闪烁器面板和放射线检测器的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明的一个侧面涉及闪烁器面板和放射线检测器。
【背景技术】
[0002]作为上述技术领域的现有技术，例如已知有专利文献I所记载的放射线检测元件。专利文献I所记载的放射线检测元件包括:玻璃基板；设置在玻璃基板上且包括多个光电转换元件的光传感器部；设置在光传感器部上的平坦化膜；和设置在平坦化膜上的多个闪烁器部。特别是在该放射线检测元件，在平坦化膜，形成有与光电转换元件分别对应的多个凸部，闪烁器部的各个以相互接触并被划分开的方式在该凸部的上表面上形成。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1:日本特开2001-128064号公报
【发明内容】
[0006]发明所要解决的问题
[0007]在专利文献I所记载的放射线检测元件中，如上所述，在基板和光传感器部之上的平坦化膜形成凸部，并且以相互被划分的方式在该凸部的上表面上形成闪烁器部，由此，与在基板和光传感器部的整个面形成闪烁器部的情况相比较，能够实现起因于在闪烁器部的串扰的MTF的降低的抑制等。
[0008]但是，当如专利文献I所记载的放射线检测元件那样，在平坦化膜的凸部的上表面上形成闪烁器部时，与在基板和光传感器部的整个面(即平坦化膜的整个面)形成闪烁器部的情况相比较，存在闪烁器部的紧贴性降低、可靠性降低的担忧。
[0009]本发明的一个侧面是有鉴于那样的情况而完成的发明，其目的在于提供能够抑制可靠性的降低的闪烁器面板和放射线检测器。
[0010]解决问题的技术手段
[0011]为了解决上述问题，本发明的一个侧面所涉及的闪烁器面板是用于将放射线转换为闪烁光的闪烁器面板，包括:基板，其具有表面和背面，并且形成有在从背面朝向表面的规定的方向上从表面突出的多个凸部和由凸部规定的凹部；在基板的凸部的各个上形成的多个第一闪烁器部；和在基板的凹部的底面上形成的第二闪烁器部，第一闪烁器部具有从凸部的上表面沿规定的方向延伸的第一部分和从凸部的侧面沿规定的方向延伸且与第一部分接触的第二部分，第一和第二部分由闪烁器材料的多个柱状晶体构成，第一闪烁器部彼此相互分尚，第二闪烁器部与第二部分接触。
[0012]该闪烁器面板包括在基板的多个凸部上形成的第一闪烁器部和在由基板的凸部规定的凹部的底面上形成的第二闪烁器部。特别是第一闪烁器部不仅包括从凸部的上表面延伸的第一部分而且包括从凸部的侧面延伸且与第一部分接触的第二部分。因此，第一闪烁器部整体与基板的接触面积变大，紧贴性提高。再有，第二部分与在凹部的底面形成的第二闪烁器部接触。因此，构成第二部分的多个柱状晶体从凹部的底面侧被第二闪烁器部支承，因此能够防止它们的脱落。由此，根据该闪烁器面板，能够抑制可靠性的降低。另外，第一闪烁器部不仅具有第一部分而且还具有从凸部的侧面延伸的第二部分，因此，在放射线沿凸部的突出方向(从基板的背面朝向表面的规定的方向)入射的情况下，能够扩大有效区域。
[0013]在本发明的一个侧面所涉及的闪烁器面板中，能够为如下方式:第一部分由从凸部的上表面沿规定的方向进行晶体生长而形成的多个柱状晶体构成，第二部分由从凸部的侧面沿与规定的方向交叉的方向进行晶体生长而形成的多个柱状晶体构成。在这种情况下，在放射线沿上述规定的方向入射的情况下，能够更加扩大有效区域。
[0014]在本发明的一个侧面所涉及的闪烁器面板中，能够为如下方式:构成第一部分的柱状晶体的柱径随着从凸部的上表面离开而扩大，构成第二部分的柱状晶体的柱径随着从凸部的侧面离开而扩大，构成第二部分的柱状晶体的柱径的扩大率比构成第一部分的柱状晶体的柱径的扩大率大。在这种情况下，构成从凸部的侧面延伸的第二部分的柱状晶体的柱径相对较大，因此有效区域变大，并且放射线吸收变高。
[0015]在本发明的一个侧面所涉及的闪烁器面板中，能够为如下方式:凸部的高度比柱状晶体的柱径大。在这种情况下，能够可靠地由多个柱状晶体构成第二部分。此外，能够可靠地将第一闪烁器部彼此分离地形成。
[0016]在本发明的一个侧面所涉及的闪烁器面板中，能够为如下方式:还包括以覆盖第一和第二闪烁器部的方式形成的保护膜。在这种情况下，第一和第二闪烁器部的耐湿性得到提尚。
