一种评价膜层附着力变化的设备和方法_3

文档序号:8359619阅读:来源:国知局
优选地,如图1所示,上固定机构11包括上真空吸附盘,下固定机构12包括下真空吸附盘,上固定机构11通过真空吸附的方式与第二基板32相吸附,下固定机构12通过真空吸附的方式与第一基板31上未设置膜层33的一侧相吸附。
[0087]优选地,如图2所示,所述设备还包括分割机台,在分割膜层33的步骤中,利用压力控制器23控制刀头22以恒定的压力将第一基板31上的膜层33分割成多个单元,如图3a-图3b所示。
[0088]本发明中的施力装置包括下拉机构13,下拉机构13设置在下固定机构12下方,以对下固定机构12施加预定值的拉力。图4a-图4b是下拉机构13对膜层施加拉力的示意图,施加拉力结束后,通过统计膜层分离单元331的数量来评价膜层附着力随时间或拉力的变化情况。
[0089]进一步地,所述得到膜层分离单元数与变量的关系的步骤包括:
[0090]建立坐标系,坐标系的横轴X为变量,纵轴y为膜层分离单元数,在坐标系中绘制出坐标值为(xN,yN)的多个点,N为正整数;
[0091]根据上述坐标值,拟合获取膜层分离单元数与变量的方程式:y = klX+Ci,其中,Ic1为斜率,(^为常数。
[0092]在本发明中,拟合的方法包括线性回归法、最小二乘法等。
[0093]进一步地,所述方法还包括:
[0094]取第二测试样品,所述第二测试样品也包括第一基板和设置在所述第一基板上的膜层;
[0095]将所述膜层分割成多个单元;
[0096]将膜层被切割后的第二测试样品放置在信赖性测试条件中预定时间;
[0097]将所述第一基板上设置有所述膜层的一侧与第二基板相贴附;
[0098]将所述第二基板可拆卸地固定在所述上固定机构上,将所述第一基板上未设置所述膜层的一侧可拆卸地固定在所述下固定机构上;
[0099]所述施力装置向所述上固定机构和/或所述下固定机构施加预定值的外力,以使得所述上固定机构和所述下固定机构之间产生互相远离的相对移动;
[0100]以外力和时间中的一者为变量,另一者为定量,然后统计在变量处于不同值的条件下的膜层分离单元数,得到信赖性测试条件下膜层分离单元数与变量的方程式:y =k2x+C2,其中,k2为斜率,C2为常数;
[0101]根据公式Λ = [0^2-10/\]*100%,计算环境变化前后膜层附着力变化的快慢情况,当△小于等于预定百分比时,判定样品没有信赖性风险。
[0102]在本发明中,所述信赖性测试条件通常是指较恶劣的环境,例如:包括温度大于120°C、湿度大于95%、以及气压大于0.1MPa中的任意一项或多项,所述预定时间大于12小时。
[0103]具体地,作为本发明的第一种实施方式,以时间为定量,以拉力为变量,统计不同拉力条件下的膜层分离单元数,得到膜层分离单元数与拉力的关系。
[0104]首先,刀头22不带压力下降直至接触膜层33,此时通过压力控制器23增加刀头22的压力至设定值,然后刀头22开始沿横向和纵向切割膜层33,最终将膜层33分割为多个单元,如图3b所示。
[0105]然后,通过定时计时器14将下拉时间设置为定值,通过增加不同重量的砝码131,形成不同的拉力,当下拉时间达到设定值时,上真空吸附盘和下真空吸附盘停止作用,此时膜层33中的部分单元将出现与第一基板31分离的现象,如图4b所示。
[0106]之后,通过统计膜层分离单元331的数量,得到膜层分离单元数与拉力的关系,具体步骤包括:
[0107]建立坐标系,坐标系的横轴X为拉力(N),纵轴y为膜层分离单元数,在坐标轴中绘制出坐标为(XN,yN)的多个点,N为正整数;
[0108]根据上述坐标值,拟合获得膜层分离单元数与拉力的方程式:y = kp+Ci,其中,Ii1为斜率,C1S常数。例如在图5中,拟合出的1^为0.8,C1S 1.2。此曲线图能有效评价膜层附着力随外力的变化情况,有助于完善对膜层材料的评价和分析工艺变更对膜层附着力的影响。
