通过工控机控制该阻抗匹配器的测试系统中各个部件的运行，按照阻抗匹配器的测试方法设置阻抗匹配器的测试系统的运行模式，将待测试阻抗匹配器设置为自动匹配模式或手动匹配模式，同时设置射频电源的输出信号的功率和/或频率和阻抗模拟器的阻抗值，监测、显示并记录所述待测试阻抗匹配器的工作性能参数。这样，不仅提高了阻抗匹配器的测试系统的自动化程度，而且提高了阻抗匹配器的测试系统的精度和测试效率，实现了阻抗匹配器的自动化测试，减小了测试难度，并且测试结果具有可靠性和一致性。
[0135]以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
【主权项】
1.一种阻抗匹配器的测试系统，其特征在于: 包括射频电源、待测试阻抗匹配器、阻抗模拟器和工控机，所述射频电源、所述待测试阻抗匹配器和所述阻抗模拟器依次电连接，所述射频电源、所述待测试阻抗匹配器及所述阻抗模拟器分别与所述工控机电连接；所述工控机用于控制所述射频电源、所述阻抗模拟器和所述待测试阻抗匹配器按照阻抗匹配器的测试方法对所述待测试阻抗匹配器的工作性能进行测试； 所述阻抗模拟器包括电阻、多个可变阻抗调节单元和多个驱动装置，所述可变阻抗调节单元与所述电阻电连接；多个所述可变阻抗调节单元与多个所述驱动装置一一对应，所述驱动装置用于调节所述可变阻抗调节单元的阻抗值。2.根据权利要求1所述的阻抗匹配器的测试系统，其特征在于: 所述阻抗模拟器还包括电压监测单元、信号控制板、驱动装置控制板； 所述电压监测单元的一端耦合至所述待测试阻抗匹配器，所述电压监测单元的另一端与所述可变阻抗调节单元电连接，所述电压监测单元用于监控所述待测试阻抗匹配器的输出电压； 所述信号控制板的一端与所述电压监测单元电连接，所述信号控制板的另一端与所述驱动装置控制板电连接，所述信号控制板用于当所述待测试阻抗匹配器的输出电压超出安全范围时关闭所述驱动装置； 所述驱动装置控制板与多个所述驱动装置电连接，用于控制所述驱动装置的启动和关闭。3.根据权利要求2所述的阻抗匹配器的测试系统，其特征在于: 所述阻抗模拟器包括三个可变阻抗调节单元，分别为第一可变阻抗调节单元、第二可变阻抗调节单元和第三可变阻抗调节单元； 所述第一可变阻抗调节单元的一端与所述电压监测单元电连接，所述第一可变阻抗调节单元的另一端串联所述电阻后接地，所述第二可变阻抗调节单元的一端连接至所述电压监测单元与第一可变阻抗调节单元的相应公共端，所述第二可变阻抗调节单元的另一端接地；所述第三可变阻抗调节单元的一端连接所述第一可变阻抗调节单元与所述电阻的相应公共端，所述第三可变阻抗调节单元的另一端接地。4.根据权利要求2所述的阻抗匹配器的测试系统，其特征在于: 所述阻抗模拟器包括三个可变阻抗调节单元，分别为第一可变阻抗调节单元、第二可变阻抗调节单元和第三可变阻抗调节单元； 所述第一可变阻抗调节单元的一端与所述电压监测单元电连接，所述第一可变阻抗调节单元的另一端依次串联所述第二可变阻抗调节单元、所述电阻后接地；所述第三可变阻抗调节单元的一端连接至所述第一可变阻抗调节单元和所述第二可变阻抗调节单元的相应公共端，所述第三可变阻抗调节单元的另一端接地。5.根据权利要求2所述的阻抗匹配器的测试系统，其特征在于: 所述阻抗模拟器包括两个可变阻抗调节单元，分别为第一可变阻抗调节单元和第二可变阻抗调节单元； 所述第一可变阻抗调节单元的一端与所述电压监测单元电连接，所述第一可变阻抗调节单元的另一端串联所述电阻后接地，所述第二可变阻抗调节单元的一端连接至所述电压监测单元和所述第一可变阻抗调节单元的相应公共端，所述第二可变阻抗调节单元的另一端接地。6.根据权利要求2所述的阻抗匹配器的测试系统，其特征在于: 所述阻抗模拟器包括两个可变阻抗调节单元，分别为第一可变阻抗调节单元和第二可变阻抗调节单元； 所述第一可变阻抗调节单元的一端与所述电压监测单元电连接，所述第一可变阻抗调节单元的另一端串联所述电阻后接地，所述第二可变阻抗调节单元的一端连接至所述第一可变阻抗调节单元和所述电阻的相应公共端，所述第二可变阻抗调节单元的另一端接地。7.根据权利要求1-6任一项所述的阻抗匹配器的测试系统，其特征在于: 还包括监测仪器，所述监测仪器串联在所述射频电源和所述待测试阻抗匹配器之间，所述监测仪器与所述工控机电连接，所述监测仪器用于对所述待测试阻抗匹配器的工作性能参数进行监测，并将监测结果传输至所述工控机。8.根据权利要求7所述的阻抗匹配器的测试系统，其特征在于: 所述待测试阻抗匹配器的工作性能参数为入射功率、反射功率、反射系数、电压、电流和阻抗中的任一项或其组合。