导体气敏器件，包括陶瓷管(I)，其特征在于，所述陶瓷管(I)为圆柱形；陶瓷管⑴底部设有电极引线(9);陶瓷管⑴外侧面中部设有加热环⑵；陶瓷管(I)外侧面两端设有测量电极⑷；加热环⑵外部设有绝缘层⑶；测量电极⑷的部分外表面和绝缘层(3)上涂有气敏浆料(5)。2.如权利要求1所述的新型的半导体气敏器件，其特征在于，所述绝缘层(3)的厚度为50nmo3.如权利要求1所述的新型的半导体气敏器件，其特征在于，所述陶瓷管(I)连接在底座(7)上，底座(7)上设有金属外壳(8)，金属外壳(8)顶部设有不锈钢网(6)，所述不锈钢网(6)为双层不锈钢网，不锈钢网(6)的网口大小为100目。
【专利摘要】本实用新型公开了一种新型的半导体气敏器件，包括陶瓷管，所述陶瓷管为圆柱形；陶瓷管底部设有电极引线；陶瓷管外侧面中部设有加热环；陶瓷管外侧面两端设有测量电极；加热环外部设有绝缘层；测量电极的部分外表面和绝缘层上涂有气敏浆料。本实用新型中的测量部分和加热部分均设在陶瓷管的表面，实现了一体化，具有可靠性高的优点且本实用新型所消耗的功耗比旁热式半导体元件更低。
【IPC分类】G01N27/02
【公开号】CN204832093
【申请号】CN201520400983
【发明人】林金阳, 陈知新, 张国成, 吴忠强, 谢文明, 陈乐
【申请人】福建工程学院
【公开日】2015年12月2日
【申请日】2015年6月11日