)示出第四次在对向面2a加压被检测基板A后的结果。
[0144]在图8中，衬垫P表示被检测基板A的检测点，打痕M表示前端5e与衬垫P相接触而产生的打痕，测定圆T是为了评价打痕M的位置而围绕打痕M的测定圆。从图8中可确认出:根据检测夹具1，打痕M的位置错位几乎不存在因脱附次数而引起的变化，且接触端子5相对检测点的接触位置的变动小，因此与基板相接触的接触端子5的位置决定精密度高。
[0145]图9是示出对被检测基板A的九处衬垫P测定脱附次数为一至四次时的错位量(从衬垫P的中心至测定圆T的中心的距离)之测定结构的图表。横轴表示被检测基板A的脱附次数，纵轴表示错位量(μπι)。
[0146]根据图9，基于检测夹具I的打痕M的位置错位量最大为9.34 μ mo
[0147]图10和图11示出从检测夹具I中去除限制板片9后，进行与图8和图9相同实验的实验结果。根据图10和图11，相比图8和图9，打痕M的位置错位明显大。并且根据图11，打痕M的位置错位最大为21.17μπι，产生了基于使用限制板片9的检测夹具I之位置错位量两倍以上的位置错位。
[0148]据此，可实验性确认出根据具有限制板片9的检测夹具1，能提高与被检测基板A相接触的接触端子5的位置决定精密度。
[0149]并且，虽然示出了检测状态时限制板片9为平坦的构成，但限制板片9也可在等待状态时平坦，或者也可为无论是检测状态还是等待状态，限制板片9发生变形的构成。
[0150]并且，虽然示出了第一狭缝和第二狭缝连通而形成L型狭缝的构成，但第一狭缝和第二狭缝也可分离，并不一定局限于构成L型狭缝的示例。但优选地，通过形成L型狭缝，限制板片9能更容易地进行前后方向(上下方向)的伸缩。
[0151]并且，虽然示出了第一限制部件Kll和K12以及第二限制部件K21和K22以一张限制板片9而构成的示例，但第一限制部件Kll和K12以及第二限制部件K21和K22也可以各自独立的板状部件构成。并且，第一限制部件和第二限制部件可分别为一个，也可为三个以上。
[0152]并且，虽然示出了在第一限制部件和第二限制部件中分别并排设置两个狭缝的示例，但形成在第一限制部件和第二限制部件的狭缝数量也可分别为一个，也可为三个以上。但优选地，形成在第一限制部件和第二限制部件的狭缝数量分别为多个时第一限制部件和第二限制部件能容易地进行伸缩。
[0153]并且，第一限制部件和第二限制部件只要具有伸缩性的同时，能限制与伸缩方向交叉之方向的变形即可，并不一定局限于在板状的部件形成狭缝的构成。
[0154]并且，也可不包括第二限制部件。由于只通过第一限制部件也能限制第一方向Dl的位置错位，因此能提高与被检测基板A相接触的接触端子5的位置决定精密度。但优选地，通过包括第一限制部件和第二限制部件，可限制第一方向Dl和第二方向D2的位置错位。
[0155]并且，支撑块100并不一定局限于包括检测侧支撑体2、电极侧支撑体3和连接部件4的示例。例如，也可以是电极侧支撑体3的前方表面用作为对向面2a的构成。
【主权项】
1.一种检测夹具，用于电连接成为检测对象之被检测基板上设置的检测点与检测所述被检测基板的检测装置，所述检测夹具包括: 框架； 电极体，具有与所述检测装置电连接的电极； 导电性的接触端子，具有导线形状； 支撑块，具有对向配置所述被检测基板的对向面，将所述接触端子的一端引导至载置于所述对向面的所述被检测基板的所述检测点，将所述接触端子的另一端引导至所述电极，且沿与所述对向面交叉的移动方向，对于所述框架能相对移动； 加压部，使所述支撑块远离所述电极体，且沿朝向所述被检测基板的方向进行加压；和第一限制部件，从所述支撑块沿朝向所述框架的延伸设置方向而延伸，进而架设在所述支撑块与所述框架之间，具有伸缩性的同时，与所述对向面平行且与所述延伸设置方向交叉的第一方向的变形受限制。
2.如权利要求1所述的检测夹具，其中，所述第一限制部件是具有可挠性且形成有沿所述第一方向延伸的第一狭缝的板状部件。
3.如权利要求2所述的检测夹具，其中，在所述第一限制部件形成有多个所述第一狭缝。
4.如权利要求1至3中任意一项所述的检测夹具，其中还包括第二限制部件，在所述支撑块与所述框架之间沿所述第一方向延伸而架设，具有伸缩性的同时，与所述对向面平行且与所述第一方向交叉的第二方向的变形受限制。
