等绝缘体形成。绝缘部5b可使用通过在导体部5a的表面实施绝缘涂装而形成的绝缘皮膜。在接触端子5的两端，并不形成绝缘部5b，在接触端子5的一端(前端)形成有第一端部5c，而在接触端子5的另一端(后端)形成有第二端部5d。并且为了方便说明，将第一端部5c与检测点相接触的部位称为前端5e,将第二端部5d与电极相接触的部位称为后端5f。
[0084]第一端部5c的前端5e或第二端部5d的后端5f如图所示可按半球面状形成。
[0085]接触端子5的第一端部5c在检测时被插入支撑在检测侧支撑体2的检测引导孔13内(参考图3)。第一端部5c的前端5e与形成在被检测基板A上的检测点导通接触。并且，被检测基板A是，根据图示省略的位置决定机构，在对于框架40的水平方向的相对位置被位置决定的状态下，对向配置在对向面2a上。
[0086]第一端部5c的长度形成为长于检测引导孔13的长度。其原因是在检测时根据检测点和电极，接触端子5被夹持而弯曲。图3示出了非检测时的检测夹具，接触端子5的第一端部5c容纳在检测引导孔13中，且第一端部5c的前端5e也配置在检测引导孔13内。
[0087]接触端子5的第二端部5d，根据后述的电极侧支撑体3的电极弓I导孔20被弓I导至电极7(接触面7a)(参考图4)。第二端部5d的后端5f与电极7导通接触。
[0088]检测侧支撑体2构成为从配置被检测基板A的侧(前方)起按顺序层叠多个(本形态中3张)支撑板10、11、12。这些支撑板10至12根据螺栓(bolt)等固定设备而互相固定。
[0089]如图3所示，在各支撑板10、11、12分别形成有贯通孔10a、lla、12a。通过使这些贯通孔10a、I la、12a互相连接配置，从而构成插入贯通接触端子5的第一端部5c之一个检测引导孔13。
[0090]支撑板10前方的表面成为用于装载被检测基板A，即对向配置被检测基板A的对向面2a。
[0091]检测引导孔13具有对于被检测基板A的朝向前方的接触端子5的引导方向。具体来讲，检测引导孔13具有与对向面2a相垂直的接触端子5的引导方向。因此，对于被检测基板A的检测点，可从几乎直角方向与接触端子5的前端5e相接触。
[0092]检测引导孔13按检测夹具I具有的接触端子5的数量而形成。
[0093]三个贯通孔10a、lla、12a按同心状形成。在图3中，贯通孔1a由小直径孔1b以及大于小直径孔1b的大直径孔1c构成，贯通孔12a由小直径孔12b以及大于小直径孔12b的大直径孔12c构成。
[0094]小直径孔1b和小直径孔12b的内径略大于导体部5a的外径且略小于绝缘部5b的外径。
[0095]贯通孔Ila的内径大于小直径孔1b的内径和小直径孔12b的内径。
[0096]形成在接触端子5的第一端部5c上的导体部5a与绝缘部5b的边界即前端外缘5g是，如图3所示，相比检测引导孔13的小直径孔12b，配置在后方。
[0097]如上所述,小直径孔12b的内径略小于绝缘部5b的外径。因此,绝缘部5b的前端外缘5g与小直径孔12b的开口外缘12d相接触。即，前端外缘5g和开口外缘12d是用于防止接触端子5向检测对象侧脱漏的脱漏防止部。
[0098]电极侧支撑体3构成为从检测侧支撑体2的前方起按顺序层叠多个(本形态中是3张)支撑板15、16、17。并且，在支撑板17的后方侧的面上设置限制板片9和隔片18以围绕其边缘部附近。这些支撑板15、16、17和限制板片9以及隔片18按上述顺序层叠进而根据螺栓等固定设备互相固定。
[0099]据此，限制板片9被夹持在电极侧支撑体3与隔片18之间，进而固着于电极侧支撑体3。限制板片9的大致中央形成有开口部9a，且为了与开口部9a相对应，隔片18的大致中央形成有开口部18a。
[0100]如图4的(a)或(b)所示，各支撑板15至17分别形成有贯通孔15a、16a、17a。通过使贯通孔15a至17a互相连接而配置，从而构成插入贯通接触端子5的第二端部5d之一个电极引导孔20。该电极引导孔20按检测夹具I具有的接触端子5的数量而形成。
[0101]电极引导孔20按相对检测引导孔13所形成的引导方向(即，对向面2a的垂直方向)倾斜的引导方向形成。即，三个贯通孔15a至17a按各个的中心略微错位的形态而形成，电极引导孔20的整体按相对对向面2a的垂直方向倾斜的方向形成。
