抗调节单元与第二可变阻抗调节单元的相应公共端，第三可变阻抗调节单元的另一端接地。
[0090]在本实施例中，第一可变阻抗调节单元由可变电容器17与电感18串联组成，可变电容器17的动片与驱动装置电连接，驱动装置通过控制可变电容器17调节第一可变阻抗调节单元的阻抗值。第二可变阻抗调节单元由可变电容器12与电感16串联组成，可变电容器12的动片与驱动装置电连接，驱动装置通过控制可变电容器12调节第一可变阻抗调节单元的阻抗值。第三可变阻抗调节单元由可变电容器19与电感20串联组成，可变电容器19的动片与驱动装置电连接，驱动装置通过控制可变电容器19调节第一可变阻抗调节单元的阻抗值。应当清楚的是，图4中仅示意性的给出了阻抗模拟器的结构，阻抗模拟器的其他组成部分与实施例一相同，此处不再赘述。
[0091]实施例三
[0092]如图5所示，本实施例中的阻抗模拟器为“L”型结构，阻抗模拟器包括两个可变阻抗调节单元，分别为第一可变阻抗调节单元和第二可变阻抗调节单元。第一可变阻抗调节单元的一端与电压监测单元电连接，第一可变阻抗调节单元的另一端串联电阻R后接地。第二可变阻抗调节单元的一端连接至电压监测单元13与第一可变阻抗调节单元的相应公共端，第二可变阻抗调节单元的另一端接地。
[0093]在本实施例中，第一可变阻抗调节单元由可变电容器17与电感18串联组成，可变电容器17的动片与驱动装置电连接，驱动装置通过可变电容器17调节第一阻抗调节单元的阻抗值。第二可变阻抗调节单元由可变电容器12与电感16串联组成，可变电容器12的动片与驱动装置电连接，驱动装置通过可变电容器17调节第二可变阻抗调节单元的阻抗值。应当清楚的是，图5中仅示意性的给出了阻抗模拟器的结构，阻抗模拟器的其他组成部分与实施例一相同，此处不再赘述。
[0094]实施例四
[0095]如图6所示，本实施例中的阻抗模拟器为倒“L”型结构，阻抗模拟器包括两个可变阻抗调节单元，分别为第一可变阻抗调节单元和第二可变阻抗调节单元。第一可变阻抗调节单元的一端与电压监测单元电连接，第一可变阻抗调节单元的另一端串联电阻R后接地。第二可变阻抗调节单元的一端连接至第一可变阻抗调节单元与电阻的相应公共端，第二可变阻抗调节单元的另一端接地。
[0096]在本实施例中，第一可变阻抗调节单元由可变电容器17与电感18串联组成，可变电容器17的动片与驱动装置电连接，驱动装置通过可变电容器17调节第一阻抗调节单元的阻抗值。第二可变阻抗调节单元由可变电容器12与电感16串联组成。可变电容器12的动片与驱动装置电连接，驱动装置通过可变电容器17调节第二可变阻抗调节单元的阻抗值。应当清楚的是，图6中仅示意性的给出了阻抗模拟器的结构，阻抗模拟器的其他组成部分与实施例一相同，此处不再赘述。
[0097]该结构的阻抗模拟器可以实现较大范围的阻抗模拟，阻抗实部的范围约为I Ω?1000 Ω，阻抗虚部的范围约为-500 Ω?500 Ω。
[0098]下面举例说明该阻抗匹配器的测试系统的工作原理:
[0099]在阻抗匹配器的测试过程中，工控机控制射频电源发射输出信号，该输出信号的功率为100W(或200W、300W等其他射频电源允许的参数)，该输出信号的频率为2MHz (或400KHz、13MHz、27MHz等其他射频电源允许的参数)。工控机控制待测试的阻抗匹配器在自动匹配模式(或手动匹配模式等模式)下运行，同时，工控机通过控制驱动装置控制板将阻抗模拟器的阻抗调整为Z = 2+jlOO Ω (或其它阻抗模拟器可实现的阻抗值)。
[0100]然后，该阻抗匹配器的测试系统可以根据用户的要求，选择阻抗匹配器的测试系统的单步运行模式、多步运行模式或多步循环运行模式，进行阻抗匹配器的自动测试，工控机对待测试阻抗匹配器的工作性能参数进行监测、显示及记录，这样提高了人机交互性。
[0101]如图7所示，本发明还涉及一种阻抗匹配器的测试方法，用于上述任一项的阻抗匹配器的测试系统，包括如下步骤:
[0102]S1、预设阻抗匹配器的测试系统的运行模式，阻抗匹配器的测试系统的运行模式为单步运行模式、多步运行模式或多步循环运行模式。
[0103]S2、工控机控制待测试阻抗匹配器在阻抗匹配器的测试系统的运行模式下进行阻抗匹配。这样，通过测试待测试阻抗匹配器在不同运行模式下的工作性能，保证测试的可靠性和准确性。
[0104]作为一种可实施方式，如图8所示，阻抗匹配器的测试系统的运行模式为单步运行模式时，还包括如下步骤:
