电气制品的装配工序的管理方法与流程

本发明涉及电气制品的装配工序的管理方法。

背景技术：

在对组合了装有半导体部件(IC，LSI，晶体管等)的基板和存储装置等的电气制品进行装配时，为了防止由带电的工具或人手进行作业而使用了将静电除去并防止的衣物等。但是，装配中，电气制品和工具或人不一定是同电位，有产生意外的静电放电的可能性。关于静电放电的检测，有以下的文献。

在日本特开平10－12691号公报中公开了在电子设备(例如薄膜晶体管液晶显示器)的制造工序中通过天线对基板上产生的基于剥离带电的静电放电的电磁波或放电光进行检测、并由此检测与静电放电相关的损害的技术。

在日本特表2009－515171号公报中公开了通过经由电阻将地电位与电路基板之间连接的电压计测电路来计测装配工具接触电路基板时发生的静电放电、并由此监视电路基板的ESD曝露的技术。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平10－12691号公报

专利文献2：日本特表2009－515171号公报

技术实现要素：

发明要解决的课题

通过上述的以往技术能够在对象物上检测出发生了静电放电，但不能判断该静电放电对于对象物是否带来涉及其品质程度的影响。因此，有连没有受到涉及品质程度的影响的对象物也被视为不合格品的情况，相应地导致良品率恶化。

本发明是为了解决上述的那样的课题而做出的，其目的在于提供一种能够精度良好地对受到静电放电的影响的电气制品进行识别并管理的电气制品的装配工序的管理方法。

用于解决课题的手段

本发明是为了达成上述的目的而至少具备搭载有半导体部件的基板和电源电路的电气制品的装配工序的管理方法，该电气制品的装配工序的管理方法的特征在于，

在执行上述电气制品的装配的期间，总是计测夹着上述电气制品的内部的阻抗要素而电连接的电线或信号线上的2点间的电位差，

在上述2点间的电位差发生了超过用于区别静电放电噪声和正常电位范围的规定阈值的变化的情况下，记录上述2点间的电位差的计测数据，并将用于识别上述电气制品已受到静电放电的影响的标识赋予给上述电气制品。

发明的效果

根据本发明，通过总是计测夹着电气制品的内部的阻抗要素而电连接的电线或信号线上的2点间的电位差，监视在执行电气制品的装配的期间、在2点间的电位差是否没有发生超过规定阈值的变化，从而能够精度良好地识别并管理受到了静电放电的影响的电气制品。

附图说明

图1是用于说明涉及本发明的实施方式1的装置构成的图。

图2是用于对实施方式1中半导体部件5与静电计测器9之间的电连接进行说明的图。

图3是用于对实施方式1中电气制品2的装配工序的管理方法进行说明的流程图。

图4是用于说明实施方式1的1个变形例的图。

图5是用于说明实施方式1的1个变形例的图。

图6是用于说明涉及本发明的实施方式2的装置构成的图。

图7是用于对实施方式2中半导体部件5与静电计测器9之间的电连接进行说明的图。

图8是用于对实施方式2中电气制品2的装配工序的管理方法进行说明的流程图。

图9是用于说明实施方式2的1个变形例的图。

图10是用于对实施方式3中信号线上的2点间的电位差进行计测的例进行说明的图。

图11是用于说明实施方式1的1个变形例的图。

图12是用于说明实施方式1的1个变形例的图。

具体实施方式

以下，参照附图详细说明本发明的实施方式。另外，对各图中共同的要素赋予相同的符号而省略重复的说明。

实施方式1

图1是用于说明涉及本发明的实施方式1的装置构成的图。

图1所示的装置具备作业台1。电气制品2被置于作业台1。电气制品2至少具备基板3和电源电路4。基板3搭载有半导体部件5。基板3和电源电路4使用工具6而搭载于电气制品2。