[0109]之后,所述方法还包括:
[0110]另取一个样品,该样品也包括第一基板31和设置在第一基板31上的膜层33,对膜层33进行分割处理,然后将处理后的样品放置在信赖性测试条件中预定时间后,重复上述步骤,得到信赖性测试条件下膜层分离单元数与拉力的方程式= k2x+C2,其中,k2为斜率,(:2为常数。例如在图6中,拟合出的k2S 1.2,(:2为1.2。
[0111]如上所述,信赖性测试条件指较恶劣的环境,例如:包括温度大于120°C、湿度大于95%、以及气压大于0.1MPa中的任意一项或多项,所述预定时间大于12小时。
[0112]最后,进行产品信赖性风险评价。当客户产品对外力较为敏感时,可通过计算相同时间,不同拉力条件下环境变化前后匕和1^的变化。根据公式Λ = [(k ^k1) A1] *100%,计算环境变化前后膜层附着力变化的快慢情况,当△小于等于预定百分比时,产品没有信赖性风险;反之,则有较大的信赖性风险。
[0113]作为本发明的第二种实施方式,以拉力为定量,以时间为变量,统计不同时间条件下的膜层分离单元数,得到膜层分离单元数与时间的关系。
[0114]首先,刀头22不带压力下降直至接触膜层33,此时通过压力控制器23增加刀头22的压力至设定值,然后刀头22开始沿横向和纵向切割膜层33,最终将膜层33分割为多个尺寸相等的单元,如图3b所示。
[0115]然后,固定下拉砝码131的重量,通过定时计时器14设定不同的下拉时间,当施加拉力到达某一下拉时间时,上真空吸附盘和下真空吸附盘停止作用,此时膜层33中的部分单元将出现与第一基板31分离的现象,如图4b所示。
[0116]反复测试多个下拉时间,通过统计膜层分离单元331的数量,得到膜层分离单元数与时间的关系,具体步骤包括:
[0117]建立坐标系,坐标系的横轴X为时间(S),纵轴y为膜层分离单元数,在坐标轴中绘制出坐标为(XN,yN)的多个点,N为正整数;
[0118]根据上述坐标值,拟合获得膜层分离单元数与时间的方程式:y = k/ x+C/,其中,k/为斜率,C/为常数。例如在图7中,拟合出的k/为0.9,C/为1.9。此曲线图能有效评价膜层附着力随时间的变化情况,有助于完善对膜层材料的评价和分析工艺变更对膜层附着力的影响。
[0119]之后,所述方法还包括:
[0120]另取一个样品,该样品也包括第一基板31和设置在第一基板31上的膜层33,对膜层33进行分割处理,然后将处理后的样品放置在信赖性测试条件中预定时间后,重复上述步骤,得到信赖性测试条件下膜层分离单元数与时间的方程式= k2’x+C2’,其中,k2’为斜率,C;为常数。例如在图8中,拟合出的k2’为1.3,C;为1.9。
[0121]如上所述,信赖性测试条件指较恶劣的环境,例如:包括温度大于120°C、湿度大于95%、以及气压大于0.1MPa中的任意一项或多项,所述预定时间大于12小时。
[0122]最后,进行产品信赖性风险评价。当客户产品对时间较为敏感时,可通过计算相同拉力,不同时间条件下环境变化前后k/和k2’的变化。根据公式Λ’ = [(k2’_k/)/k/]*100%,计算环境变化前后膜层附着力变化的快慢情况,当△’小于等于预定百分比时,产品没有信赖性风险;反之,则有较大的信赖性风险。
[0123]作为本发明的第三种实施方式,同时完成第一种实施方式和第二种实施方式中的各个步骤,同时评价△和△’,评价环境变化前后,膜层附着力的变化情况,当△和△’分别满足小于等于某一预设百分比时,产品的信赖性风险降为最低。
[0124]与现有技术相比,本发明提供的方法具有以下有益效果:
[0125]采用样品单品(如:彩膜基板)进行评价,减少了对资材的浪费,并且能够更早预知广品品质风险;
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