一种反应气体流量的稳定控制装置制造方法

文档序号:6301244阅读:871来源:国知局
一种反应气体流量的稳定控制装置制造方法
【专利摘要】本实用新型属于科学分析仪器【技术领域】,具体涉及一种反应气体流量的稳定控制装置。所述反应气体流量的稳定控制装置包括用于与反应用气源连接的气管,所述气管连接气体压力自动稳压调节装置的进气口,所述气体压力自动稳压调节装置的出气口连接有用于与反应器连接而向所述反应器输入流量稳定的反应气体的毛细管。本实用新型通过利用气体压力自动稳压调节装置自动调节气体压力在一个相对稳定的压力状态后,通过毛细管向反应器内输入,从而实现了对输入反应器的气体的流量达到稳定的控制,同时,本实用新型具有结构简单,成本低以及不会受腐蚀的特点。
【专利说明】一种反应气体流量的稳定控制装置
【技术领域】
[0001]本实用新型属于科学分析仪器【技术领域】,具体涉及一种反应气体流量的稳定控制装置。
【背景技术】
[0002]目前,在气固反应过程中,控制输入反应气体的流量一般采用质量流量控制器来控制,而向反应器输入的反应气体多数为具有腐蚀性的气体,对质量流量控制器的内部器件存在一定的损害性。
实用新型内容
[0003]本实用新型的目的在于解决上述技术问题而提供一种结构简单、成本低且使用寿命长的反应气体流量的稳定控制装置,旨在解决目前向反应器输入的反应用气体会腐蚀质量流量控制器的技术问题。
[0004]为实现上述目的,本实用新型采用如下技术方案:
[0005]一种反应气体流量的稳定控制装置,包括用于与反应用气源连接的气管,所述气管连接气体压力自动稳压调节装置的进气口,所述气体压力自动稳压调节装置的出气口连接有用于与反应器连接而向所述反应器输入流量稳定的反应气体的毛细管。
[0006]所述气体压力自动稳压调节装置进气口侧的所述气管上设有过滤器。
[0007]所述气体压力自动稳压调节装置为气体稳压阀。
[0008]本实用新型通过利用气体压力自动稳压调节装置自动调节气体压力在一个相对稳定的压力状态后,通过毛细管向反应器内输入,从而实现了对输入反应器的气体的流量达到稳定的控制,同时,本实用新型具有结构简单,成本低,不会受腐蚀的特点。
【专利附图】

【附图说明】
[0009]图1所示为本实用新型实施例提供的一种反应气体流量的稳定控制装置的结构示意图。
【具体实施方式】
[0010]下面,结合实例对本实用新型的实质性特点和优势作进一步的说明,但本实用新型并不局限于所列的实施例。
[0011]参见图1所示,该图示出了本实用新型实施例提供的一种反应气体流量的稳定控制装置的结构。为了便于说明,仅示出了与本实用新型实施例有关的部分。
[0012]请参阅图1,一种反应气体流量的稳定控制装置,包括用于与反应用气源连接的气管I,所述气管I连接气体压力自动稳压调节装置2的进气口,所述气体压力自动稳压调节装置2的出气口连接有用于与反应器4连接而向所述反应器4输入流量稳定的反应气体的毛细管3。[0013]进一步的,所述气体压力自动稳压调节装置进气口侧的所述气管上设有过滤器。
[0014]本实用新型实施例中,所述气体压力自动稳压调节装置为气体稳压阀。
[0015]本实用新型通过利用气体压力自动稳压调节装置自动调节气体压力在一个相对稳定的压力状态后,通过毛细管向反应器内输入,从而实现了对输入反应器的气体的流量达到稳定的控制,同时,本实用新型具有结构简单,成本低以及不会受腐蚀的特点。
[0016]以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本【技术领域】的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
【权利要求】
1.一种反应气体流量的稳定控制装置,其特征在于,包括用于与反应用气源连接的气管,所述气管连接气体压力自动稳压调节装置的进气口,所述气体压力自动稳压调节装置的出气口连接有用于与反应器连接而向所述反应器输入流量稳定的反应气体的毛细管。
2.根据权利要求1所述反应气体流量的稳定控制装置,其特征在于,所述气体压力自动稳压调节装置进气口侧的所述气管上设有过滤器。
3.根据权利要求2所述反应气体流量的稳定控制装置,其特征在于,所述气体压力自动稳压调节装置为气体稳压阀。
【文档编号】G05D7/00GK203720665SQ201320681671
【公开日】2014年7月16日 申请日期:2013年11月1日 优先权日:2013年11月1日
【发明者】陈淑俊, 赵铁英, 杨光 申请人:天津市先权工贸发展有限公司
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