半导体部件5通过电线7经由基板3而与电源电路4电连接。并且，电线7经由端子8而与静电计测器9连接。静电计测器9与计算机10连接。

静电计测器9在进行电气制品2的装配的期间，总是计测夹着电气制品2的内部的阻抗要素(半导体部件5)而电连接的电线7上的2点间的电位差。另外，计测周期优选的是100ns以下。

并且，静电计测器9在上述的2点间的电位差发生了超过用于区别静电放电噪声和正常电位范围的规定阈值的变化的情况下，将上述的2点间的电位差的计测数据向计算机10发送。另外，上述的阈值是表示可能影响到品质的静电放电的指标，预先基于实验结果或仿真结果被设定。作为一例，在半导体部件的额定电压为5.5V的情况下，阈值被设定为7V。

计算机10具备例如包含ROM、RAM等的存储器、对各种信息进行输入输出的输入输出接口、和能够基于各种信息执行各种运算处理的处理器。计算机10接受并记录从静电计测器9发送的计测数据，并且对电气制品2赋予用于识别电气制品2已受到静电放电的影响的标识。具体来说，计算机10向计测数据追加标识。计算机10具有画面作为输出接口，将追加了标识的计测数据向画面显示。并且，计算机10具有与外部机器连接的通信连接器作为输出接口，经由通信连接器将计测数据向外部发送。

图2是用于对实施方式1中半导体部件5与静电计测器9的电连接进行说明的图。

图1所示的电线7包含图2所示的2根电线71、72。2根电线71、72将电源电路4(图2中为电源装置)和半导体部件5连线。静电计测器9连接于电线71上的1点和电线72上的1点。静电计测器9对2根电线71、72间的电位差进行计测。

(流程图)

图3是用于对实施方式1中电气制品2的装配工序的管理方法进行说明的流程图。图3所示的例行程序每当电气制品2的装配开始就被执行。

在步骤S101中，作业者将电线7和静电计测器9连接。具体来说，作业者将2根电线71、72与静电计测器9连接。另外，作业者不限定于人，也可以是具有机械臂等的机械设备。

在步骤S102中，作业者判断电气制品2的装配工序是否结束。在装配工序没有结束的情况下，执行步骤S103的处理。

在步骤S103中，静电计测器9对2根电线71、72间的电位差进行计测。

在步骤S104中，静电计测器9判断步骤S103中被计测出的电位差是否小于阈值。如上所述，阈值是用于区别静电放电噪声和正常电位范围的规定值，被预先设定。

在步骤S104的判断条件成立的情况下，不产生对电气制品2的品质有影响的静电放电，从步骤S102继续处理。在步骤S102中判断为电气制品2的装配工序已结束的情况下，本例行程序被结束。

在步骤S104的判断条件不成立的情况下，步骤S103中被计测出的电位差的计测数据被记录在计算机10中(步骤S105)。具体来说，静电计测器9将计测数据向计算机10发送，计算机10将所接收到的计测数据存储。

在步骤S106中，计算机10向计测数据赋予标识。所谓标识是用于识别电气制品2已受到静电放电的影响的标识。

在步骤S107中，计算机10将赋予了标识的计测数据在画面上显示。并且，计算机10经由通信连接器将计测数据向外部发送。通过这些处理，作业者能够获知在制造中的半成品上已发生了可能影响到品质的静电放电。

在步骤S108中，作业者将已发生可能影响到品质的静电放电的半成品除去。步骤S108的处理后，本例行程序被结束。

如以上所说明的那样，根据涉及实施方式1的电气制品的装配工序的管理方法，总是计测夹着电气制品的内部的阻抗要素而电连接的电线7上的2点间的电位差，并监视在进行电气制品的装配的期间、2点间的电位差是否没有发生超过规定阈值的变化，从而能够精度良好地识别并管理受到了静电放电的影响的电气制品。并且，根据涉及实施方式1的电气制品的装配工序的管理方法，在制造中的半成品中发生了可能影响到品质的静电放电的情况下，也能够直接将装配中途的半成品除去。

(变形例)