5.如权利要求4所述的检测夹具，其中，所述第二限制部件是具有可挠性且形成有沿所述第二方向延伸的第二狭缝的板状部件。
6.如权利要求5所述的检测夹具，其中，在所述第二限制部件形成有多个所述第二狭缝。
7.如权利要求1至3中任意一项所述的检测夹具，其中，还包括第二限制部件，在所述支撑块与所述框架之间沿所述第一方向延伸而架设，具有伸缩性的同时，与所述对向面平行且与所述第一方向交叉的第二方向的变形受限制， 所述支撑块配置为在与所述对向面平行的平面上，被所述框架围绕，在所述支撑块的边缘部与所述框架之间具有间隔， 所述第一限制部件和所述第二限制部件是，与所述对向面大致平行配置，且形成有能贯通所述接触端子的开口部，由具有可挠性的板状限制板片构成； 所述限制板片的中央部侧与所述支撑块相固着，所述限制板片的周边部侧与所述框架相固着； 在所述限制板片，于所述边缘部与所述框架之间的空间内，形成有沿所述第一方向延伸的第一狭缝，以及沿与所述第一方向交叉的方向延伸的第二狭缝； 所述限制板片中的所述第一狭缝附近是所述第一限制部件，所述限制板片中的所述第二狭缝附近是所述第二限制部件。
8.如权利要求7所述的检测夹具，其中， 所述支撑块是，与所述对向面平行的剖面的形状大致为矩形，具有沿所述第一方向延伸的第一边和第二边，以及沿所述第二方向延伸的第三边和第四边； 在所述限制板片，于所述框架与所述第一边之间的空间内，并排设置两个所述第一狭缝，于所述框架与所述第二边之间的空间内，并排设置两个所述第一狭缝，于所述框架与所述第三边之间的空间内，并排设置两个所述第二狭缝，于所述框架与所述第四边之间的空间内，并排设置两个所述第二狭缝； 所述框架与所述第一边之间的所述两个第一狭缝中的一个和所述框架与所述第三边之间的所述两个第二狭缝中的一个相连通而形成大致L字型的狭缝，所述框架与所述第三边之间的另一个所述第二狭缝和所述框架与所述第二边之间的所述两个第一狭缝中的一个相连通而形成大致L字型的狭缝，所述框架与所述第二边之间的另一个所述第一狭缝和所述框架与所述第四边之间的所述两个第二狭缝中的一个相连通而形成大致L字型的狭缝，所述框架与所述第四边之间的另一个所述第二狭缝和所述框架与所述第一边之间的另一个所述第一狭缝相连通而形成大致L字型的狭缝。
9.如权利要求7所述的检测夹具，其中， 所述支撑块能处于， 根据所述加压部的加压力，所述支撑块从所述电极体远离的等待状态，以及 抵抗所述加压部的加压力进而从所述等待状态沿所述移动方向变位的检测状态， 当所述支撑块为所述检测状态时，所述限制板片变平坦。
10.如权利要求1至3中任意一项所述的检测夹具，其种， 所述支撑块包括: 检测侧支撑体，具有对向配置所述被检测基板的对向面，形成有检测引导孔，所述检测引导孔用于插入贯通所述接触端子，进而将所述接触端子的一端弓I导至在所述对向面上载置的所述被检测基板的所述检测点； 电极侧支撑体，形成有电极引导孔，所述电极引导孔用于贯通插入所述接触端子，进而将所述接触端子的另一端引导至所述电极；以及 连接部件，将所述检测侧支撑体和所述电极侧支撑体以所定的间隔进行配置而保持。
【专利摘要】本发明提供能提高与基板相接触的接触端子的位置决定精密度的检测夹具。检测夹具包括：框架；电极体，具有电极；导电性接触端子，具有导线形状；支撑块，具有对向配置被检测基板的对向面，将接触端子的一端引导至在对向面上载置的被检测基板的检测点，另一端引导至电极，且沿与对向面交叉的移动方向，对于框架能相对移动；加压部，使支撑块远离电极体，且沿朝向被检测基板的方向进行加压；限制板片，从支撑块沿朝向框架的延伸设置方向延伸，架设在支撑块与框架之间，具有伸缩性，与对向面平行且与延伸设置方向交叉的第一方向的变形受限制。
【IPC分类】G01R1-04
【公开号】CN104634999
【申请号】CN201410610447
【发明人】太田宪宏, 时政光伸, 广部幸祐, 津村耕平
【申请人】日本电产理德股份有限公司
【公开日】2015年5月20日
【申请日】2014年11月3日
【公告号】EP2871483A1, US20150123693