]其中，当电流超过预设值时，例如100mA，第二熔丝1052自动熔断，阻止电压的供给，则过流信号不会进入探针控制单元105，实现了对探针控制单元105的保护;继电器芯片U2的第10引脚为控制端，用于接收主控芯片103发送的第二继电器导通信号或第二继电器关断信号，当接收到第二继电器导通信号时，继电器芯片U2的第3引脚与第4引脚导通，继电器芯片U2的第8引脚与第7引脚导通，用于向探针106提供电压。
[0025]需要说明的是，上述仅说明了一个供电切换单元104、一个探针控制单元105与主控芯片103之间的连接关系，当供电切换单元104为多个，探针控制单元105为多个时，则与主控芯片103的连接方式不同，例如，如图2所示，供电切换单元104为两个，探针控制单元105为两个，则与第一个供电切换单元104对应的继电器芯片U2的第10引脚与主控芯片103的第I引脚连接，与第二个供电切换单元104对应的继电器芯片U2的第10引脚与主控芯片103的第76引脚连接，与第一个探针控制单元对应的继电器芯片Ul的第3引脚与主控芯片103的第3引脚连接，继电器芯片Ul的第10引脚与主控芯片103的第74引脚连接;与第二个探针控制单元对应的继电器芯片Ul的第3引脚与主控芯片103的第4引脚连接，继电器芯片Ul的第10引脚与主控芯片103的第73引脚连接。
[0026]需要说明的是，晶圆中不同芯片的第一熔丝101的连接方式可能也不同，通常有两种连接方式，下面举例进行说明，假设晶圆内有两个芯片，分别为芯片A和芯片B，其中，芯片A内设有两个第一熔丝，分别为熔丝a和熔丝b，与熔丝a连接的探针为PADl，与熔丝b连接的探针为PAD2，芯片B内设有两个第一熔丝，分别为熔丝c和熔丝d，与熔丝c连接的探针为PAD3，与熔丝d连接的探针为PAD4，熔丝a的一端与探针PADl连接，熔丝a的另一端接地;熔丝b的一端与探针PAD2连接，熔丝b的另一端接地;熔丝c的一端与探针PAD3连接，熔丝c的另一端分别与熔丝d的一端和探针PAD4连接，熔丝d的另一端接地。
[0027]具体工作原理为:若芯片A的熔丝a和芯片B的熔丝d需要被烧断，则主控芯片103分别控制与熔丝a对应的第一继电器和与熔丝d对应的第一继电器导通，则探针PADl和探针PAD4均有电流通过，进而将电流流入熔丝a和熔丝d，烧断熔丝a和熔丝d。
[0028]若芯片B的熔丝c需要被烧断，则主控芯片103控制与熔丝c对应的第一继电器导通，控制与熔丝d对应的第一继电器断开，则相当于给探针PAD3上加5V电压，让探针PAD^i地，从而形成电流回路，烧断熔丝C，且不影响熔丝d。
[0029]本实用新型的晶圆测试用AMP板卡中的主控芯片能够根据预设规则控制供电切换单元的导通与关断，进而控制探针控制单元中的第一继电器的导通与关断，当与第一熔丝对应的第一继电器导通时，则与第一熔丝连接的探针供电，实现对第一熔丝的熔断，由于主控芯片能够同时控制多个供电切换单元和多个探针控制单元工作，则可以同时实现多个第一熔丝的熔断，提高了测试效率;且探针控制单元包括第二熔丝，当电源单元过流至一定值时，第二熔丝自动断开，从而能够保护探针控制单元；另外，由于主控芯片可同时控制每个第一继电器和每个第二继电器的导通与关断，所以可以使用于晶圆中不同的熔丝的连接方式，兼容性强。
[0030]最后说明的是，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的宗旨和范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。
【主权项】
1.一种晶圆测试用AMP板卡，所述晶圆包括若干个第一熔丝，其特征在于:所述晶圆测试用AMP板卡包括:电源单元、主控芯片、若干个供电切换单元、以及与若干个供电切换单元--对应连接的若干个探针控制单元； 所述主控芯片分别与所述电源单元、每个所述供电切换单元和每个所述探针控制单元连接，所述电源单元还与每个所述供电切换单元连接，所述探针控制单元包括第一继电器和第二熔丝，所述第一继电器通过所述第二熔丝与所述供电切换单元连接，所述第一继电器还与对应的探针连接，所述探针与对应的所述第一熔丝连接。2.根据权利要求1所述的晶圆测试用AMP板卡，其特征在于:所述供电切换单元包括第二继电器。3.根据权利要求2所述的晶圆测试用AMP板卡，其特征在于:所述第一继电器包括型号为TQ2-5V的继电器芯片Ul，所述继电器芯片Ul的第3引脚与所述主控芯片的第3引脚连接，所述继电器芯片Ul的第10引脚与所述主控芯片的第74引脚连接。4.根据权利要求3所述的晶圆测试用AMP板卡，其特征在于:所述第二继电器包括型号为TQ2-5V的继电器芯片U2，所述继电器芯片U2的第10引脚与所述主控芯片的第I引脚连接，所述继电器芯片U2的第3引脚和第8引脚均与所述电源单元的输出端连接，所述继电器芯片U2的第4引脚通过所述第二熔丝与所述继电器芯片Ul的第2引脚连接。
【专利摘要】本实用新型公开了一种晶圆测试用AMP板卡，所述晶圆包括若干个第一熔丝，所述晶圆测试用AMP板卡包括：电源单元、主控芯片、若干个供电切换单元、以及与若干个供电切换单元一一对应连接的若干个探针控制单元；所述主控芯片分别与所述电源单元、每个所述供电切换单元和每个所述探针控制单元连接，所述电源单元还与每个所述供电切换单元连接，所述探针控制单元包括第一继电器和第二熔丝，所述第一继电器通过所述第二熔丝与所述供电切换单元连接，所述第一继电器与对应的探针连接，所述探针与对应的所述第一熔丝连接。本实用新型的电路结构简单，设计合理，使用效果好，提高了测试效率，且能够保护探针控制单元。
【IPC分类】G01R31/26
【公开号】CN205229404
【申请号】CN201521080789
【发明人】朱琦亮, 郑东来, 徐四九
【申请人】上海威伏半导体有限公司
【公开日】2016年5月11日
【申请日】2015年12月22日