说明上述的实施方式1的变形例。

图4是用于说明实施方式1的1个变形例的图。图4的构成除了具有连接器71a、72b这点以外，与图2的构成是相同的。连接器71a被连接到电线71上的1点，连接器72b被连接到电线72上的1点。静电计测器9与连接器71a和72b连接。用于电位差的计测的连接器71a、72b被预先配置在作为计测部位的2点处，因此静电计测器9的安装变得容易，电气制品2的装配工序的管理效率提高。

图5是用于说明实施方式1的1个变形例的图。图5的构成除了静电计测器9具备发送计测数据的无线通信功能、并追加了无线通信机11这点以外，与图1的构成是相同的。无线通信机11接收静电计测器9所发送的计测数据，并向计算机10发送。这样也可以是将静电计测器9和计算机10无线连接的构成。

图11是用于说明实施方式1的1个变形例的图。在图11所示的构成中，按照每个作业台设有静电计测器9，各静电计测器9与共同的有线传送器12连接。有线传送器12与计算机10连接。各静电计测器9经由有线传送器12将计测数据向计算机10发送。这样也可以是将多个静电计测器9和1台计算机10有线连接的构成。这点在以下的实施方式中也是相同的。

图12是用于说明实施方式1的1个变形例的图。在图12所示的构成中，按照每个作业台设有静电计测器9，各静电计测器9具备无线通信功能。无线通信机13接收各静电计测器9所发送的计测数据，并向计算机10发送。这样也可以是将多个静电计测器9和1台计算机10无线连接的构成。这点在以下的实施方式中也是相同的。

实施方式2

接着，参照图6～图9来说明本发明的实施方式2。

上述的实施方式1中，为了对夹着阻抗要素(半导体部件)而电连接的电线上的2点间的电位差进行计测，对电源电路4和半导体部件5之间的电线7上的2点间的电位差进行计测。但是，电位差的计测部位不限定于此。实施方式2中设为对电源电路4的插座的端子间的电位差进行计测。

图6是用于说明本发明的实施方式2的装置构成的图。

图6所示的装置具备作业台1。电气制品2被置于作业台1上。电气制品2至少具备基板3和电源电路4。基板3搭载有半导体部件5。基板3和电源电路4使用工具6而搭载于电气制品2。

电源电路4和半导体部件5经由基板3通过电线7被电连接。并且，电线7在电源电路4内与电线20电连接。电线20具有插座21。插座21与端子8连接。因此，电线20经由端子8而与静电计测器9连接。静电计测器9与计算机10连接。

静电计测器9在进行电气制品2的装配的期间，总是计测夹着电气制品2的内部的阻抗要素(半导体部件5)而电连接的电线20上的2点间的电位差。另外，计测周期优选的是100ns以下。

并且，静电计测器9在上述的2点间的电位差发生了超过用于区别静电放电噪声和正常电位范围的规定阈值的变化的情况下，将上述的2点间的电位差的计测数据向计算机10发送。另外，上述的阈值是表示可能影响到品质的静电放电的指标，预先基于实验结果或仿真结果被设定。

关于计算机10，由于是实施方式1叙述过的那样，因此省略其说明。

图7是用于对实施方式2中半导体部件5和静电计测器9的电连接进行说明的图。

图6所示的电线20包含图7所示的2根电线73、74。2根电线73、74将电源电路4和其插座21连线。静电计测器9连接于电线73上的1点和电线74上的1点。静电计测器9对2根电线73、74间的电位差进行计测。

(流程图)

图8是用于对实施方式2中电气制品2的装配工序的管理方法进行说明的流程图。图8所示的例行程序每当电气制品2的装配就被执行。该例行程序除了步骤S101被置换为步骤S201、步骤S103被置换为步骤S203、步骤S104被置换为步骤S204这点以外，与图3所示的例行程序是相同的。以下，在图8中对与图3所示的步骤相同的步骤赋予相同的符号。

