前方被加压，且接触端子5的前端5e不从对向面2a突出(参考图1)。即，在此状态下，接触端子5的前端5e容纳在检测引导孔13内。
[0119]支撑块100可以抵抗加压部14的加压力进而从等待状态向后方变位而成为检测状态(图7)。关于检测状态，将在后面进行说明。
[0120]图5是示出图1所示的限制板片9结构的一个示例的平面图。限制板片9由具有可挠性的板状部件构成。例如，限制板片9由厚度为0.2mm左右的不锈钢(SUS304CSP)等构成。限制板片9以与壁部42几乎对应的形状形成，在图5所示的示例中，大致为正方形。在限制板片9的大致中央部形成有与隔片18的开口部18a相对应形状的开口部9a。
[0121]并且，在限制板片9形成有大致L字型的L型狭缝(slit)Ll、L2、L3、L4。L型狭缝L1、L2、L3、L4的狭缝宽度例如为Imm左右。并且，在限制板片9形成有对于电极侧支撑体3或隔片18进行位置决定或设置的孔。限制板片9并不限定于根据隔片18而设置在电极侧支撑体3的示例。
[0122]图6是用于说明图5所示的限制板片9固着在壁部42 (框架40)和电极侧支撑体3(隔片18)上状态的说明图。区域B示出了限制板片9在前方壁块42a与后方壁块42b之间被夹持的区域，即限制板片9固着在框架40的区域。区域B的外周与壁部42的外周相对应，区域B的内周与框架40的壁面421相对应。并且，区域B的内周也可与底面422a相对应。
[0123]区域C示出了限制板片9在电极侧支撑体3与隔片18之间被夹持的区域，即限制板片9固着在电极侧支撑体3的区域。区域C的外周与电极侧支撑体3的外周相对应，区域C的内周与开口部9a以及开口部18a相对应。
[0124]如此，限制板片9的中央部侧与电极侧支撑体3相固着，限制板片9的周边部侧与框架40相固着。
[0125]如图6所示，电极侧支撑体3的与对向面2a相平行的剖面形状大致为矩形，电极侧支撑体3包括第一边Hl、第二边H2、第三边H3和第四边H4。第一边Hl和第二边H2是与从电极侧支撑体3 (支撑块100)朝向壁面421(框架40)的延伸设置方向D相交叉(大致垂直)且沿与对向面2a平行的第一方向Dl延伸的边。第三边H3和第四边H4是与对向面2a平行且沿与第一方向Dl交叉(大致垂直)的第二方向D2延伸的边。
[0126]限制板片9是，在壁面421 (框架40)与第一边Hl之间的空间内并排设置沿第一方向Dl延伸的两个第一狭缝Sll和S12，在壁面421 (框架40)与第二边H2之间的空间内并排设置沿第一方向Dl延伸的两个第一狭缝S13和S14，在壁面421 (框架40)与第三边H3之间的空间内并排设置沿第二方向D2延伸的两个第二狭缝S21和S22，且在壁面421 (框架40)与第四边H4之间的空间内并排设置沿第二方向D2延伸的两个第二狭缝S23和S24。
[0127]并且，第一狭缝Sll与第二狭缝S21连通进而形成L型狭缝LI，第二狭缝S22与第一狭缝S14连通进而形成L型狭缝L2，第一狭缝S13与第二狭缝S23连通进而形成L型狭缝L3，且第二狭缝S24与第一狭缝S12连通进而形成L型狭缝L4。
[0128]并且，L型狭缝L1、L2、L3、L4，在并排设置的两个狭缝中，对于框架40侧的第一、第二狭缝与电极侧支撑体3侧的第一、第二狭缝可部分或全部替换其相连通的组合。
[0129]如此，限制板片9在内部空间S内形成沿第一方向Dl延伸的第一狭缝Sll、S12、S13、S14以及沿第二方向D2延伸的第二狭缝S21、S22、S23、S24。
[0130]并且，如图5所示，限制板片9的第一狭缝Sll和S12的附近构成第一限制部件Kll,限制板片9的第一狭缝S13和S14的附近构成第一限制部件K12，第二狭缝S21和S22的附近构成第二限制部件K21，且第二狭缝S23和S24的附近构成第二限制部件K22。
[0131]当支撑块100为等待状态时(图1)，支撑块100根据加压部14的加压力向前方移动，因此限制板片9的区域C与支撑块100 —起向前方移动。此时，第一限制部件Kll和K12以及第二限制部件K21和K22，根据第一狭缝Sll、S12、S13、S14和第二狭缝S21、S22、S23、S24，相对与各狭缝垂直的方向能伸缩变形。