9.根据权利要求1-6任一项所述的阻抗匹配器的测试系统，其特征在于: 所述可变阻抗调节单元包括可变电容器和电感，所述可变电容器与所述电感串联，所述可变电容器的动片与所述驱动装置电连接。10.根据权利要求1-6任一项所述的阻抗匹配器的测试系统，其特征在于: 所述电阻的阻值与所述射频电源的输出阻抗相等，且均为50Ω。11.一种阻抗匹配器的测试方法，用于权利要求1-10任一项所述的阻抗匹配器的测试系统，其特征在于，包括如下步骤: 51、预设所述阻抗匹配器的测试系统的运行模式；所述阻抗匹配器的测试系统的运行模式为单步运行模式、多步运行模式或多步循环运行模式； 52、工控机控制待测试阻抗匹配器在所述阻抗匹配器的测试系统的运行模式下进行阻抗匹配。12.根据权利要求11所述的阻抗匹配器的测试方法，其特征在于，所述阻抗匹配器的测试系统的运行模式为单步运行模式时，还包括如下步骤: 53、设置射频电源的输出信号的功率和/或频率和阻抗模拟器的阻抗值； 54、所述工控机控制所述射频电源启动； 55、所述工控机监测、显示并记录所述待测试阻抗匹配器的工作性能参数； 56、所述工控机关闭所述射频电源，测试结束。13.根据权利要求11所述的阻抗匹配器的测试方法，其特征在于，所述阻抗匹配器的测试系统的运行模式为多步运行模式时，还包括如下步骤: 57、设置射频电源的输出信号的功率和/或频率和阻抗模拟器的阻抗值； 58、所述工控机控制所述射频电源启动； 59、所述工控机监测、显示并记录所述待测试阻抗匹配器的工作性能参数； 510、所述工控机关闭控制所述射频电源； 511、所述工控机控制所述射频电源的输出信号的功率和/或频率保持不变，改变所述阻抗模拟器的阻抗值，执行所述步骤S8至步骤SlO ； 512、重复执行N次所述步骤SII，测试结束。14.根据权利要求11所述的阻抗匹配器的测试方法，其特征在于，所述阻抗匹配器的测试系统的运行模式为多步运行模式时，还包括如下步骤: 513、设置射频电源的输出信号的功率和/或频率和阻抗模拟器的阻抗值； 514、所述工控机控制所述射频电源启动； 515、所述工控机监测、显示并记录所述待测试阻抗匹配器的工作性能参数； 516、所述工控机关闭所述射频电源； 517、所述工控机控制所述阻抗模拟器的阻抗值保持不变，改变所述射频电源的输出信号的功率和/或频率，执行步骤S14至步骤S16 ； 518、重复执行N次所述步骤S17，测试结束。15.根据权利要求11所述的阻抗匹配器的测试方法，其特征在于，所述阻抗匹配器的测试系统的运行模式为多步循环运行模式时，还包括如下步骤: 519、设置所述射频电源的输出信号的功率和/或频率和所述阻抗模拟器的阻抗值； 520、所述工控机控制所述射频电源启动； 521、所述工控机监测、显示并记录所述待测试阻抗匹配器的工作性能参数； 522、所述工控机关闭所述射频电源； 523、所述工控机改变所述阻抗模拟器的阻抗值，执行步骤S20至步骤S22； 524、重复执行NI次步骤S23； 525、所述工控机改变所述射频电源的输出信号的功率和/或频率，执行步骤S20至S24 ； 526、重复执行N2次步骤S25，测试结束。16.根据权利要求11所述的阻抗匹配器的测试方法，其特征在于，所述步骤SI之前还包括如下步骤: S0、设置所述待测试阻抗匹配器的匹配模式，所述待测试阻抗匹配器的匹配模式为自动匹配模式或手动匹配模式。
【专利摘要】本发明提供了一种阻抗匹配器的测试系统，包括射频电源、待测试阻抗匹配器、阻抗模拟器和工控机，射频电源、待测试阻抗匹配器和阻抗模拟器依次电连接，射频电源、待测试阻抗匹配器及阻抗模拟器分别与工控机电连接；工控机用于控制射频电源、阻抗模拟器和待测试阻抗匹配器按照阻抗匹配器的测试方法对待测试阻抗匹配器的工作性能进行测试；阻抗模拟器包括电阻、多个可变阻抗调节单元和多个驱动装置，可变阻抗调节单元与电阻电连接；多个可变阻抗调节单元与多个驱动装置一一对应，驱动装置用于调节可变阻抗调节单元的阻抗值。本发明还涉及一种阻抗匹配器的测试方法。本发明的阻抗匹配器的测试系统及方法，提高了阻抗匹配器的测试系统的自动化程度。
【IPC分类】G01R31/00
【公开号】CN105093002
【申请号】CN201410216819
【发明人】成晓阳, 张敏, 卫晶, 丁恒, 孔庆宝, 孙岩
【申请人】北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
【公开日】2015年11月25日
【申请日】2014年5月21日