中继器以及流体控制和测量系统的制作方法
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及一种用于对例如在半导体制造工序中使用的材料气体、药液或清洗液等流体进行控制或测量的流体控制和测量系统的中继器。
【背景技术】
[0002]例如，在像半导体制造工序那样使用多种气体的情况下，需要控制各气体的流量，在每个气体管路上设置有流体控制装置等流体设备。用户用的信息处理装置与所述的流体设备连接，在所述的流体设备与该用户用信息处理装置之间收发预先由用户设定的种类的数据。
[0003]但是，例如维修时等，在诊断各流体设备的动作状态的情况下，如上所述，虽然向用户用信息处理装置发送由用户选择的数据，但是所述动作状态的诊断所需要的数据并不一定齐全。
[0004]因此，在以往的流体设备上设置有用于诊断所述动作状态的服务端口，通过所述服务端口，并且通过与维修人员等使用的诊断用装置进行电缆连接，与该诊断用装置之间收发进行诊断所需要的数据。
[0005]但是，近年来，对系统的小型化的要求不断提高，如果为了响应所述要求而实现流体设备的小型化，则另一方面会产生如下问题:不能在流体设备上设置用于将所述诊断用装置与流体设备进行电缆连接的端口，从而不能将来自流体设备的数据向诊断用装置发送。
[0006]现有技术文献
[0007]专利文献1:日本专利公开公报特开平7-210254号
【发明内容】
[0008]为了解决所述的问题，着眼于设置在流体设备和用户用信息处理装置之间的中继器，本发明的主要目的在于能够使流体设备小型化并且能够诊断流体设备的动作状态。
[0009]即，本发明提供一种中继器，其具备:第一端口，与控制或测量流体的流体设备连接；以及第二端口，与用户用信息处理装置连接，通过所述第一端口从所述流体设备接收流体关联数据，并且通过所述第二端口向所述用户用信息处理装置发送所述流体关联数据，或者通过所述第二端口从所述用户用信息处理装置接收所述流体关联数据，并且通过所述第一端口向所述流体设备发送所述流体关联数据，所述流体关联数据是用于控制或测量所述流体的数据，所述中继器还具备第三端口，所述第三端口与诊断用装置连接，所述诊断用装置诊断所述流体设备的动作状态，通过所述第一端口从所述流体设备接收诊断所述动作状态的诊断用数据，并且通过所述第三端口向所述诊断用装置发送所述诊断用数据。
[0010]按照这种中继器，由于具备第三端口，该第三端口与诊断用装置连接，用于向所述诊断用装置发送从流体设备输出的诊断用数据，所以无需对诊断用装置和流体设备进行电缆连接，就能够向诊断用装置发送诊断用数据。
[0011]由此，能够不需要以往那样的设置于各流体设备上的电缆连接用的端口，从而能够实现各流体设备的小型化，并且能够诊断各流体设备的动作状态。
[0012]在以规定的标准对流体关联数据进行通信的情况下，为了以不会妨碍所述通信的方式将诊断用数据向诊断用装置发送，优选的是，第一通信线和第二通信线与所述第一端口连接，所述第一通信线对所述流体关联数据进行通信，所述第二通信线对所述诊断用数据进行通信。
[0013]按照该方式，由于与对由用户设定的流体关联数据进行通信的第一通信线不同，由第二通信线对诊断用数据进行通信，所以能够与用户的设定无关地取得流体设备的诊断所需要的诊断用数据，从而能够灵活地诊断流体设备。即，不需要改变用户的设定，就能够设定诊断用数据，并能够使用附加设置的诊断用装置对流体设备进行诊断。
[0014]为了实现各流体设备的进一步的小型化，优选的是，所述中继器还具备:标识符赋予部，赋予各个所述流体设备用于识别多个所述流体设备的标识符；以及显示部，显示由所述标识符赋予部赋予了的各个所述流体设备的标识符。
[0015]按照该方式，无需像以往那样在流体设备上设置标识符赋予部和显示部，能够进一步使各流体设备小型化。
[0016]此外，即使将流体设备配置在例如用户的手接触不到的场所、或眼睛看不到的场所，只要将中继器配置在能够操作的场所，就能够通过该中继器的标识符赋予部和显示部，确认各流体设备的连接状态等，从而能够提尚作业性。
[0017]作为使本发明的效果更显著的实施方式，可以例举下述的方式:所述各流体设备具有呈扁平形状的箱体，通过使所述箱体的面板部之间彼此相对，能够无间隙地配置彼此相邻的所述流体设备。
[0018]此外，本发明还提供一种流体控制和测量系统，其包括:流体设备，控制或测量流体；用户用信息处理装置；以及中继器，所述中继器具备:第一端口，与所述流体设备连接；以及第二端口，与所述用户用信息处理装置连接，通过所述第一端口从所述流体设备接收流体关联数据，并且通过所述第二端口向所述用户用信息处理装置发送所述流体关联数据，或者通过所述第二端口从所述用户用信息处理装置接收所述流体关联数据，并且通过所述第一端口向所述流体设备发送所述流体关联数据，所述流体关联数据是用于控制或测量所述流体的数据，所述中继器还具备第三端口，所述第三端口与诊断用装置连接，所述诊断用装置诊断所述流体设备的动作状态，所述中继器通过所述第一端口从所述流体设备接收诊断所述动作状态的诊断用数据，并且通过所述第三端口向所述诊断用装置发送所述诊断用数据。
[0019]按照这种流体控制和测量系统，能够得到与所述的中继器相同的作用效果。
[0020]按照以上方式构成的本发明，能够使流体设备小型化，并且能够诊断流体设备的动作状态。
【附图说明】
[0021]图1是示意性地表示本实施方式的流体控制和测量系统的图。
[0022]图2是表示与图1为同一实施方式的流量控制装置的立体参考图。
[0023]图3是表示与图1为同一实施方式的流量控制装置的构成的立体参考图。
[0024]图4是表示与图1为同一实施方式的流量控制装置的构成的参考图。
[0025]图5是表示与图1为同一实施方式的中继器的示意图。
[0026]图6是表示与图1为同一实施方式的中继器的示意图。
[0027]附图标记说明
[0028]100...流体控制和测量系统
[0029]101...流量控制装置
[0030]102...用户用信息处理装置
[0031]103...中继器
[0032]104...诊断用装置
[0033]P1..?第一端口
[0034]P2...第二端口
[0035]P3...第三端口
[0036]L1...第一通信线
[0037]L2...第二通信线
[0038]11...标识符赋予部
[0039]12...显示部
【具体实施方式】
[0040]下面，参照附图对本发明的流体控制和测量系统进行说明。
[0041]如图1所示，所述流体控制和测量系统100例如用于从气体供给源分别导入半导体制造系统成膜用的各种气体，将它们混合并向半导体的成膜室(未图示)供给，所述流体控制和测量系统100包括:流道形成构件，形成各气体的流道L(以下也称为气体流道)；作为流体