在步骤S201中，作业者将电线20和静电计测器9连接。具体来说，作业者将2根电线73、74与静电计测器9连接。另外，作业者不限定于人，也可以是具有机械臂等的机械设备。

在步骤S102中，作业者判断电气制品2的装配工序是否结束。在装配工序没有结束的情况下，执行步骤S203的处理。

在步骤S203中，静电计测器9计测2根电线73、74间的电位差。

在步骤S204中，静电计测器9判断步骤S203中计测出的电位差是否小于阈值。阈值是区别静电放电噪声和正常电位范围的规定值，被预先设定。

在步骤S204的判断条件成立的情况下，不产生对电气制品2的品质有影响的静电放电，从步骤S102继续处理。在步骤S102中判断为电气制品2的装配工序已结束的情况下，本例行程序被结束。

在步骤S204的判断条件不成立的情况下，步骤S203中计测出的电位差的计测数据被记录(步骤S105)。具体来说，静电计测器9将计测数据向计算机10发送，计算机10存储所接收到的计测数据。

在步骤S106中，计算机10对标识数据赋予标识。所谓标识是用于识别电气制品2已受到静电放电的影响的标识。

在步骤S107中，计算机10将赋予了标识的计测数据在画面上显示。并且，计算机10经由通信连接器将计测数据向外部发送。通过这些处理，作业者能够获知在制造中的半成品中发生了可能影响到品质的静电放电。

在步骤S108中，作业者将发生了可能影响到品质的静电放电的半成品除去。步骤S108的处理后，本例行程序被结束。

如以上所说明的那样，根据涉及实施方式2的电气制品的装配工序的管理方法，总是计测夹着电气制品的内部的阻抗要素而电连接的电线20上的2点间的电位差，并监视在执行电气制品的装配的期间、2点间的电位差是否没有发生超过规定阈值的变化，从而能够精度良好地识别并管理受到了静电放电的影响的电气制品。并且，根据涉及实施方式2的电气制品的装配工序的管理方法，在制造中的半成品中发生了可能影响到品质的静电放电的情况下，也能够直接将装配中途的半成品除去。

(变形例)

说明上述的实施方式2的变形例。图9是用于说明实施方式2的1个变形例的图。图9的构成除了静电计测器9具备发送计测数据的无线通信功能、且追加了无线通信机11这点以外，与图6的构成是相同的。无线通信机11接收静电计测器9所发送的计测数据，并向计算机10发送。这样也可以是将静电计测器9和计算机10无线连接的构成。

实施方式3

接着，参照图10来说明本发明的实施方式3。在实施方式1以及2中，计测电线上的2点间的电位差。但是，也可以利用设置在信号线上的信号测试用的连接器来计测信号线上的2点间的电位差。

图10是用于对实施方式3中计测信号线上的2点间的电位差的例进行说明的图。电气制品2具备基板3和电源电路。基板3上配置有半导体部件和存储器等的阻抗要素。静电计测器9与设置在信号线上的信号测试用连接器81、82连接。静电计测器9在进行电气制品2的装配的期间，总是计测夹着阻抗要素的2个信号线上的2点(信号测试用连接器81、82)间的电位差。静电计测器9在上述的2点间的电位差发生了超过用于区别静电放电噪声和正常电位范围的规定阈值的变化的情况下，将上述的2点间的电位差的计测数据向计算机10发送。另外，上述的阈值是表示可能影响到品质的静电放电的指标，预先基于实验结果和仿真结果被设定。关于计算机10，是上述实施方式1中叙述过的那样，因此省略其详细说明。计算机10将从静电计测器9发送的计测数据记录，并且将用于识别电气制品2已受到静电放电的影响的标识对电气制品2赋予。

标号说明

1 作业台

2 电气制品

3 基板

4 电源电路

5 半导体部件

6 工具

7 电线

8 端子

9 静电计测器

10 计算机

11，13 无线通信机

12 有线传送器

20 电线

21 插座

71，72，73，74 电线

71a，72b 连接器

81，82 信号测试用连接器