连接，所述侧面板设在所述安装架301的侧面并与所述安装架 301固定连接，所述上面板314设在所述安装架301的底部并与所述安装架301固定连接;其 中，所述管路安装孔包括真空校准端连接管路安装孔和漏率校准端连接管路安装孔310。 [0038]如图8~10所示，包括箱体401和控制系统安装架402,所述箱体401顶部设有上箱 盖403,所述上箱盖403上沿周向设有第一散热孔404,所述箱体401侧面设有第一侧面箱盖 405、第二侧面箱盖406、第三侧面箱盖和第四侧面箱盖407，所述第一侧面箱盖405设有观察 窗口 408,所述观察窗口 408内设有透明玻璃板409,所述箱体401箱底下表面四个角上均设 有定位支脚410和万向脚轮411，所述万向脚轮411通过可调连接件与所述箱体401箱底下表 面固定连接;所述控制系统安装架402设在所述箱体401内。其中所述观察窗口408和所述透 明玻璃板409的设置可以使操作人员在所述箱体401外侧即可观察到所述控制系统中显示 装置上显示的数据以及图表。
[0039]如图1所示，所述真空及漏率多功能校准系统200包括检测管路、真空校准分系统 203、漏率校准分系统204、机械栗201和分子栗202;所述检测管路包括导气管、手动隔断阀 V9207、手动隔断阀V1Q208、手动隔断阀V2222、手动隔断阀Vi205、电磁隔断阀V 15210和电阻规 G5224;所述手动隔断阀V9207、所述手动隔断阀V1Q208、所述手动隔断阀V 2222、所述手动隔断 _Vi205、所述分子栗202、所述电磁隔断阀V15210和所述电阻规G 5224通过导气管依次连接； 所述机械栗201依次经过电磁放气阀V17212和挡油阱213与位于所述手动隔断阀V 9207和所 述电阻规G5224之间的所述检测管路连接导通，所述漏率校准分系统204与位于所述手动隔 断阀V 9207和所述手动隔断阀V2222之间的所述检测管路连接导通，所述真空校准分系统203 与位于所述手动隔断阀V 2222和所述手动隔断阀W205之间的所述检测管路连接导通，位于 所述手动隔断阀％205和所述分子栗202之间的所述检测管路经过微调阀V 16211与氮气存储 装置226连接导通。
[0040] 为了提高所述真空及漏率多功能校准系统200的操控性，本实施例中，还包括微 机、标准电离计和复合真空计，所述微机分别与所述标准电离计和所述复合真空计通信连 接;其中，所述标准电离计设在所述标准电离真空规G 2216上;所述监测电离真空规&215和 所述电阻规G5224上分别设有一个所述复合真空计，而且所述微机配有显示屏。
[0041] 特殊情况下，在对真空计等真空度计量仪器进行校检时，所述真空及漏率多功能 校准系统200的动态极限真空度达不到校检要求，为了使所述真空及漏率多功能校准系统 200的动态极限真空度达到校验要求，本实施例中，所述分子栗202和所述挡油阱213分别配 有加热装置。
[0042]所述控制系统设在所述箱体401内。如图2所示，所述控制系统包括控制系统箱100 和控制系统电路装置，所述控制系统电路装置设在所述控制系统箱100内；所述控制系统箱 100的箱壁上设有电源开关，所述电源开关包括机械栗电源开关103、电磁隔断阀V15电源开 关104、分子栗电源开关105、四极质谱计Μ电源开关106、挡油阱加热装置电源开关107、分子 栗加热装置电源开关108和总电源开关101。
[0043]如图1所示，所述真空校准分系统203包括真空室216、监测电离真空规&214、标准 电离真空规G2215和真空校准接入端221，所述监测电离真空规Gi214与所述真空室216连接 导通，所述标准电离真空规G 2215与所述真空室216连接导通，所述真空室216与位于所述手 动隔断阀V2222和所述手动隔断阀W205之间的所述检测管路连接导通，所述真空室216通过 手动隔断阀V 3206与所述真空校准接入端221连接导通，位于所述真空校准接入端与所述手 动隔断阀V3206之间的导气管通过导气管经过手动隔断阀V 4225与位于所述手动隔断阀 W205和所述分子栗202之间的导气管连接导通;所述真空校准接入端221设有盲板;所述漏 率校准分系统204包括被校漏孔U217、参考漏孔L 2218、参考漏孔L3219和四极质谱计M220， 所述被校漏孔U217通过导气管接入位于所述手动隔断阀V 9207与所述手动隔断阀V1Q208之 间的检测管路，所述参考漏孔L2218经手动隔断阀Vn209与位于所述手动隔断阀V 1Q208和所 述手动隔断阀V2222之间的检测管路连接导通，所述参考漏孔L3219经过手动隔断阀V 12223 与位于所述手动隔断阀V1Q208和所述手动隔断阀V2222之间的检测管路连接导通，所述四极 质谱计M220与位于所述手动隔断阀V 1Q208和所述手动隔断阀V2222之间的检测管路连接导 通。
[0044] 为了避免杂物落入所述真空校准接入端221的通气管中，所述真空校准接入端221 设有盲板。不使用所述真空校准分系统203时，可用所述盲板盖住所述真空校准接入端221 的通气管。
[0045] 其中，所述真空室216、所述监测电离真空规Gi214、所述标准电离真空规G2215、所 述真空校准接入端221、所述手动隔断阀V 2222、所述手动隔断阀％205之间的所述检测管路 连接导通，所述手动隔断阀V3206、所述手动隔断阀V 4225、所述盲板以及部分检测管路构成 了真空校准端;被校漏孔Li217、参考漏孔L2218、参考漏孔L 3219、四极质谱计M220、所述手动 隔断阀V9207、所述手动隔断阀V1Q208、所述手动隔断阀Vn209、所述手动隔断_V 12223以及 部分检测管路构成了漏率校准端。
