中所述激光光源2的出射光束与接收屏3的轴线相互垂直且交点与所述分光器I的中心点重合，所述待测镜片8的光轴与光学样板7的光轴相互垂直且交点偏离所述分光器I的中心点，所述光学样板7的光轴、待测镜片8的光轴、激光光源2的出射光束以及接收屏3的轴线分别与所述分光器I的镜面所夹锐角均为45度，所述分光器I与待测镜片8之间以及所述分光器I与光学样板7之间均设置有1/4波片9。
[0020]在本实施例中，所述起偏器4设置在所述分光器I与激光扩束镜5之间，或所述起偏器4设置在所述激光扩束镜5与激光光源2之间；所述激光扩束镜5采用型号为K30B632.8的激光扩束镜5，并不局限于此。
[0021]在本实施例中，所述分光器I的倾斜角度为45度。
[0022]在本实施例中，所述激光扩束镜5、起偏器4以及激光光源2的轴线位于同一直线上。
[0023]在本实施例中，所述检偏器6与接收屏3的轴线位于同一直线上。
[0024]在本实施例中，所述分光器I与待测镜片8之间设置的1/4波片9与所述待测镜片8的轴线位于同一直线上，所述分光器I与光学样板7之间设置的1/4波片9与所述光学样板7的轴线位于同一直线上。
[0025]在本实施例中，所述光学样板7上设置有压电陶瓷移相器，驱动光学样板7产生几分之一波长量级的光程变化，使干涉场产生变化的干涉图样，通过对干涉图样的处理，自动消除干涉场中的固定噪声。
[0026]在本实施例中，所述光学样板7、激光光源2分别设置在所述分光器I的上下两侧，所述待测镜片8、接收屏3分别设置在所述分光器I的左右两侧，从激光光源2出射的光束入射到激光扩束镜5，激光扩束镜5将光束直径扩大，并调整为平行光，之后光束进入起偏器4成为线偏振光，之后于分光器I夹45度入射，在胶合面Ib分成一束透射光束一束反射光束，透射光束沿激光扩束镜5的光轴射出经过1/4波片9，射向光学样板基准面71，经反射后沿原光路返回，再次经过1/4波片9，接着经过胶合面Ib反射以垂直于激光扩束镜5的光轴方向，从左方射出，出经过检偏器6射向接收屏3，形成参考波前；反射光束以垂直于激光扩束镜5的光轴方向，从右方射出，经过1/4波片9，射向待测镜片基准面81，经反射后沿原光路返回，再次经过1/4波片9后，透射过胶合面Ib后，经过检偏器6射向接收屏3，形成测试波前；参考波前与测试波前汇合后形成干涉，沿待测镜片8光轴方向前后调节待测镜片8，在接收屏3处可以观察到干涉条纹。
[0027]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，凡依本实用新型申请专利范围所做的均等变化与修饰，皆应属本实用新型的涵盖范围。
【主权项】
1.一种具有平板式偏振分光器的检测透镜面形偏差用检测装置，其特征在于:包括倾斜设置的分光器，所述分光器由两块完全相同的呈平板状的玻璃胶合而成，且其中一块玻璃的胶合面镀有偏振分光介质膜，所述分光器周侧设置有激光光源以及接收屏，所述分光器与激光光源之间设置有起偏器以及激光扩束镜，所述接收屏的内侧或者外侧设置有检偏器，光学样板、待测镜片放置在所述分光器的周侧，其中所述激光光源的出射光束与接收屏的轴线相互垂直且交点与所述分光器的中心点重合，所述待测镜片的光轴与光学样板的光轴相互垂直且交点偏离所述分光器的中心点，所述光学样板的光轴、待测镜片的光轴、激光光源的出射光束以及接收屏的轴线分别与所述分光器的镜面所夹锐角均为45度，所述分光器与待测镜片之间以及所述分光器与光学样板之间均设置有1/4波片。2.根据权利要求1所述的具有平板式偏振分光器的检测透镜面形偏差用检测装置，其特征在于:所述起偏器设置在所述分光器与激光扩束镜之间，或所述起偏器设置在所述激光扩束镜与激光光源之间。3.根据权利要求2所述的具有平板式偏振分光器的检测透镜面形偏差用检测装置，其特征在于:所述分光器的倾斜角度为45度。4.根据权利要求3所述的具有平板式偏振分光器的检测透镜面形偏差用检测装置，其特征在于:所述激光扩束镜、起偏器以及激光光源的轴线位于同一直线上。5.根据权利要求4所述的具有平板式偏振分光器的检测透镜面形偏差用检测装置，其特征在于:所述检偏器与接收屏的轴线位于同一直线上。6.根据权利要求5所述的具有平板式偏振分光器的检测透镜面形偏差用检测装置，其特征在于:所述分光器与待测镜片之间设置的1/4波片与所述待测镜片的轴线位于同一直线上，所述分光器与光学样板之间设置的1/4波片与所述光学样板的轴线位于同一直线上。7.根据权利要求6所述的具有平板式偏振分光器的检测透镜面形偏差用检测装置，其特征在于:所述光学样板上设置有压电陶瓷移相器。
【专利摘要】本实用新型涉及一种具有平板式偏振分光器的检测透镜面形偏差用检测装置，包括倾斜设置的分光器，所述分光器由两块完全相同的呈平板状的玻璃胶合而成，且其中一块玻璃的胶合面镀有偏振分光介质膜，所述分光器周侧设置有激光光源以及接收屏，所述分光器与激光光源之间设置有起偏器以及激光扩束镜，所述接收屏的内侧或者外侧设置有检偏器，光学样板、待测镜片放置在所述分光器的周侧，其中所述激光光源的出射光束与接收屏的轴线相互垂直，所述待测镜片的光轴与光学样板的光轴相互垂直，所述分光器与待测镜片之间以及所述分光器与光学样板之间均设置有1/4波片。本实用新型检测镜片的精度和效率高，生产工艺简单，成本低。
【IPC分类】G01B11/24
【公开号】CN204740007
【申请号】CN201520461947
【发明人】王敏, 黄德炜, 王芬, 林峰
【申请人】福建师范大学
【公开日】2015年11月4日
【申请日】2015年6月30日