[0102]例如，如图4的(a)所示，根据贯通孔15a至17a的顺序，按其中心沿图示右侧方向略微错位的状态，形成三个贯通孔15a至17a。即，引导接触端子5的后端侧的引导方向是，按相对与电极侧支撑体3的表面垂直的法线倾斜的方向进行引导。
[0103]贯通孔15a由小直径孔15b和大于小直径孔15b的大直径孔15c构成。同样地，贯通孔16a由小直径孔16b和大于小直径孔16b的大直径孔16c构成，贯通孔17a由小直径孔17b和大于小直径孔17b的大直径孔17c构成。
[0104]小直径孔15b、16b、17b的内径略微大于绝缘部5b的外径。
[0105]绝缘部5b的后端外缘5b能插入至小直径孔17b的内部。接触端子5相对与电极侧支撑体3的表面垂直的法线倾斜配置。因此，接触端子5，如图4的(b)所示，相对小直径孔17b也倾斜配置。并且，该小直径孔17b按其轴方向相对电极侧支撑体3的表面垂直而形成。
[0106]形成在接触端子5的第二端部5d上的导体部5a和绝缘部5b的边界即后端外缘5h，如图4的(b)中检测时之检测夹具的状态所示，相比电极引导孔20的大直径孔17c，配置在后方。
[0107]此时，后端5f沿与电极侧支撑体3的后方表面相平行的方向能移动的量，被限制为接触端子5在小直径孔17b的内部移动的范围。因此，接触端子5倾斜插入时(由非检测时过渡为检测时或由检测时过渡为非检测时)，可使第二端部5d的后端5f的可移动量变得非常小，从而稳定地与电极相接触。
[0108]据此，当使后述的电极7的接触面7a与后端5f相接触时，能进行接触面7a与后端5f的精密位置决定。尤其在实际的检测中，由于接触端子5和电极7通常设置为数千个，因此接触面7a与后端5f之位置决定的容易操作，对工作时间的缩短带来很大的贡献。
[0109]电极体6，如图1所示，按大致长方体的形状而形成，且后端面固定在基台41的前方表面。在电极体6的前方面侧埋设有多个电极7。如上所述，各电极7根据图示省略的缆线，能与检测装置相接触。
[0110]电极7前方的表面是，如图4所示，接触端子5的后端5f所接触的接触面7a。并且，接触端子5的后端5f是如上所述以曲面形状形成。因此，即使沿着具有倾斜引导方向的电极引导孔20，接触端子5的第二端部5d倾斜，后端5f与接触面7a也可成为适当的导电接触状态。
[0111]并且，在内部空间S内，基台41设置有朝向前方而加压电极侧支撑体3的加压部14。具体来讲，如图2所示，在基台41之与电极侧支撑体3和隔片18的四个角的各个附近相对应的位置设置有加压部14。
[0112]加压部14包括:从电极体6的前方表面突出而与电极侧支撑体3相接触的接触部件43 ;容纳接触部件43的后端侧的导孔44 ;以及相对导孔44向前加压接触部件43的压缩螺旋弹簧(coil spring) 45 (参考图1)。
[0113]导孔44形成为在基台41其前方侧开口且具有底面的圆筒形状。接触部件43形成为将对于长轴方向垂直的平面作为端面的圆柱体形状。因此，接触部件43的前方侧与隔片18的后方表面相接触。
[0114]在导孔44的接触部件43的后端侧配置压缩螺旋弹簧45。具体来讲，以压缩螺旋弹簧45的各个端部分别与接触部件43的后端面和导孔44的底面相接触的状态，在导孔44内配置压缩螺旋弹簧45。并且，加压部14并不限定于压缩螺旋弹簧45，根据板弹簧或橡胶等弹性部件产生加压力也无妨。
[0115]如上所述，在本形态中，加压部14设置在基台41，朝向前方加压电极侧支撑体3。SP，加压部14使电极侧支撑体3远离电极体6，沿朝向被检测基板A的方向加压。
[0116]据此，非检测时，在压缩螺旋弹簧45略微弯曲的状态下，接触部件43与隔片18的后方表面相接触，且电极侧支撑体3的前方表面与限制板47相接触。S卩，支撑块100处于在电极侧支撑体3远离电极体6，进而根据加压部14被加压的状态下，与限制板47相接触的等待状态(参考图1)。
[0117]并且，在等待状态下，在电极侧支撑体3和电极体6之间略微形成有间隔。
[0118]在等待状态下，检测侧支撑体2、电极侧支撑体3和连接部件4沿