[0046] 如图3~6所示，为了便于对安装在所述上面板302下方的本发明的部分组件进行 检修维护以及其他操作，所述侧箱盖304上设有把手305;所述侧箱盖304上设有阀门操作孔 313;为了防止所述侧箱盖304从所述侧箱盖安装板303上脱落，所述侧箱盖304内壁上设有 旋转锁定机构，所述侧箱盖304内壁上设有旋转锁定机构，所述旋转锁定机构与所述把手 305固定连接;所述侧箱盖安装槽306为矩形槽;所述侧箱盖安装孔307为矩形孔;而为了便 于对在所述上面板302下方运行的本发明的部分组件的运行状态进行观察，所述侧箱盖安 装槽306的长度大于或等于所述侧箱盖安装孔307的长度，使所述侧箱盖安装槽306的宽度 大于或等于所述侧箱盖安装孔307的宽度;所述侧箱盖304内壁上设有限位槽317;所述侧箱 盖安装孔307孔壁内侧设有限位凸起;所述限位挡板312与所述限位凸起之间设有定位槽， 所述定位槽的宽度大于或等于所述限位槽317的第二槽壁316的厚度。如图3和图4所示，所 述管路安装孔包括真空校准端连接管路安装孔和漏率校准端连接管路安装孔310,其中，所 述真空校准端连接管路安装孔包括低真空校准端连接管路安装孔309和高真空校准端连接 管路安装孔308。所述真空校准端通过穿过所述真空校准端连接管路安装孔的管路与安装 在所述上面板302下方的本发明的部分组件连接导通，本发明的漏率校准端通过穿过所述 漏率校准端连接管路安装孔310的管路和所述漏率校准端连接管路安装孔310与安装在所 述上面板302下方的本发明的部件连接导通。
[0047] 由于所述真空校准端和所述漏率校准端长时间安装在所述上面板302上方，所以 为了避免所述上面板302因长时间承重导致变形，进而避免因所述上面板302发生变形而导 致搭建在所述上面板302上方的本发明的其他部件之间的连接结构稳定性降低，所述安装 架301上设有面板增强肋板315,所述面板增强肋板315与所述安装架301固定连接。
[0048] 如图8和图9所示，由于热空气密度较小，会自动向上运动，而冷空气则由于自身密 度较大会自动下沉，因而利用这一原理，所述第二侧面箱盖406上、所述第三侧面箱盖上和 第四侧面箱盖407上均设有第二散热孔412,且所述第二散热孔412设在所述第二侧面箱盖 406下端、所述第三侧面箱盖下端和第四侧面箱盖407下端。在此种情况下，所述第一散热孔 404和所述第二散热孔412构成了一个散热循环回路，即在这个散热循环回路中，所述第二 散热孔412为进气口，所述第一散热孔404为出气口，安装在所述箱体401内的控制系统可以 在该散热循环回路的作用下得到散热降温，从而避免控制系统内部积热过多影响到控制系 统的正常运转。而为增强散热效果，所述箱体401箱底上设有第三散热孔414,所述箱体401 箱底上表面上设有风扇，所述风扇进气口临近所述第三散热孔414,所述风扇出气口远离 所述箱体401箱底上表面。在所述风扇的作用下，上述散热循环回路的散热效果进一步提 高，从而使所述箱体401内的温度更能够满足控制系统正常工作的需要。同时为了增强对控 制系统所产生的热量进行散发，所述箱体401内还设有散热板415,所述散热板415与所述控 制系统安装架402固定连接，所述散热板415上设有通风孔416。
[0049] 鉴于所述控制系统并非能一直正常运行，所述控制系统出现故障需要维修时，为 了便于控制系统故障部位进行维修，现有的控制箱需要将控制系统从控制箱内移出，为了 免去反复移动所述控制系统的麻烦，减轻维护人员的工作量，所述第二侧面箱盖406、所述 第三侧面箱盖和所述第四侧面箱盖407上均设有按压式锁定机构413;所述第二侧面箱盖 406、所述第三侧面箱盖和所述第四侧面箱盖407均通过所述按压式锁定机构413与所述箱 体401固定连接。所述按压式锁定机构413处于锁定状态时，所述第二侧面箱盖406、所述第 三侧面箱盖和所述第四侧面箱盖407与所述箱体401固定连接，不会从所述箱体401上脱落； 当需要对所述控制系统进行维护时，则可以使所述按压式锁定机构413处于解锁状态，则可 以轻易移除所述第二侧面箱盖406、所述第三侧面箱盖和/或所述第四侧面箱盖407,然后即 可对所述控制系统进行维护。
[0050] 所述第一侧面箱盖405位于控制系统正面，即位于所述控制系统的操作面，加之所 述第一侧面箱盖405设有所述观察窗口 408和所述透明玻璃板409,为避免在校准过程中非 校准人员或其他物品碰触所述控制系统箱100箱壁上的所述电源开关以及所述透明玻璃板 409碰到坚硬物体破裂，所述第一侧面箱盖405下端与所述箱体401箱底通过限位连接件417 连接，从而使所述第一侧面箱盖打开的程度受到一定的限制。其中所述限位连接件417包括 第一连接部418和第二连接部419;所述第一侧面箱盖405下端与所述第一连接部418的一端 铰接，所述第一连接部418的另一端与所述第二连接部419的一端通过铰接轴420铰接，所述 第二连接部419的另一端与所述箱体401箱底铰接。
[0051]与所述第二侧面箱盖406、所述第三侧面箱盖和所述第四侧面箱盖407不同的是， 所述第一侧面箱盖405打开时无需将其拆卸下来，其原