[0105]S3、设置射频电源的输出信号的功率和/或频率和阻抗模拟器的阻抗值；即测试待测试阻抗匹配器在射频电源的输出信号的同一个功率和/或同一个频率和阻抗模拟器的同一阻抗值下的工作性能。
[0106]S4、工控机控制射频电源启动；射频电源启动后，射频电源发射一定功率及频率的输出信号。
[0107]S5、工控机监测、显示并记录待测试阻抗匹配器的工作性能参数；工控机检测到射频电源发射的输出信号后，对待测试阻抗匹配器的工作性能参数进行监测、显示及记录，这有助于阻抗匹配器的测试结果的分析，提高了测试的精度。
[0108]S6、工控机关闭射频电源，测试结束。
[0109]作为一种可实施方式，如图9所示，阻抗匹配器的测试系统的运行模式为多步运行模式时，还包括如下步骤:
[0110]S7、设置射频电源的输出信号的功率和/或频率和阻抗模拟器的阻抗值；
[0111]S8、工控机控制射频电源启动；射频电源启动后，射频电源发射步骤S7中设定的功率及频率的输出信号。
[0112]S9、工控机监测、显示并记录待测试阻抗匹配器的工作性能参数；工控机检测到射频电源发射的输出信号后，对待测试阻抗匹配器的工作性能参数进行监测、显示及记录，这有助于阻抗匹配器的测试结果的分析，提高了测试的精度。
[0113]S10、工控机关闭控制所述射频电源；每一次测试完成后，工控机关闭射频电源，然后设置下一次测试的相关参数。
[0114]SI 1、工控机控制射频电源的输出信号的功率和/或频率保持不变，改变阻抗模拟器的阻抗值，执行步骤S8至步骤SlO ;即测试待测试阻抗匹配器在射频电源的输出信号的同一功率和/或同一频率，阻抗模拟器的多个不同阻抗值的情况下的工作性能。这样，可以保证测试结果的准确性和可靠性。
[0115]S12、重复执行N次所述步骤S11，测试结束。
[0116]作为另一种可实施方式，如图10所示，阻抗匹配器的测试系统的运行模式为多步运行模式时，还包括如下步骤:
[0117]S13、设置射频电源的输出信号的功率和/或频率和阻抗模拟器的阻抗值；
[0118]S14、工控机控制射频电源启动；射频电源启动后，射频电源发射步骤S13中设定的功率及频率的输出信号。
[0119]S15、工控机监测、显示并记录所述待测试阻抗匹配器的工作性能参数；工控机检测到射频电源发射的输出信号后，对待测试阻抗匹配器的工作性能参数进行监测、显示及记录，这有助于阻抗匹配器的测试结果的分析，提高了测试的精度。
[0120]S16、工控机关闭所述射频电源；每一次测试完成后，工控机关闭射频电源，然后设置下一次测试的相关参数。
[0121]S17、工控机控制阻抗模拟器的阻抗值保持不变，改变射频电源的输出信号的功率和/或频率，执行步骤S14至步骤S16 ;即测试待测试阻抗匹配器在射频电源的输出信号的多个功率和/或多个频率，阻抗模拟器的同一阻抗值的情况下的工作性能。这样，可以保证测试结果的准确性和可靠性。
[0122]S18、重复执行N次所述步骤S17，测试结束。
[0123]作为一种可实施方式，如图11所示，阻抗匹配器的测试系统的运行模式为多步循环运行模式时，还包括如下步骤:
[0124]S19、设置射频电源的输出信号的功率和/或频率和阻抗模拟器的阻抗值；
[0125]S20、工控机控制射频电源启动；射频电源启动后，射频电源发射步骤S19中设定的功率及频率的输出信号。
[0126]S21、工控机监测、显示并记录待测试阻抗匹配器的工作性能参数；工控机检测到射频电源发射的输出信号后，对待测试阻抗匹配器的工作性能参数进行监测、显示及记录，这有助于阻抗匹配器的测试结果的分析，提高了测试的精度。
[0127]S22、工控机关闭射频电源；每一次测试完成后，工控机关闭射频电源，然后设置下一次测试的相关参数。
[0128]S23、工控机改变阻抗模拟器的阻抗值，执行步骤S20至步骤S22 ；
[0129]S24、重复执行NI次步骤S23 ；
[0130]S25、工控机改变射频电源的输出信号的功率和/或频率，执行步骤S20至S24 ;即测试待测试阻抗匹配器在射频电源的输出信号的多个不同功率和/或频率和阻抗模拟器的多个不同阻抗值的情况下待测试阻抗匹配器的工作性能。这样，可以保证测试结果的准确性和可靠性。
[0131]S26、重复执行N2次步骤S25，测试结束。
[0132]作为一种可实施方式，步骤SI之前还包括如下步骤:
[0133]S0、设置待测试阻抗匹配器的匹配模式，其中，待测试阻抗匹配器的匹配模式为自动匹配模式或手动匹配模式。
[0134]本发明的阻抗匹配器的测试系统及方法，