[0132]其结果是，限制板片9的区域B固着于框架40，与区域C相固着的支撑块100向前方移动，进而能处于等待状态。
[0133]另外，板状的部件对于与其平面相平行的方向刚性高。因此，由板状的部件构成的第一限制部件Kll和K12，对于沿第一狭缝Sll、S12、S13、S14的第一方向Dl的变形受限制。并且，由板状的部件构成的第二限制部件K21和K22，对于沿第二狭缝S21、S22、S23、S24的第二方向D2的变形受限制。
[0134]因此，检测夹具I是，当支撑块100处于等待状态时，根据限制板片9 (第一限制部件Kll和K12、第二限制部件K21和K22)来限制支撑块100的水平方向位置错位即检测侧支撑体2的水平方向位置错位。其结果是，降低对于被检测基板A之检测侧支撑体2相对位置的位置错位，因此可以提高与被检测基板A相接触的接触端子5的位置决定精密度。
[0135]图7是示出图1所示的支撑块100为检测状态的概略剖视图。被检测基板A对向配置在对向面2a上，例如若根据检测装置向后方加压，则如图7所示，抵抗加压部14的加压力，进而支撑块100 (检测侧支撑体2、电极侧支撑体3和连接部件4)朝向电极体6相对移动。此时，电极侧支撑体3的前方表面为从限制板47隔离的状态。
[0136]那么，接触端子5的后端5f则根据电极7朝向前方被推压。若如此，接触端子5的前端5e就将会从对向面2a中突出。在图7中，为了易于说明，示出了接触端子5的前端5e从对向面2a突出的状态。若接触端子5的前端5e从对向面2a突出，则前端5e与被检测基板A的检测点相接触，从而前端5e受制止，因此在检测侧支撑体2与电极侧支撑体3之间处于倾斜状态的接触端子5的中间部分弯曲(屈曲)。
[0137]直至电极侧支撑体3的后方表面与电极体6的前方表面相接触为止，若支撑块100对于框架40相对移动，则支撑块100成为检测状态(图7)。并且，若接触端子5的中间部分的弯曲量达到所定量，则容纳于检测引导孔13内的接触端子5的前端5e，对于检测点以所定的接触压所接触。
[0138]如此，在检测状态下，随着支撑块100向后方的移动，欲从对向面2a突出的接触端子5，与被检测基板的A相接触，进而接触端子5的中央部分弯曲，由此前端5e在检测引导孔13内被引导至检测位置，且根据接触端子5的弹性力，前端5e与检测点弹性接触。
[0139]并且，当从等待状态变位为检测状态时，限制板片9 (第一限制部件Kll和K12、第二限制部件K21和K22)是，第一狭缝Sll、S12、S13、S14以及第二狭缝S21、S22、S23、S24变窄而收缩变形，从而并不妨碍支撑块100向后方移动。
[0140]另外，当从等待状态变位为检测状态时，限制板片9 (第一限制部件Kll和K12、第二限制部件K21和K22)对于第一方向Dl和第二方向D2的变形受限制。因此，检测夹具I是，当支撑块100从等待状态变位为检测状态时，根据限制板片9 (第一限制部件Kll和K12、第二限制部件K21和K22)来限制支撑块100的水平方向的位置错位即检测侧支撑体2的水平方向位置错位。其结果是，降低对于被检测基板A之检测侧支撑体2相对位置的位置错位，因此能提高与被检测基板A相接触的接触端子5的位置决定精密度。
[0141]并且，当为检测状态时，为了使限制板片9变平坦，设定限制板片9之对于框架40和检测侧支撑体2的设置位置(图7)。据此，当使接触端子5与被检测基板A相接触而进行检测时，限制板片9处于平坦即没有变形的状态。对于限制板片9而言，相比其变形的状态，在没有变形的状态下歪曲更小，因此支撑块100的水平方向的位置决定精密度高。由此当为检测状态时，限制板片9变平坦，从而能更进一步提高检测时的位置决定精密度。
[0142]图8至图11是示出用于确认限制板片9效果的实验结果的说明图。图8是示出当使用图1所示的检测夹具I重复被检测基板A相对于检测侧支撑体2 (对向面2a)的脱附(加压)时，对于形成在被检测基板A的衬垫(pad)(检测点)，接触端子5的前端5e接触所产生之打痕的说明图。
[0143]图8的(a)示出第一次在对向面2a加压被检测基板A后的结果，图8的(b)示出第二次在对向面2a加压被检测基板A后的结果，图8的(C)示出第三次在对向面2a加压被检测基板A后的结果，图8的(d