[0017]本发明的一个侧面所涉及的闪烁器面板能够为如下方式:还包括光遮蔽层，该光遮蔽层在第一闪烁器部彼此之间形成且用于遮蔽闪烁光。在这种情况下，能够将在各个第一闪烁器部产生的闪烁光封入，因此能够实现高亮度、高清晰度。
[0018]此处，为了解决上述问题，本发明的一个侧面所涉及的放射线检测器包括上述的闪烁器面板，基板是具有以与第一闪烁器部光学结合的方式排列的多个光电转换元件的传感器面板。该放射线检测器因为具备上述的闪烁器面板，所以能够抑制可靠性的降低。特别是基板为包括光电转换元件的传感器面板，因此能够在该光电转换元件上直接形成凸部，在该凸部之上形成闪烁器部。因此，不需要将另外准备的闪烁器面板和传感器面板贴合。
[0019]在本发明的一个侧面所涉及的放射线检测器中，能够为如下方式:基板的凸部相对于闪烁光具有透过性。在这种情况下，能够通过凸部使来自第一闪烁器部的闪烁光有效率地到达光电转换件。
[0020]发明的效果
[0021]根据本发明的一个侧面，能够提供能够抑制可靠性的降低的、具有分离型闪烁器部的闪烁器面板和具有分离型闪烁器部的放射线检测器。
【附图说明】
[0022]图1是第一实施方式所涉及的闪烁器面板的侧面图。
[0023]图2是图1所示的闪烁器面板的部分平面图。
[0024]图3是图1所示的闪烁器面板的部分侧面图。
[0025]图4是表示图1所示的闪烁器面板的一个例子的截面照片。
[0026]图5是第二实施方式所涉及的闪烁器面板的侧面图。
[0027]图6是第三实施方式所涉及的闪烁器面板的侧面图。
[0028]图7是图6所示的闪烁器面板的部分平面图。
[0029]图8是第四实施方式所涉及的闪烁器面板的侧面图。
【具体实施方式】
[0030]以下，参照附图，对一个实施方式所涉及的闪烁器面板进行详细的说明。另外，在各图中，对相同或相当部分标注相同符号，省略重复的说明。以下的实施方式所涉及的闪烁器面板是用于将入射的X射线等的放射线R转换为可见光等的闪烁光的闪烁器面板，例如能够在乳房X射线照相装置、胸部检查装置、CT装置、齿科口内摄影装置和放射线照相机等中作为放射线成像用的装置来使用。
[0031][第一实施方式]
[0032]首先，对第一实施方式所涉及的闪烁器面板进行说明。图1是第一实施方式所涉及的闪烁器面板的侧面图。图2是图1所示的闪烁器面板的部分平面图。图3是图1所示的闪烁器面板的部分侧面图。如图1?3所示，闪烁器面板I具备矩形的基板10。
[0033]基板10具有彼此相对的表面1a和背面10b。基板10具有在表面1a形成的凹凸图案Pa。作为基板10的材料，例如能够使用Al或SUS (不锈钢)等的金属、聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙二醇酯或聚萘二甲酸乙二醇酯等的树脂薄膜、无定形碳或碳纤维强化塑料等的碳类材料、FOP(光纤面板:将直径为几微米的大量光纤捆束而得到的光学装置(例如浜松光电子公司制J5734)等。作为凹凸图案Pa的材料，例如能够使用环氧类树脂(日本化药(株式会社)制KMPR和SU-8等)那样的高深宽比抗蚀剂、硅和玻璃等。特别是构成凹凸图案Pa的凸部的材料能够为对于在下述的闪烁器部20产生的闪烁光具有透过性的材料，在这种情况下，能够在基板10的背面1b侧将闪烁器面板I与具有光电转换元件的传感器面板贴合而构成放射线检测器。
[0034]凹凸图案Pa由多个凸部11、以及由凸部11规定的凹部12形成。即，在基板10形成有多个凸部11和凹部12。各个凸部11沿从基板10的背面1b朝向表面1a的规定的方向(此处，放射线R的入射方向和与基板10的表面1a及背面1b正交的方向)从表面1a突出。各个凸部11被形成为长方体状。凸部11在基板10的表面1a上呈二维矩阵状地周期性地排列。因此，由凸部11规定的凹部12是在平面视时呈矩形的格子状的槽。
[0035]这样的凹凸图案Pa的各尺寸，在令凸部11的间距(凸部11的形成周期)P为100 μ m左右的情况下能够令凹部12的宽度(槽宽度)W为35 μ m左右，在令凸部11的间距P为127 μ m左右的情况下